主动驱动式有机电激发光装置制造方法及图纸

一种主动驱动式有机电激发光面板，包含；一基板；复数条第一导电线，位于基板的表面；复数条第二导电线，亦位于基板的表面，且第二导电线与第一导电线相交错；复数个功能性元件，位于第一导电线与第二导电线交错处，且包含一具有汲极，源极以及闸极的电晶体元件；一阴极，位于基板的表面，并与汲极连结；一阳极，位于阴极的上方；一有机电激发光介质，是夹置于阴极与阳极之间；其中阴极与第一导电线的主成分相同；第一导电线与第二导电线于交错处不直接连接导通；源极，是与第一导电线相连接；闸极，是与第二导电线相连接；汲极，是相对应于源极，并于闸极流通电流时与源极导通；且源极，闸极以及汲极于交错处不直接连接导通。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及有机电激发光技术，尤其涉及一种适用于主动驱动的有机电激发光装置。目前在LTPS TFTs与OLED整合设计方面，是在已有的元件结构上，继续由LTPS TFTs上的ITO层作为OLED的阳极基板，成长后续OLED的电洞注入层、电动传输层、发光层、电子传输层、电子注入层与阴极金属层。然而，此种延续传统TFT-LCD array与OLED的单纯合并设计，层数过多，以致制造过程复杂，实非最佳的整合设计。本专利技术的另一目的是在提供一种主动驱动式有机电激发光装置，并能利用铝或银具低电阻的特性，以达降低电阻电容延迟效应(RC delay)的效果。本专利技术的又一目的是提供一种主动驱动式有机电激发光装置，并能利用阴极接近基材(顶部发光)的设计，以大幅减少所发出光在元件膜层的行进路程中所产生干涉、散射与折射的相消效应，提升发光利用效率与开口率(aperture ratio)。本专利技术的又一目的是提供一种主动驱动式有机电激发光装置的制法，并能利用将阴极材料与低温多晶硅面板的导电接线(Bus line)整合在同一道制程，以提升阴极材料与导电接线间的界面匹配特性、减缓残余应力，甚至进而减少在有机电激发光装置(OLED)额外的一道阴极镀膜制程。为达到上述目的，本专利技术主动驱动式有机电激发光面板，包含；一基板；复数条第一导电线，是位于基板的表面；复数条第二导电线，位于基板的表面，且第二导电线与第一导电线相交错；复数个功能性元件，是位于第一导电线与第二导电线交错处，且包含一具有汲极，源极以及闸极的电晶体元件；一阴极，是位于基板的表面，并与汲极连结；一阳极，是位于阴极的上方；一有机电激发光介质，是夹置于阴极与阳极之间；其中阴极与第一导电线的材质相同；第一导电线与第二导电线于交错处不直接连接导通；源极，与第一导电线相连接；闸极，是与第二导电线相连接；汲极，是相对应于源极，以于闸极流通电流时与源极导通；且源极，闸极以及汲极于交错处不直接连接导通。本专利技术主动驱动式有机电激发光面板的制造方法，包含以下的步骤；先提供一基板；继之于基板形成一非晶硅层；接着依序于非晶硅层以黄光制程，离子掺杂以及激态激光(excimer laser) 回火形成复数个具源极，汲极闸极图样的电晶体元件；于基板表面形成复数条与闸极连接的第二导电线圈样；于闸极层与部分第二导电线上形成一具图样的绝缘层；于基板上同时形成一具图样的复数条第一导电线与具图样的阴极，其中第一导电线与第二导电线间夹置有绝缘层，第一导线与源极连结，阴极与汲极连结；于阴极上形成至少一有机电激发光层；以及于有机电激发光层上形成一阳极层；其中阴极与第一导电线的材质相同；第一导电线与第二导电线相交错，并于交错处不直接连接导通。本专利技术主动驱动式有机电激发光面板的基板材质可以是已有的基板材质，较佳为玻璃基板、塑胶基板或透明树脂膜基板。塑胶基板材质可为已有的塑胶基板材质，较佳为聚碳酸酯(PC)、PET、环烯烃共聚物(COC)、含金属的环烯烃共聚物(m-COC)。本专利技术主动驱动式有机电激发光面板的阴极的材质可为已有的电极材质，较佳为电阻金属；最佳为铝、铝-镁合金(Al-Mg)、银或银-镁合金(Ag-Mg)。本专利技术主动驱动式有机电激发光面板的阳极可为已有的电极材质，较佳为透明电极材质，最佳为烟锡氧化物(ITO)或铝锌氧化物(AZO)。本专利技术主动驱动式有机电激发光面板源极与汲极较佳为相同材质所制成，最佳为源极与汲极为低温多晶硅。本专利技术主动驱动式有机电激发光面板的有机电激发光介质可为已有的机电激发光介质，较佳为更包含有一电子传输层，电子注入层，发光层，电洞传输层或电洞注入层的有机电激发光介质，且电子传输层，电子注入层，发光层，电洞传输层或电洞注入层位于阴极与阳极之间。本专利技术主动驱动式有机电激发光面板的第二导电线与第一导电线间，较佳具有至少一介质保护(passivation)层。介质保护(passivation)层可为已有的保护(passivation)层材质，较佳为介质保护(passivation)层为聚亚醯胺层、压克力是树脂层、氟是树脂层、环氧是树脂层或氧化硅层。本专利技术主动驱动式有机电激发光面板的闸极，源极及汲极的相对高度配置可为已有的配置，较佳为源极及汲极位于闸极与基板之间(亦即top-gate的配置)。本专利技术主动驱动式有机电激发光面板的源极与闸极之间较佳为具有一绝缘层，且源极与闸极之间较佳为亦具有一绝缘层。本专利技术主动驱动式有机电激发光面板可视需要地更包含一缓冲层，缓冲层是位于基板的表面，用以隔绝外界的水气、氧气或离子，具保护基板的功能。缓冲层的材质可为已有的隔绝外界的水气、氧气或离子材质，较佳为氮化硅、氧化硅或氮氧化硅。本专利技术主动驱动式有机电激发光基板的制造方法中，于基板上形成非晶硅的步骤可为已有的非晶硅形成步骤，较佳为以化学蒸气沉积法于基板上形成非晶硅。本专利技术主动驱动式有机电激发光基板的制造方法中，源极、汲极、轻掺杂界电(LDD)层及通道层(channel)图样的形成是以已有的步骤形成，较佳为以黄光制程，离子掺杂(ion doping)，离子布植的步骤形成；更佳为经黄光制程，离子掺杂(ion doping)，离子布植的步骤后，以激态激光(excimer laser)对源极，汲极，轻掺杂界电(LDD)层及通道层进行回火及活化(activation)。本专利技术主动驱动式有机电激发光基板的制造方法，较佳为更包含于每一具源极，汲极图样的元件上形成一具图样的绝缘层；以及于每一层绝缘层上形成具图样的闸极层的步骤。本专利技术的主动驱动式有机电激发光元件显示器较佳为具有红、绿及蓝复数发光像素(pixel)阵列的显示面板，以显示影像；本专利技术的有机电激发光元件显示器当然也可以因需要而为单色复数发光像素(pixel)阵列的显示面板。本专利技术制造的主动驱动式有机电激发光显示面板可应用于任何影像、图片、符号及文字显示的用途或设备，较佳为电视、电脑、印表机、屏幕、运输载具(vehicle)的显示板、信号机器、通讯设备、电话、灯具、车灯、交谈式电子书、微显示器(microdisplay)、钓鱼(fishing)设备的显示、个人数位助理(personal digital assistant)、游戏机(game)、飞机(airplane)设备的显示及游戏眼罩的显示等。由于本专利技术构造新颖，能提供产业上利用，且确有增进功效，故依法申请专利技术专利。具体实施例方式为能更了解本专利技术的
技术实现思路
，特举有机电激发光装置及其制法较佳具体实施例说明如下。请参照本专利技术附图说明图1、2及3，本专利技术主动式驱动有机电激发光装置，是为一具有复数个图素显示单元110的基板100。每一个图素显示单元110具有一电晶体元件200与一显示电极元件300。电晶体元件200，为具有源极210，闸极230以及汲极220的薄膜电晶体。电晶体元件200于本较佳实施例中为以黄光制程，杂质掺杂的COMS制程所制造。其中源极210以及汲极220为经低温多晶硅制程，并经excimer激光回火及活化处理所形成。而图素的显示电极元件300，则为位于基板100表面，且包含有至少二电极层310，320以及有机发光介质层330。其中电极层中，位于基板表面为阴极层310，于阴极层的上为阳极层320。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种主动驱动式有机电激发光面板，其特征在于，包含；一基板；复数条第一导电线，是位于基板的表面；复数条第二导电线，位于基板的表面，且第二导电线与第一导电线相交错；复数个功能性元件，是位于第一导电线与第二导电线交错处，且包含一具 有汲极，源极以及闸极的电晶体元件；一阴极，是位于基板的表面，并与汲极连结；一阳极，是位于阴极的上方；一有机电激发光介质，是夹置于阴极与阳极之间；其中阴极与第一导电线的主成分相同；第一导电线与第二导电线于交错处不直接连接导 通；源极，是与第一导电线相连接；闸极，是与第二导电线相连接；汲极，是相对应于源极，以于闸极流通电流时与源极导通；且源极，闸极以及汲极于交错处不直接连接导通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：卢添荣，
申请(专利权)人：铼宝科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]