用于自动网格验证的装置和方法制造方法及图纸

用于自动网格验证的装置和方法。本文公开用于自动网格验证的装置和方法。一种示例方法至少包含：对网格进行成像，所述网格包含支持部分和从所述支持部分延伸的多个柱，其中所述多个柱中的每个柱具有指定焊接位置；以及基于图像确定所述多个柱中的每个柱的所述指定焊接位置是否有效。接位置是否有效。接位置是否有效。

【技术实现步骤摘要】
用于自动网格验证的装置和方法

技术介绍

[0001]带电粒子显微镜在工业上用于形成样品并执行后续成像和分析通常使用一种工艺来形成薄片并将薄片安装在成像夹具上。这些夹具可以包含指定用于安装薄片的柱。鉴于薄片和夹具的微观尺寸，重要的是要评估夹具以确定它们实际上是否可用。例如，需要检查指定用于附接薄片的柱上的位置，以确保它们在附接薄片之前没有缺陷或污染。如果无意中使用了此类有缺陷或受污染的柱，则可能无法对薄片进行成像，从而导致浪费机会、时间和费用。尽管大多数验证过程传统上可以由熟练的用户执行，但是此类工作是耗时的并且取决于用户的技能。因此，在这些行业中需要自动网格评估。
附图说明
[0002]通过以下结合附图的详细描述，将容易地理解各实施例。为了便于描述，相同的附图标记指示相同的结构元件。各实施例在附图的图中以举例而非限制的方式展示。
[0003]图1是根据本公开的实施例的示例双束带电粒子显微镜。
[0004]图2A和2B是示例半月形网格。
[0005]图3是说明根据当前位置的实施例的各种网格验证过程的示例工作流。<br/>[0006]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种方法，其包括：对网格进行成像，所述网格包含支持部分和从所述支持部分延伸的多个柱，其中所述多个柱中的每个柱具有指定焊接位置；以及基于图像确定所述多个柱中的每个柱的所述指定焊接位置是否有效。2.根据权利要求1所述的方法，其中基于图像确定所述多个柱中的每个柱的所述指定焊接位置是否有效包含：基于图像确定所述焊接位置上或所述焊接位置周围是否存在污染。3.根据权利要求2所述的方法，其中所述确定是使用被训练以识别污染的人工神经网络来执行的。4.根据权利要求3所述的方法，其中所述人工神经网络是卷积神经网络。5.根据权利要求1所述的方法，其中基于图像确定所述多个柱中的每个柱的所述指定焊接位置是否有效包含：基于图像确定每个柱是否有缺陷。6.根据权利要求5所述的方法，其中所述确定是使用被训练以识别污染的人工神经网络来执行的。7.根据权利要求6所述的方法，其中所述人工神经网络是卷积神经网络。8.根据权利要求5所述的方法，其中有缺陷包含弯曲、倾斜或旋转。9.根据权利要求5所述的方法，其中有缺陷包含缺少材料。10.根据权利要求1所述的方法，其中基于图像确定所述多个柱中的每个柱的所述指定焊接位...

【专利技术属性】
技术研发人员：P，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：