真空离子镀膜设备流导调节机构制造技术

技术编号:36973249 阅读:15 留言:0更新日期:2023-03-22 19:37
本实用新型专利技术属于一种真空离子镀膜设备流导调节机构,包括升降杆(4);其特征在于炉体(10)与百叶窗(1)固定,百叶窗(1)与运动关节(2)和升降杆(4)通过关节销钉(3)连接固定,炉体法兰(9)焊接在炉体(10)上,电机座(6)与炉体法兰(9)固定,其中电机座(6)上固定有电机座螺杆(6

【技术实现步骤摘要】
真空离子镀膜设备流导调节机构


[0001]本技术属于真空离子镀膜设备机构,特别涉及一种真空离子镀膜设备流导调节机构。

技术介绍

[0002]在使用真空离子镀膜设备进行镀膜时,传统的流导调节机构是百叶窗与炉体进行固定连接,百叶窗的打开角度不能调整,所以对产品品质的提升有局限性,在产品的工艺提升与测试当中做不到精确控制。

技术实现思路

[0003]本技术在于克服上述技术不足,提供一种可根据镀膜工件的不同工艺需求,提高设备利用率,满足多复合型产品的工艺要求,可精确控制的真空离子镀膜设备流导调节机构。
[0004]本技术解决技术问题所采用的技术方案是:一种真空离子镀膜设备流导调节机构,包括升降杆,其特征在于炉体与百叶窗固定,百叶窗与运动关节和升降杆通过关节销钉连接固定,其中电机座上固定有电机座螺杆,升降杆与电机座螺杆为螺纹连接,电机与传感器安装在电机座上,电机座与炉体法兰固定,骨架轴封安装在炉体法兰上。
[0005]本技术的有益效果是:方便调节,可根据产品需求任意调节,改善产品品质,减少报废率,降低成本。
附图说明
[0006]以下结合附图,以实施例具体说明。
[0007]图1是真空离子镀膜设备流导调节机构主体图。
[0008]图中1

百叶窗;2

运动关节;3

关节销钉;4

升降杆;5

传感器;6

电机座;6

1电机座螺杆;7

电机;8

骨架轴封;9

炉体法兰;10

炉体。
具体实施方式
[0009]实施例,参照附图,一种真空离子镀膜设备流导调节机构,包括升降杆4,其特征在于炉体10与百叶窗1固定,百叶窗1与运动关节2和升降杆4通过关节销钉3连接固定,其中电机座6上固定有电机座螺杆6

1,升降杆4与电机座螺杆6

1为螺纹连接,电机7与传感器5安装在电机座6上,电机座6与炉体法兰9固定,骨架轴封8安装在炉体法兰9上。
[0010]该技术的使用方法是:炉体10与百叶窗1固定,百叶窗1与运动关节2和升降杆4通过关节销钉3连接固定,炉体法兰9焊接在炉体10上,电机座6与炉体法兰9固定,其中电机座6上固定有电机座螺杆6

1,电机7与传感器5安装在电机座6上,骨架轴封8安装在炉体法兰9上用于密封真空,电机7启动时产生旋转,带动电机座螺杆6

1转动,电机座螺杆6

1上的外螺纹与升降杆4 上的内螺纹配合,传感器5给出到位信号,通过正转、反转达到升降的
目的,以此调整百叶窗1的打开角度改变气流的通过性。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空离子镀膜设备流导调节机构,包括升降杆(4),其特征在于炉体(10)与百叶窗(1)固定,百叶窗(1)与运动关节(2)和升降杆(4)通过关节销钉(3)连接固定,其中电机座(6)上固定有电机座螺杆(6

1),升降杆(4)与电机座螺杆(6

1)为螺纹连接,电机(7)与传感器(5)安装在电机座(6)上,电机座(6)与炉体法兰(9)固定,骨架...

【专利技术属性】
技术研发人员:安威龙白春阳孙英斌
申请(专利权)人:大连金泰正新科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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