一种链式碱抛光工艺添加剂及其应用制造技术

技术编号:36955574 阅读:11 留言:0更新日期:2023-03-22 19:16
本发明专利技术公开了一种链式碱抛光工艺添加剂及其应用,包括促进剂0.1%~6%、络合剂0.1%~2%、润湿剂0.1%~2%、脱泡剂0.05%~1%、pH调节剂0.1%~3%以及去离子水,混合均匀成添加剂,加入到碱性溶液中,混合均匀后配成抛光液,将硅片放入抛光液中完成抛光反应,依靠分解易产生自由基的物质作为促进剂,使添加剂加快了无机碱与硅的反应,增强了抛光液的抛光能力,可以得到更高的反射率和更大的塔基,进而提升效率。而提升效率。而提升效率。

【技术实现步骤摘要】
一种链式碱抛光工艺添加剂及其应用


[0001]本专利技术涉及太阳能电池硅片
,具体涉及到一种链式碱抛光工艺添加剂及其应用。

技术介绍

[0002]太阳能作为一种绿色清洁、可再生的能源,越来越受到人们的重视,晶硅太阳能电池则是目前对太阳能应用最广泛的一个领域。在晶硅太阳能电池制造工艺中,为了提高太阳能电池的光电转换效率,常常对扩散后的硅片背面进行抛光处理,同时要求硅片正面的PN结不受破坏。目前主流的背面抛光工艺主要有碱抛光工艺和酸抛光工艺,其中酸抛光工艺,使用氢氟酸、硝酸、硫酸和水体系腐蚀硅片,使用该方法抛光时硅片水平漂浮在抛光液表面,只有硅片的背面与抛光液接触反应,不会对正面PN结产生破坏,但是该方法抛光的硅片表面反射率低,而且由于酸抛光工艺使用大量酸性物质,生产成本和废液处理成本也非常高,对环境不友好。碱抛光工艺主要利用碱来抛光硅片,如有机碱四甲基氢氧化铵等,该方法可以获得很高的背面反射率,但是其成本较高,废水处理难度大;而若使用成本较低的氢氧化钾或氢氧化钠等无机碱,由于无机碱与硅、氧化硅的反应速率差较小,抛光时极易腐蚀硅片正面的氧化硅保护层,进而破坏正面的PN结,最终导致电池失效。
[0003]链式碱抛工艺集合了酸抛光工艺和碱抛光工艺优点,既不会在碱抛过程中对正面PN结产生破坏,又可以使用成本较低的无机碱,获得较高的背面反射率,从而获得更高的效率。但是由于受场地限制,链式碱抛槽一般不会很长,因此,碱与硅片的反应时间较短,对添加剂的促进能力有很高的要求。此外,因硅片抛光时是水平漂浮的状态,腐蚀产生的氢气难以及时脱离硅片,导致外观易出现气泡印问题。

技术实现思路

[0004]为了解决上述现有技术中的不足之处,本专利技术提出一种链式碱抛光工艺添加剂及其应用。
[0005]为了实现上述技术效果,本专利技术采用如下方案:
[0006]一种链式碱抛光工艺添加剂,包括其特征在于促进剂、络合剂、润湿剂、脱泡机、PH调节剂以及去离子水,按质量百分比包括以下配比:
[0007][0008]余量为去离子水。
[0009]优选的技术方案,所述促进剂包括过硫酸盐、双氧水、咪唑类、冠醚类中的一种或者至少两种的组合物。
[0010]优选的技术方案,所述络合剂包括磷酸盐、醇胺类、氨基羧酸盐、羟基羧酸盐、有机膦酸盐、聚丙烯酸类中的一种或者至少两种的组合。
[0011]优选的技术方案,所述润湿剂包括烷基硫酸盐、磺酸盐、磷酸酯、司盘类、吐温类中的一种或者至少两种的组合物。
[0012]优选的技术方案,所述脱泡剂包括聚季铵盐、聚亚胺类、纤维素、糖类中的一种或者至少两种的组合物。
[0013]优选的技术方案,所述pH调节剂包括柠檬酸、乳酸、苹果酸、酒石酸、冰乙酸和乙酸、己二酸、磷酸、盐酸、柠檬酸钠、柠檬酸钾、磷酸盐、硫酸盐、乙酸钠、氢氧化钾、氢氧化钠中的一种或者至少两种的组合物。
[0014]一种链式碱抛光工艺添加剂的应用,取适量链式碱抛光工艺添加剂加入到碱性溶液中,混合均匀后配成抛光液,将硅片放入抛光液中完成抛光反应。
[0015]优选的技术方案,所述添加剂用量占抛光液总体积的比例为0.5~2%,所述碱性溶液为氢氧化钠或氢氧化钾溶液,其中氢氧化钾或氢氧化钠在抛光液中的含量为40~100g/L。
[0016]优选的技术方案,所述抛光反应的温度为60~85℃,反应时间为30s~60s;所述硅片的放置方式采用以水平方式漂浮于抛光液表面。
[0017]优选的技术方案,硅片完成抛光反应后,依次经过去离子水清洗、后处理、水洗、酸洗、水洗后烘干;
[0018]后处理工艺为用0.1%~2%的KOH或NaOH与1~8%H2O2的混合溶液清洗,清洗温度为20~70℃,清洗时间为30s~60s;
[0019]酸洗工艺为用HF:HCl:H2O=1:2:4的混酸溶液清洗,酸洗温度为10~40℃,酸洗时间为30s~60s。
[0020]与现有技术相比,有益效果为:
[0021]依靠分解易产生自由基的物质作为促进剂,使添加剂加快了无机碱与硅的反应,增强了抛光液的抛光能力,可以得到更高的反射率和更大的塔基,进而提升效率;络合剂可以络合抛光液和硅片切割残留的金属离子,减少金属掺杂形成的复合中心;润湿剂增加了抛光液与硅片的接触,使反应更快、更均匀;脱泡剂可以更快地带走硅片表面产生的气泡,改善外观,提高反射率;pH调节剂可以调节添加剂的pH值,使其稳定和安全。
附图说明
[0022]图1是本专利技术中纯碱链式碱抛后硅片(左)与加入添加剂后链式碱抛硅片(右);
[0023]图2纯碱链式碱抛后硅片SEM照片;
[0024]图3加入添加剂后链式碱抛硅片SEM照片。
具体实施方式
[0025]下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完
整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0026]一种链式碱抛光工艺添加剂,包括其特征在于促进剂、络合剂、润湿剂、脱泡机、PH调节剂以及去离子水,按质量百分比包括以下配比:
[0027][0028][0029]余量为去离子水。
[0030]优选的技术方案,所述促进剂包括过硫酸盐、双氧水、咪唑类、冠醚类中的一种或者至少两种的组合物。
[0031]优选的技术方案,所述络合剂包括磷酸盐、醇胺类、氨基羧酸盐、羟基羧酸盐、有机膦酸盐、聚丙烯酸类中的一种或者至少两种的组合。
[0032]优选的技术方案,所述润湿剂包括烷基硫酸盐、磺酸盐、磷酸酯、司盘类、吐温类中的一种或者至少两种的组合物。
[0033]优选的技术方案,所述脱泡剂包括聚季铵盐、聚亚胺类、纤维素、糖类中的一种或者至少两种的组合物。
[0034]优选的技术方案,所述pH调节剂包括柠檬酸、乳酸、苹果酸、酒石酸、冰乙酸和乙酸、己二酸、磷酸、盐酸、柠檬酸钠、柠檬酸钾、磷酸盐、硫酸盐、乙酸钠、氢氧化钾、氢氧化钠中的一种或者至少两种的组合物。
[0035]一种链式碱抛光工艺添加剂的应用,取适量链式碱抛光工艺添加剂加入到碱性溶液中,混合均匀后配成抛光液,将硅片放入抛光液中完成抛光反应。
[0036]优选的技术方案,所述添加剂用量占抛光液总体积的比例为0.5~2%,所述碱性溶液为氢氧化钠或氢氧化钾溶液,其中氢氧化钾或氢氧化钠在抛光液中的含量为40~100g/L。
[0037]优选的技术方案,所述抛光反应的温度为60~85℃,反应时间为30s~60s;所述硅片的放置方式采用以水平方式漂浮于抛光液表面。
[0038]优选的技术方案,硅片完成抛光反应后,依次经过去离子水清洗、后处理、水洗、酸洗、水洗后烘干;
[0039]后处理工艺为用0.1%~2%的KOH或NaOH与1~8%H2O2的混合溶液清洗,清洗温度为20~70℃,清洗时间为30s~60s;
[0040]酸洗工艺为用HF:HC l:H2O=1:2:4本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种链式碱抛光工艺添加剂,其特征在于,包括其特征在于促进剂、络合剂、润湿剂、脱泡机、PH调节剂以及去离子水,按质量百分比包括以下配比:余量为去离子水。2.如权利要求1所述的链式碱抛光工艺添加剂,其特征在于,所述促进剂包括过硫酸盐、双氧水、咪唑类、冠醚类中的一种或者至少两种的组合物。3.如权利要求1所述的链式碱抛光工艺添加剂,其特征在于,所述络合剂包括磷酸盐、醇胺类、氨基羧酸盐、羟基羧酸盐、有机膦酸盐、聚丙烯酸类中的一种或者至少两种的组合。4.如权利要求1所述的链式碱抛光工艺添加剂,其特征在于,所述润湿剂包括烷基硫酸盐、磺酸盐、磷酸酯、司盘类、吐温类中的一种或者至少两种的组合物。5.如权利要求1所述的链式碱抛光工艺添加剂,其特征在于,所述脱泡剂包括聚季铵盐、聚亚胺类、纤维素、糖类中的一种或者至少两种的组合物。6.如权利要求1所述的链式碱抛光工艺添加剂,其特征在于,所述pH调节剂包括柠檬酸、乳酸、苹果酸、酒石酸、冰乙酸和乙酸、己二酸、磷酸、盐酸、柠檬酸钠、柠檬酸钾、磷酸盐、硫酸盐、乙酸钠、氢氧化钾、氢氧化钠中的一种或者至少两种的组...

【专利技术属性】
技术研发人员:武圆圆周浩常帅锋李斯良丁雁鸿
申请(专利权)人:嘉兴市小辰光伏科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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