一种过滤装置，包括多级过滤器，所述多级过滤器包括若干个依次连接的单级过滤器，上一级单级过滤器的过滤精度小于下一级单级过滤器的过滤精度；单级过滤器包括容器和滤芯，所述滤芯设置在所述容器的内部，所述滤芯由外向内设置有至少三层滤膜。通过多级过滤器和多层滤膜的滤芯结合，在保证过滤精度的同时还有效地减轻了滤芯容易发生堵塞的问题。所述过滤装置连通有泵，通过泵将待过滤液体输送至过滤装置内。置内。置内。
【技术实现步骤摘要】
一种过滤装置
[0001]本技术涉及过滤设备领域，具体涉及一种多级过滤装置。
技术介绍
[0002]在需要使用光致抗蚀剂以及在光致抗蚀剂表面接触式真空曝光的领域，由于光致抗蚀剂存在氧阻聚及粘连光罩的问题，所以在曝光前需要在光刻胶涂层的表面涂布一层保护涂层，同时起到阻隔氧气以及防止粘连光罩的作用。
[0003]为了实现较好的防粘连效果，保护涂层涂布液配方中通常含有一定比例的防黏连剂，其中防黏连剂为具有纳米级的不同粒径的颗粒，但是因为颗粒的不均匀性或团聚造成过大的颗粒会在制备精细的线条结构时导致曝光缺陷，从而造成精细的线条结构断线造成不良。因此在涂布之前需要对涂布液进行过滤，但是为了达到防止粘连的效果，还需要保留一定量的颗粒。
[0004]如现有技术中，授权公告号为CN201632106U中公布的一种双层复合折叠滤芯，主要包括柱状粗过滤折叠滤芯和精滤折叠滤芯，柱状粗过滤滤芯套设在精滤折叠滤芯上。
[0005]在上述方技术方案中，采用了折叠滤芯过滤面积增大，但是该种过滤器只有两层滤芯，过滤范围比较窄，运行一段时间后，滤网容易发生堵塞的情况，会造成过滤器的进出口压力差明显增大，存在滤芯炸裂失效的风险；而且在涂布液需要保留一定颗粒的情况下，滤芯使用寿命较短，更换周期快，在实际生产中由中途停机的情况会产生很大的经济损失。
[0006]如现有技术中，授权公告号为CN213853330U中公布的串联多级过滤器，包括磁过滤桶、60目粗过滤桶、100目精过滤桶和200目精过滤桶，主要用在工业废液处理设备中，工业废液先经过磁过滤桶，再依次经过60目过滤桶、100目过滤桶和200目过滤桶；最终完成过滤。
[0007]在上述技术方案中，过滤桶的精度已经固定，过滤精度不能满足要求。
[0008]综上所述，现有技术中存在过滤精度不够、单个过滤器的过滤范围小容易发生堵塞或者整个过滤装置过滤精度不能满足需要求的问题。
技术实现思路
[0009]本技术的目的就在于为了解决现有技术中存在的问题提出一种过滤装置，详见下文阐述。
[0010]一种过滤装置，包括多级过滤器，所述多级过滤器包括若干个依次连接的单级过滤器，上一级单级过滤器的过滤精度小于下一级单级过滤器的过滤精度；单级过滤器包括容器和滤芯，滤芯设置在容器的内部，滤芯由外向内设置有至少三层滤膜，滤芯包括外层滤膜、内层滤膜和至少一层中间层滤膜；外层滤膜的过滤精度大于等于中间层滤膜的过滤精度，中间层滤膜的过滤精度大于等于内层滤膜的过滤精度。
[0011]在上述技术方案中，先根据过滤需求设置合适数量的单级过滤器，单级过滤器由过滤精度由低到高的顺序串联起来。接着由泵将待过滤液体输送至单级过滤器内，最后待
过滤液体在压力的作用下输送至后续的单级过滤器中。
[0012]进一步的，例如当滤膜设置有三层时，最外层滤膜为外层滤膜，最内层滤膜为内层滤膜，介于最外层滤膜和最内层滤膜之间的一层滤膜为中间层滤膜；当滤膜设置有六层时，最外层滤膜为外层滤膜，最内层的滤膜为内层滤膜，位于最外层滤膜和最内层滤膜之间的四层滤膜为中间层滤膜。上一级单级过滤器的内层滤膜的过滤精度小于等于下一级单级过滤器的外层滤膜。
[0013]在上述方案中，将上一级滤芯内层滤膜的过滤精度小于或等于下一级滤芯外层滤膜的过滤精度，可以使整个过滤系统的过滤精度更加平滑，待过滤液体在过滤装置内流通更加流畅。
[0014]进一步的，在滤芯上设置有安装盘，安装盘分为顶部安装盘和底部安装盘，顶部安装盘设置在滤芯的顶部，底部安装盘设置在滤芯的底部；底部安装盘上开设有通孔，底部安装盘与容器相连接；在两个安装板之间设置有支撑架。
[0015]在上述方案中，通过设置安装盘，将滤芯和容器连接在一起，避免了在泵输送液体时的冲击下，改变滤芯在容器内部的位置，影响过滤效果。通过设置支撑架，可以避免单独的滤膜无法承受安装盘的重量，以免压坏滤芯。
[0016]进一步的，支撑架包括内部支撑架和外部支撑架，内部支撑架位于滤芯的内部，外部支撑架位于滤芯的外部；支撑架采用网格栅栏结构；使用时可以单独使用外部支撑架或者内部支撑架，也可以外部支撑架和内部支撑架结合起来用。
[0017]在上述方案中，通过设置网格栅栏格式的支撑架，可以在起到支撑安装板的同时还能保证液体能够继续经过滤芯过滤。
[0018]进一步的，滤膜均采用折叠结构，材料选择PP材质
[0019]在上述方案中，通过采用折叠滤膜可以增大滤芯的过滤面积，采用PP材质可以增加滤芯的使用寿命。
[0020]进一步的，过滤装置包括泵，泵和第一级单级过滤器，即过滤精度最低的单级过滤器，相串联；泵用于待过滤液体输送至第一级单级过滤器中。
[0021]在上述方案中，通过设置泵提高待过滤液体进入过滤装置的速度。
[0022]进一步的，容器包括底盘和壳体，壳体安装在底盘上，壳体和底盘之间形成一个密封的容器。
[0023]在上述方案中，容器是由壳体和底盘两个可拆分的零部件组成，形成一个可以分离的空间，便于安装和更换设置在容器内部的滤芯。
[0024]进一步的，在底盘上开设容器入口和容器出口，泵与第一级容器的容器入口串联。各级容器之间通过上一级的容器出口与下一级的入口串联在一起。
[0025]在上述方案中，各级容器可以通过在底盘上开始的容器进口和容器出口串联起来，保证了整个过滤装置的一致性。
[0026]进一步的，在容器的顶端设置有压力表和泄压阀。
[0027]在上述方案中，通过设置压力表可以便于观察容器内部的压力情况，在容器内部的压力高于预计值的时候，可以通过泄压阀将容器内部的压力消除，避免造成安装隐患，还可以减少管道内的空气形成气泡的风险。
[0028]进一步的，在容器的底部设置有架体。
[0029]在上述方案中，通过设置架体，是容器在一个平稳的状态下，避免影响到过滤效果。
[0030]与现有技术方案相比，有益效果在于：
[0031]1.通过设置多层折叠滤膜与单个过滤容器配合，在相同过滤精度的情况下，保证过滤精度的同时还能够保证减少整个装置占地面积。
[0032]2.整个装置的过滤精度呈阶梯分布，可是使装置在保持过滤精度的同时还能减轻滤芯堵塞的情况，保证了带过滤液体的流通性。
[0033]3.设置压力表和泄压阀保证了整个装置运行时的稳定性和可靠性。
附图说明
[0034]图1为本技术的整体结构示意图；
[0035]图2为本技术滤芯的剖视图；
[0036]图3为本技术滤芯的剖视图；
[0037]图4为涂布液过滤前放大50倍的显微镜视图；
[0038]图5为涂布液在实施例7过滤后放大50倍的显微镜视图。
[0039]附图标记说明如下：
[0040]1.泵，2.容器，21.壳体，22.底盘，221容器入口，222.容器出口，3.架体，4.压力表，5.本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种过滤装置，其特征在于，包括多级过滤器，所述多级过滤器包括若干个依次连接的单级过滤器，所述上一级单级过滤器的过滤精度小于下一级单级过滤器的过滤精度；所述单级过滤器包括容器(2)和滤芯(6)，所述滤芯(6)设置在所述容器(2)的内部，所述滤芯(6)由外向内设置有至少三层滤膜(61)；所述滤膜(61)包括外层滤膜(611)、内层滤膜(613)和至少一层中间层滤膜(612)；所述外层滤膜(611)的过滤精度小于等于中间层滤膜(612)的过滤精度，所述中间层滤膜(612)的过滤精度小于等于内层滤膜(613)的过滤精度。2.根据权利要求1所述的一种过滤装置，其特征在于，所述上一级单级过滤器的内层滤膜(613)的过滤精度小于等于下一级单级过滤器的外层滤膜(611)的过滤精度。3.根据权利要求2所述的一种过滤装置，其特征在于，所述滤芯(6)上设置有安装盘(63)，所述安装盘(63)分为顶部安装盘(631)和底部安装盘(632)，所述顶部安装盘(631)设置在所述滤芯(6)的顶部，所述底部安装盘(632)设置在所述滤芯(6)的底部，所述底部安装盘(632)与容器(2)连接且所述底部安装盘(632)开设有通孔；所述顶部安装盘(631)和底部安装盘(632)之间...
【专利技术属性】
技术研发人员：王钧，季成刚，江建国，
申请(专利权)人：浙江鑫柔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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