一种TR组件的测试装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及TR组件测试技术，公开了一种TR组件的测试装置和方法，其通过点频信号源、公分网络、输入输出检波器和波控模块的方式，实现射频信号的加载和测试。本发明专利技术集成了单模块供电和独立温控方式，实现DUT的直流电加载和DUT温度平台的独立控制，尽量减小工位之间的干扰；采用微波负载分时复用技术，实现多个TR组件的射频输出连接到同一个衰减器上，同时通过波控信号的程控模式，实现对每个TR组件每路通道的射频输出进行检测，从而实现成本低、检测全覆盖的可靠性试验测试要求。测全覆盖的可靠性试验测试要求。测全覆盖的可靠性试验测试要求。

【技术实现步骤摘要】
一种TR组件的测试装置和方法


[0001]本专利技术涉及TR组件测试技术，尤其涉及了一种TR组件的测试装置和方法。

技术介绍

[0002]目前，在射频测试领域，为了完成单个TR组件的性能测试，都是通过昂贵的测试仪器或者设备搭建试验测试线路。随着三代半导体的应用和推广，三代半导体的固有可靠性和工艺制程改进需要进行大量的可靠性筛选试验。而在可靠性试验测试中，由于多工位的特点，使用昂贵的测试仪器显得不太适合。通过为了进一步降低试验测试成本，现专利技术了一种时分复用的试验测试线路。。

技术实现思路

[0003]本专利技术针对现有技术中进行射频器件测试成本高的问题，提供了一种TR组件的测试装置和方法。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术通过下述技术方案得以解决：一种TR组件的测试装置，包括点频信号源，功分网络、多组隔离器、多组DUT单元、多组合路器、多组输入检波器、多组输出检波器和主控制模块；且隔离器、DUT单元、合路器、输入检波器相互对应；其特征在于，还包括波控模块；点频信号源提供电源信号至功分网络，功分网络对接收的信号进行功率的均分，并将均分后的功率传送至输入检波器；输入检波器进行输入功率的读取，并动态的调整信号源的输出功率，将调整后的信号传送至隔离器及主控制模块；隔离器对输入的信号进行隔离保护，并将隔离后的信号传送至DUT单元；DUT单元进行数据的采集和检测，并将检测的数据传送至主控制模块及合路器，同时波控模块发送控制信号至DUT单元，控制DUT单元的输出；合路器同时接收DUT单元的信号进行衰减输出，并将衰减后的信号传送至输出检波器；输出检波器读出输出的信号源功率，输出检波器并将输出的功率信号传送至主控制模块；主控制模块发送控制信号至波控模块，波控模块依据接收的控制信号发送同步信号至输出检波器。
[0005]作为优选，点频信号源和功分网络通过SMAJJ射频接头连接；隔离器为SMAJK型，隔离器直接安装在输入检波器上；功分网络和输入检波器之间、合路器和输出检波器之间，通过高频半刚性射频线缆组件连接；隔离器和DUT之间、DUT和合路器之间采用高频半柔性射频线缆组件连接。
[0006]作为优选，波控模块包括FPGA单元、驱动模块，FPGA单元用于产生时分复用的时序控制信号，驱动模块用于产生TTL信号和差分信号；时序控制信号、TTL信号和差分信号通过高速信号线束与TR组件及输出检波器连接。
[0007]作为优选，主控制模块通过DB9芯插头以串联方式与点频信号源、输入检波器、和输出检波器连接，主控制模块通过高压大电流线路与TR组件和DUT单元连接。
[0008]作为优选，点频信号源为DC3
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10接口，点频信号源的通信接口为RJ485；点频信号源的通信接口端设有限流电阻R21、R22、R31和R33、保护TVS管V3、V4和稳压二极管V7、V8；点频信号源的输入端通过电感L2和电容进行滤波和过冲抑制，在经过三端稳压器D1提供稳定的电源，三端稳压器的输出端连接有保险丝F1。
[0009]作为优选，DUT单元包括VD/VG供电单元和加热平台；VD/VG供电单元用于提供电源至DUT单元，加热平台对测试的器件进行加热，加热平台包括温度采样单元、加热控制单元和散热控制单元；温度采样单元用于采集测试器件的温度，加热控制单元用于对测试器件进行加热的控制，散热控制单元用于对加热平台进行散热控制。
[0010]作为优选，加热平台包括温度采样单元为隔离式温度采样单元，包括DC/DC供电模块和温度采样模块，DC/DC供电模块提供电源至温度采样模块，温度采样模块用于进行温度的采集；DC/DC供电模块的输出端Vout端串联有二极管V701；二极管V701的另一端连接有滤波电路，滤波电路包括电感L701和电容C701。
[0011]作为优选，加热控制单元包括加热电阻控制单元，电阻控制单元包括三极管Q1，主控制单元的控制信号通过保护电阻R1和滤波电容C1与三极管Q1的基极连接，实现三极管Q1放大功能，提供+12V的开关控制信号；三极管Q1的信号通过电阻R3和接地电阻R4分压，实现低内阻MOS管Q2的开关工作。
[0012]作为优选，散热控制单元包括三极管Q3，主控制单元的控制信号通过保护电阻R5和滤波电容C3与三极管Q3的基极连接，实现三极管Q3放大功能，提供+12V的开关控制信号；三极管Q3的信号通过电阻R7和接地电阻R8分压，实现低内阻MOS管Q4的开关工作。
[0013]为了解决上述技术问题，本专利技术还提供了一种TR组件的测试方法，其包括所述的一种TR组件的测试装置，实现的方法包括：主控制模块接收老化命令；TR组件进行直流供电；TR组件处于时分复用状态，通过发送波控信号和控制信号至TR组件，从而TR组件处于时分复用状态；点频信号源产生射频信号；对DUT单元进行温度的控制，通过PID算法对DUT单元进行温度的控制；射频频率的输出与控制，通过对输入检波器进行轮询的方式控制射频频率本专利技术的设计，达到了下述的技术效果：本专利技术实现低成本、多工位的可靠性试验测试，系统采用了点频信号源、公分网络、输入输出检波器和波控模块的方式，实现射频信号的加载和测试。同时系统集成了单模块供电和独立温控方式，实现DUT的直流电加载和DUT温度平台的独立控制，尽量减小工位之间的干扰。每个抽屉还设计一个主控制模块，负责单元抽屉内部各个模块的控制和数据检测，通过程序的联动控制，实现器件输入功率、加载直流电压、温控平台、DUT结温、TR组件的波控信号控制的自适应控制，满足DUT各种方式的试验测试要求。系统采用微波负载分时复用技术，实现多个TR组件的射频输出连接到同一个衰减器上，同时通过波控信号的程控模式，实现对每个TR组件每路通道的射频输出进行检测，从而实现成本低、检测全覆盖的可
靠性试验测试要求。
[0014]本专利技术用于TR组件或者满足一定时序控制功率器件的可靠性试验测试；本专利技术连接有可定义波控模块，满足DUT工作的控制与分时复用时序控制，同时输出控制信号，对输出检波器进行分时检测；本专利技术的TR组件的输出可以同时连接到同一个合路器，减少合路器使用数量，降低成本；本专利技术通过主控制模块，连接到集中监控软件，实现试验数据数字化。
附图说明
[0015]图1是本专利技术的系统框图；图2是本专利技术的DC/DC供电模块电路图；图3是本专利技术的电阻控制单元电路图；图4是本专利技术的散热控制单元电路图；图5是本专利技术的VD/VG供电单元电路图；图6是本专利技术的时序波形图；图7是本专利技术的点频信号源通信接口保护电路图；图8是本专利技术的点频信号源供电保护电路图；图9是本专利技术的点频信号源接口电路图；图10是本专利技术的波控模块的波控信号控制极输出电路图；图11是本专利技术的波控模块的波控信号输出驱动电路图；图12是本专利技术的波控信号定时切换电路图。
[0016]其中，TR： Transmitter and Receiver，收发组件；DUT：Device Under Test，被测试器件；SMA： SubMiniature Ve本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TR组件的测试装置，包括点频信号源，功分网络、多组隔离器、多组DUT单元、多组合路器、多组输入检波器、多组输出检波器和主控制模块；且隔离器、DUT单元、合路器、输入检波器相互对应；其特征在于，还包括波控模块；点频信号源提供电源信号至功分网络，功分网络对接收的信号进行功率的均分，并将均分后的功率传送至输入检波器；输入检波器进行输入功率的读取，并动态的调整信号源的输出功率，将调整后的信号传送至隔离器及主控制模块；隔离器对输入的信号进行隔离保护，并将隔离后的信号传送至DUT单元；DUT单元进行数据的采集和检测，并将检测的数据传送至主控制模块及合路器，同时波控模块发送控制信号至DUT单元，控制DUT单元的输出；合路器同时接收DUT单元的信号进行衰减输出，并将衰减后的信号传送至输出检波器；输出检波器读出输出的信号源功率，输出检波器并将输出的功率信号传送至主控制模块；主控制模块发送控制信号至波控模块，波控模块依据接收的控制信号发送同步信号至输出检波器。2.根据权利要求1所述的一种TR组件的测试装置，其特征在于，点频信号源和功分网络通过SMAJJ射频接头连接；隔离器为SMAJK型，隔离器直接安装在输入检波器上；功分网络和输入检波器之间、合路器和输出检波器之间，通过高频半刚性射频线缆组件连接；隔离器和DUT之间、DUT和合路器之间采用高频半柔性射频线缆组件连接。3.根据权利要求1所述的一种TR组件的测试装置，其特征在于，波控模块包括FPGA单元、驱动模块，FPGA单元用于产生时分复用的时序控制信号，驱动模块用于产生TTL信号和差分信号；时序控制信号、TTL信号和差分信号通过高速信号线束与TR组件及输出检波器连接。4.根据权利要求1所述的一种TR组件的测试装置，其特征在于，主控制模块通过DB9芯插头以串联方式与点频信号源、输入检波器、和输出检波器连接，主控制模块通过高压大电流线路与TR组件和DUT单元连接。5.根据权利要求1所述的一种TR组件的测试装置，其特征在于，点频信号源为DC3
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10接口，点频信号源的通信接口为RJ485；点频信号源的通信接口端设有限流电阻R21、R22、R31和R33、保护TVS管V3、V4和稳压二极管V7、V8；点频信号源的输入端...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴俊标，廖剑，卜建明，贺庭玉，
申请(专利权)人：杭州中安电子有限公司，
类型：发明
国别省市：