一种形成显示装置的方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种用于形成包括多个功能区的有机化合物薄膜的薄膜形成装置。在一个形成室（２１０）内包括多个蒸气源（２０３ａ至２０３ｃ），按顺序形成由各种有机化合物构成的功能区，并且可以在各功能区之间的界面中进一步形成一个混合区。另外，如果在这样的薄膜形成室中设置一个装置，为有待在一个分子激活区（２１３）中形成薄膜的一种有机化合物施加能量，就能形成致密的薄膜。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及到用包含在施加电场时能够发光的有机化合物的薄膜(以下称为有机化合物层)以及一个阳极和一个阴极形成一个发光元件的一种淀积装置和一种淀积方法。本专利技术具体涉及到一种发光元件的制造工艺，其驱动电压比以往要低，并且寿命更长。本文中所说的发光器件是指一种图象显示器件或是被用做发光元件的一种发光器件。发光器件的定义还包括一种模块，模块中有一个附着在发光元件上的连接器，例如是各向异性的导电薄膜(FPC柔性印刷电路)，TAB(自动粘结带)带，或者是TCP(传送带包装tape carrier package)，一种模块，其中的印刷线路板被设在TAB带或TCP的尖上，以及这样一种模块，在其中用COG(玻璃基芯片)方法直接将一个IC(集成电路)安装在发光元件上。有关的现有技术发光元件是一种在施加电场时发光的元件。其发光机制据说是这样的，对夹在电极之间的有机化合物薄膜施加一个电压，借助于从阴极注入的电子和从阳极注入的空穴的重组在有机化合物层的发光中心形成分子电子-空穴对，并且在产生的分子电子-空穴对恢复到基本状态时以发光的形式释放出能量。有机化合物有两种类型的分子电子-空穴对；一种是单本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种形成显示装置的方法，包括：汽化来自第一蒸汽源的第一有机化合物，以便在基片上形成第一有机化合物层；汽化来自所述第一蒸汽源和一个第二蒸汽源的第一有机化合物和第二有机化合物，同时用光线照射所述第一有机化合物和第二有机化合物的分 子，以便在所述第一有机化合物层上形成第二有机化合物层；汽化来自所述第二蒸汽源的第二有机化合物，以便在所述第二有机化合物层上形成第三有机化合物层。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山崎舜平，濑尾哲史，柴田典子，
申请(专利权)人：株式会社半导体能源研究所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]