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本发明提供了一种用于形成包括多个功能区的有机化合物薄膜的薄膜形成装置。在一个形成室（２１０）内包括多个蒸气源（２０３ａ至２０３ｃ），按顺序形成由各种有机化合物构成的功能区，并且可以在各功能区之间的界面中进一步形成一个混合区。另外，如果在这样...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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