晶体生长炉制造技术

本发明专利技术涉及一种晶体生长炉，该晶体生长炉包括机架、提拉杆、操纵机构、炉室和密封机构，操纵机构设置于机架，提拉杆设置于操纵机构，操纵机构包括第一输出轴和第二输出轴，第一输出轴用于驱动提拉杆水平移动，第二输出轴用于驱动提拉杆沿着自身轴线转动；炉室包括具有腔体的炉体和盖合于炉体的炉盖，炉盖上设有避让通道，提拉杆穿过避让通道伸入腔体，且避让通道允许提拉杆水平移动；密封机构套设于提拉杆，用于盖封避让通道。本发明专利技术的优点在于：通过在炉盖上设置避让通道，从而允许提拉杆水平运动，实现偏心引晶。在晶体生长的过程中，密封机构将避让通道密封，防止外界空气中的氧气等杂质进入炉室，从而保证晶体的生长质量。从而保证晶体的生长质量。从而保证晶体的生长质量。

【技术实现步骤摘要】
晶体生长炉


[0001]本专利技术涉及晶体生长
，特别是涉及一种晶体生长炉。

技术介绍

[0002]目前，单晶蓝宝石越来越广泛地应用于光电产业，各生产厂家通常采用泡生法来生产单晶蓝宝石，而且，通常是将籽晶置于坩埚的轴线位置进行引晶。现有的研究表明，将籽晶置于偏离坩埚轴线的位置进行偏心引晶，生长出来的晶体的质量更佳。
[0003]采用上述的偏心引晶的方式来生产不同规格的晶体时，籽晶偏离坩埚轴线的距离不同。为此，有必要使晶体生长炉的提拉杆能够进行水平移动，以调整籽晶偏离坩埚轴线的距离。然而，提拉杆的水平移动会破坏炉室的密封结构，导致空气中的氧气等杂质进入炉室，影响晶体的生长质量。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术针对上述技术问题，提供一种晶体生长炉，该晶体生长炉能够在晶体生长的过程中，将炉室密封，保证晶体的生长质量。
[0005]本专利技术提供的晶体生长炉，包括机架、提拉杆、操纵机构、炉室和密封机构，操纵机构设置于机架，提拉杆设置于操纵机构，操纵机构包括第一输出轴和第二输出轴，第一输出轴用于驱动提拉杆水平移动，第二输出轴用于驱动提拉杆沿着自身轴线转动；炉室包括具有腔体的炉体和盖合于炉体的炉盖，炉盖上设有避让通道，提拉杆穿过避让通道伸入腔体，且避让通道允许提拉杆水平移动；密封机构套设于提拉杆，用于盖封避让通道。
[0006]在其中一个实施方式中，密封机构包括密封座和施力组件，密封座套设于提拉杆，密封座具有盖封避让通道的密封面，施力组件连接于密封座以驱使密封座压接于炉盖。
[0007]如此设置，在施力组件施加的力的作用下，密封座压紧在炉盖上，密封面将避让通道密封，从而防止外界空气中的氧气等杂质通过避让通道进入炉室，保证晶体的生长质量。
[0008]在其中一个实施方式中，密封座具有允许提拉杆穿过的中空腔，中空腔内设有内螺纹，施力组件包括外传动套和与外传动套传动连接的内传动套，内传动套卡设于提拉杆用于随提拉杆转动，外传动套的外周面设有与内螺纹螺纹连接的外螺纹。
[0009]如此设置，提拉杆及其所携带的籽晶可以通过中空腔进入炉室内，从而让籽晶生长成晶棒。在晶体生长完成之前，提拉杆将一直沿着自身轴线转动。当提拉杆沿着自身轴线转动时，提拉杆带动内传动套转动，内传动套带动外传动套转动，外传动套通过螺纹传动驱动密封座向下运动。密封座会向下运动至其密封面压接于炉盖，此后，密封座不能继续向下运动，外传动套也不能转动，外传动套相对密封座静止，但提拉杆仍然转动并带动内传动套一起转动，因此，内传动套与外传动套之间发生相对滑动。内传动套对外传动套的滑动摩擦力使外传动套有发生转动的趋势，经过外传动套与密封座之间的螺纹传动，外传动套的发生转动的趋势会使密封座有发生向下运动的趋势，密封座对炉盖有向下的力，从而保证密封座一直压接于炉盖，保证密封面将避让通道密封。
[0010]在其中一个实施方式中，内传动套的外周面设有多个间隔设置的弹性的第一凸条，外传动套的内周面间隔设置有多个弹性的第二凸条，第一凸条与第二凸条错位设置。
[0011]如此设置，在密封座压接于炉盖前，第一凸条的侧面抵接于第二凸条的侧面，起到类似于齿轮传动的传动作用，从而让内传动套带动外传动套一起转动。在密封座压接于炉盖后，因为密封座不能继续向下运动，外传动套相对密封座静止，而提拉杆仍然带动内传动套一起转动，所以第一凸条与第二凸条之间发生弹性挤压与相对滑动。
[0012]在其中一个实施方式中，提拉杆上设有沿着提拉杆的长度方向设置的卡槽或卡块中的一者，内传动套的内壁面上设有卡槽或卡块中的另一者，卡块可滑动地卡设于卡槽。
[0013]如此设置，当提拉杆沿着自身轴线转动时，提拉杆能够通过卡槽与卡块之间的连接来带动内传动套转动。此外，通过卡槽与卡块的连接，提拉杆还能够沿着自身的长度方向相对内传动套发生滑动。
[0014]在其中一个实施方式中，施力组件还包括锁止件和第一弹性件，外传动套的内壁面上设有容置槽，第一弹性件一端固设于容置槽的槽壁另一端固设于锁止件，锁止件上设有与第一凸条错位设置的第三凸条，锁止件具有凸出于外传动套的内壁面状态下的传动状态和容置于容置槽内的滑动状态。
[0015]如此设置，在密封座压接于炉盖前，锁止件凸出于外传动套的内壁面，第三凸条的侧面抵接于第一凸条的侧面，起到类似于齿轮传动的传动作用，从而让内传动套带动外传动套一起转动。在密封座压接于炉盖后，因为密封座不能继续向下运动，外传动套相对密封座静止，而提拉杆仍然带动内传动套一起转动，所以第一凸条将锁止件压入容置槽且第一凸条与外传动套的内壁之间发生相对滑动。
[0016]在其中一个实施方式中，密封机构还包括第一密封圈，第一密封圈套设于外传动套且位于外传动套与中空腔的腔壁之间。
[0017]如此设置，第一密封圈能够将外传动套与中空腔腔壁之间密封，从而防止外界空气通过外传动套与中空腔腔壁之间的间隙到达避让通道，进入炉室。
[0018]在其中一个实施方式中，滑动组件还包括第二密封圈，第二密封圈位于密封面与炉盖之间。
[0019]如此设置，密封座压接于炉盖时，第二密封圈同时与密封面、炉盖紧密接触，能够更好地将密封面与炉盖之间密封。
[0020]在其中一个实施方式中，密封机构还包括滑动组件，密封座可滑动地连接于滑动组件，滑动组件设置于炉盖。
[0021]如此设置，当第一输出轴驱动提拉杆水平移动时，密封座可以通过与滑动组件发生相对滑动的方式跟随提拉杆一起水平运动。
[0022]在其中一个实施方式中，操纵机构还包括第一基座和第二基座，第一基座固设于机架，第一输出轴的一侧滑动连接于第一基座，第二基座连接于第一输出轴的远离第一基座的一侧，第二输出轴转动连接于第二基座，提拉杆连接于第二输出轴。
[0023]如此设置，提拉杆可以在第一输出轴和第二输出轴的驱动下分别发生水平移动和沿着自身轴线转动。
[0024]本专利技术至少具有以下有益效果：本专利技术提供的晶体生长炉通过在炉盖上设置避让通道，从而允许提拉杆水平运
动，实现偏心引晶。在晶体生长的过程中，密封机构将避让通道密封，防止外界空气中的氧气等杂质进入炉室，从而保证晶体的生长质量。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为本专利技术一个实施例的晶体生长炉的结构示意图；图2为本专利技术一个实施例的密封机构、提拉杆、炉盖之间连接关系的剖面示意图；图3为图2所示连接关系在另一视角下的剖面示意图；图4为本专利技术一个实施例中施力组件与密封座之间连接关系的剖面示意图；图5为本专利技术一个实施例的炉盖的结构示意图；图6为图5中A处的放大示意图；图7为本专利技术一个实施例的提拉杆的结构示意图；图8为本专利技术一个实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉，其特征在于，包括：机架(10)；提拉杆(30)；操纵机构(20)，设置于所述机架(10)，所述提拉杆(30)设置于所述操纵机构(20)，所述操纵机构(20)包括第一输出轴(21)和第二输出轴，所述第一输出轴(21)用于驱动所述提拉杆(30)水平移动，所述第二输出轴用于驱动所述提拉杆(30)沿着自身轴线转动；炉室(40)，包括具有腔体的炉体(41)和盖合于所述炉体(41)的炉盖(42)，所述炉盖(42)上设有避让通道(421)，所述提拉杆(30)穿过所述避让通道(421)伸入所述腔体，且所述避让通道(421)允许所述提拉杆(30)水平移动；以及密封机构(50)，套设于所述提拉杆(30)，用于盖封所述避让通道(421)。2.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，所述密封机构(50)包括密封座(51)和施力组件(52)，所述密封座(51)套设于所述提拉杆(30)，所述密封座(51)具有盖封所述避让通道(421)的密封面(511)，所述施力组件(52)连接于所述密封座(51)以驱使所述密封座(51)压接于所述炉盖(42)。3.根据权利要求2所述的晶体生长炉，其特征在于，所述密封座(51)具有允许所述提拉杆(30)穿过的中空腔(512)，所述中空腔(512)内设有内螺纹(5121)，所述施力组件(52)包括外传动套(521)和与所述外传动套(521)传动连接的内传动套(522)，所述内传动套(522)卡设于所述提拉杆(30)用于随所述提拉杆(30)转动，所述外传动套(521)的外周面设有与所述内螺纹(5121)螺纹连接的外螺纹(5211)。4.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，所述内传动套(522)的外周面设有多个间隔设置的弹性的第一凸条(5221)，所述外传动套(521)的内周面间隔设置有多个弹性的第二凸条，所述第一凸条(5221)与所述第二凸条错位设置。5.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，傅林坚，张俊，叶钢飞，欧阳鹏根，曹建伟，阮文星，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：