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晶体生长炉制造技术
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文档序号:36944545
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本发明涉及一种晶体生长炉,该晶体生长炉包括机架、提拉杆、操纵机构、炉室和密封机构,操纵机构设置于机架,提拉杆设置于操纵机构,操纵机构包括第一输出轴和第二输出轴,第一输出轴用于驱动提拉杆水平移动,第二输出轴用于驱动提拉杆沿着自身轴线转动;炉室...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。
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