本实用新型专利技术涉及射频器件测试技术，公开了一种射频器件的高温测试装置，其点频信号源提供电源信号至功分网络，功分网络对接收的信号进行功率的均分，并传送至输入检波器，输入检波器进行输入功率的读取将调整后的信号传送至隔离器及主控制模块，隔离器对输入的信号进行隔离保护，并将隔离后的信号传送至DUT单元；DUT单元进行数据的采集和检测，并将检测的数据传送至主控制模块及衰减器，衰减器对接收的信号进行衰减输出，输出检波器读出输出的信号源功率，并将信号传送至主控制模块，主控制模块依据接收的功率信号动态调整DUT单元的壳温。本实用新型专利技术通过点频信号源、公分网络及输入输出检波器的方式，进行射频信号的加载和测试设计成本低。试设计成本低。试设计成本低。
【技术实现步骤摘要】
一种射频器件的高温测试装置
[0001]本技术涉及射频器件测试技术，尤其涉及了一种射频器件的高温测试装置。
技术介绍
[0002]目前，在射频测试领域，为了完成单个DUT的性能测试，都是通过昂贵的测试仪器或者设备搭建试验测试线路。随着三代半导体的应用和推广，三代半导体的固有可靠性和工艺制程改进需要进行大量的可靠性筛选试验。而在可靠性试验测试中，由于多工位的特点，使用昂贵的测试仪器显得不太适合。
技术实现思路
[0003]本技术针对现有技术中进行射频器件测试成本高的问题，提供了一种射频器件的高温测试装置。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术通过下述技术方案得以解决：
[0005]一种射频器件的高温测试装置，包括点频信号源，功分网络、多组隔离器、多组DUT单元、多组衰减器、多组输入检波器、多组输出检波器和主控制模块；且隔离器、DUT单元、衰减器、输入检波器和输出检波器相互对应；其点频信号源提供电源信号至功分网络，功分网络对接收的信号进行功率的均分，并将均分后的功率传送至输入检波器，输入检波器进行输入功率的读取，并动态的调整信号源的输出功率；将调整后的信号传送至隔离器及主控制模块，隔离器对输入的信号进行隔离保护，并将隔离后的信号传送至DUT单元；DUT单元进行数据的采集和检测，并将检测的数据传送至主控制模块及衰减器，衰减器对接收的信号进行衰减输出，并将衰减后的信号传送至输出检波器，输出检波器读出输出的信号源功率，并将信号传送至主控制模块，主控制模块依据接收的功率信号动态调整DUT单元的壳温。
[0006]作为优选，DUT单元位于不同的抽屉单元内，且抽屉单元相互之间并联连接。
[0007]作为优选，DUT单元包括VDVG供电单元和加热平台；VDVG供电单元用于提供电源至DUT单元，加热平台对测试的器件进行加热。
[0008]作为优选，加热平台包括温度采样单元、加热控制单元和散热控制单元；温度采样单元用于采集测试器件的温度，加热控制单元用于对测试器件进行加热的控制，散热控制单元用于对加热平台进行散热控制。
[0009]作为优选，加热平台包括温度采样单元为隔离式温度采样单元，包括DCDC供电模块和温度采样模块，DCDC供电模块提供电源至温度采样模块，温度采样模块用于进行温度的采集；DCDC供电模块的输出端Vout端串联有二极管V701；二极管V701的另一端连接有滤波电路，滤波电路包括电感L701和电容C701；
[0010]作为优选，加热控制单元包括加热电阻控制单元，电阻控制单元包括三极管Q1，主控制单元的控制信号通过保护电阻R1和滤波电容C1与三极管Q1的基极连接，实现三极管Q1放大功能，提供+12V的开关控制信号；三极管Q1的信号通过电阻R3和接地电阻R4分压，实现低内阻MOS管Q2的开关工作。
[0011]作为优选，散热控制单元包括三极管Q3，主控制单元的控制信号通过保护电阻R5和滤波电容C3与三极管Q3的基极连接，实现三极管Q3放大功能，提供+12V的开关控制信号；三极管Q3的信号通过电阻R7和接地电阻R8分压，实现低内阻MOS管Q4的开关工作。
[0012]作为优选，VDVG供电单元包括近端滤波单元、远端采样单元；远端采样单元位于射频器件一侧，远端采样单元的VD端和VG端均连接有近端滤波单元。
[0013]本技术的设计，达到了下述的技术效果：
[0014]本技术系统采用了点频信号源+公分网络+输入输出检波器的方式，实现射频信号的加载和测试。同时系统集成了单模块供电和独立温控方式，实现DUT的直流电加载和DUT温度平台的独立控制，尽量减小工位之间的干扰。每个抽屉还设计一个主控制模块，负责单元抽屉内部各个模块的控制和数据检测，通过程序的联动控制，实现器件输入功率、加载直流电压、温控平台、DUT结温的自适应控制，满足DUT各种方式的试验测试要求。
[0015]在满足技术指标的条件下，成本低；如果采用测试仪器的话，在满足8个DUT试验的要求，需要配置1个台式信号源、1个台式功率放大器、1个1分8功分器、16个耦合检波器、2个8选1微波开关、8个大功率负载，1个台式功率计。总造价约120万元人民币。而如果采用如下图的测试线路，在满足8个DUT试验的要求下，总造价约20万元人民币。
[0016]单抽屉独立控制，通过抽屉的并联连接，实现多工位射频器件的测试；由于每个抽屉都是独立控制，相当于每个抽屉不仅能提供不同的直流功率，还能提供不同的射频输出频率和输出功率，所以同一个机台可以同时做不同类型的器件，并加载不同的试验条件。而采用测试仪器的话，一次只能加载相同的试验条件。
[0017]通过输入检波器的功率读取，动态调整信号源输出功率，保证DUT输入功率的稳定；如果采用测试仪器的话，由于8选1微波开关有开关使用寿命，不能随时进行输入功率检测，所以对输入功率的读取比较慢（一般是30分钟检测一次），进而使得信号源输出功率的调整也比较慢。
[0018]通过输出检波器的功率读取，动态调整加热平台的壳温，保证DUT结温Tj的稳定；如果采用测试仪器的话，由于8选1微波开关有开关使用寿命，不能随时进行输出功率检测，所以对输出功率的读取比较慢（一般是30分钟检测一次），从而对器件输出功率的退化有一定的滞后性。
[0019]具有集中监控软件，实现试验数据数字化。
附图说明
[0020]图1是本技术的系统框图；
[0021]图2是本技术的DCDC供电模块电路图；
[0022]图3是本技术的电阻控制单元电路图；
[0023]图4是本技术的散热控制单元电路图；
[0024]图5是本技术的VDVG供电单元电路图。
具体实施方式
[0025]下面结合附图与实施例对本技术作进一步详细描述。
[0026]实施例1
[0027]一种射频器件的高温测试装置，通过图1，其包括点频信号源，功分网络、多组隔离器、多组DUT单元、多组衰减器、多组输入检波器、多组输出检波器和主控制模块；且隔离器、DUT单元、衰减器、输入检波器和输出检波器相互对应；其点频信号源提供电源信号至功分网络，功分网络对接收的信号进行功率的均分，并将均分后的功率传送至输入检波器，输入检波器进行输入功率的读取，并动态的调整信号源的输出功率；将调整后的信号传送至隔离器及主控制模块，隔离器对输入的信号进行隔离保护，并将隔离后的信号传送至DUT单元；DUT单元进行数据的采集和检测，并将检测的数据传送至主控制模块及衰减器，衰减器对接收的信号进行衰减输出，并将衰减后的信号传送至输出检波器，输出检波器读出输出的信号源功率，并将信号传送至主控制模块，主控制模块依据接收的功率信号动态调整DUT单元的壳温。
[0028]在图1中设有4组隔离器、4组DUT单元、4组衰减器、4组输入检波器、4组输出检波器。
[0029]通过输出检波器的功率读取，动态调整加热平台的壳温，保证D本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种射频器件的高温测试装置，包括点频信号源，功分网络、多组隔离器、多组DUT单元、多组衰减器、多组输入检波器、多组输出检波器和主控制模块；且隔离器、DUT单元、衰减器、输入检波器和输出检波器相互对应；其特征在于，点频信号源提供电源信号至功分网络，功分网络对接收的信号进行功率的均分，并将均分后的功率传送至输入检波器，输入检波器进行输入功率的读取，并动态的调整信号源的输出功率；将调整后的信号传送至隔离器及主控制模块，隔离器对输入的信号进行隔离保护，并将隔离后的信号传送至DUT单元；DUT单元进行数据的采集和检测，并将检测的数据传送至主控制模块及衰减器，衰减器对接收的信号进行衰减输出，并将衰减后的信号传送至输出检波器，输出检波器读出输出的信号源功率，并将信号传送至主控制模块，主控制模块依据接收的功率信号动态调整DUT单元的壳温。2.根据权利要求1所述的一种射频器件的高温测试装置，其特征在于，DUT单元位于不同的抽屉单元内，且抽屉单元相互之间并联连接。3.根据权利要求1所述的一种射频器件的高温测试装置，其特征在于，DUT单元包括VDVG供电单元和加热平台；VDVG供电单元用于提供电源至DUT单元，加热平台对测试的器件进行加热。4.根据权利要求3所述的一种射频器件的高温测试装置，其特征在于，加热平台包括温度采样单元、加热控制单元和散热控制单元；温度采样单元用于采集测试器件的温度，加热控制单元用于对测试器件进行加热的控制...
【专利技术属性】
技术研发人员：柴俊标，周玉军，高光奎，廖剑，卜建明，贺庭玉，
申请(专利权)人：杭州中安电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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