MOCVD旋转齿轮高温治具架制造技术

MOCVD旋转齿轮高温治具架，包括框架，框架包括底座和设置在底座上部的若干立柱，若干立柱之间纵向依次排列有若干载板，载板上部以可抽插的方式设置有盘架，盘架的上部设置有若干支架；支架设置为十字状结构，支架内部设置有用于容纳齿轮的内槽，内槽内部设置有用于承载齿轮的一级台阶、二级台阶和三级台阶，整体为石墨材质，由于齿轮上下层拆开较薄，不能立放，所以该治具齿轮采用平放在支架上的方式，治具框架分为4层，每层单独平放8个齿轮块，可抽插放入框架，其解决了齿轮高温炉烘烤去除表面coating，治具架可增加了烘烤齿轮数量。治具架可增加了烘烤齿轮数量。治具架可增加了烘烤齿轮数量。

【技术实现步骤摘要】
MOCVD旋转齿轮高温治具架
[0001]
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[0002]本技术涉及半导体设备
，更具体地说是MOCVD旋转齿轮高温治具架。
[0003]
技术介绍
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[0004]现有MOCVD小盘旋转齿轮，上方靠载盘重力拖动小盘旋转，齿轮内部设有滚珠，分为上下两层，旋转时滚珠在槽内滚动，由于经过高温及腔室化合物反应，长时间使用槽面及齿牙表面会附着一层coating物，影响齿轮滚珠槽及齿牙光滑度，以造成旋转出现卡涩现象，若较严重会出现齿轮卡死，其普通擦拭无法去除，使用高温炉目前无符合该齿轮尺寸的载放治具。
[0005]
技术实现思路
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[0006]为解决上述问题，克服现有技术的不足，本技术提供了能一次性大量烘烤去除表面coating的MOCVD旋转齿轮高温治具架。
[0007]为实现上述目的，本技术提供的MOCVD旋转齿轮高温治具架，包括框架，框架包括底座和设置在底座上部的若干立柱，若干立柱之间纵向依次排列有若干载板，载板上部以可抽插的方式设置有盘架，盘架的上部设置有若干支架；
[0008]支架设置为十字状结构，支架内部设置有用于容纳齿轮的内槽，内槽内部设置有用于承载齿轮的一级台阶、二级台阶和三级台阶。
[0009]进一步的，内槽宽110毫米。
[0010]进一步的，一级台阶的长宽高分别为20毫米、20毫米和50毫米。
[0011]进一步的，二级台阶的长宽高分别为20毫米、15毫米和20毫米。
[0012]进一步的，三级台阶的长宽高分别为20毫米、10毫米和18毫米。<br/>[0013]进一步的，盘架包括载盘和固定设置在载盘前端的前挡板。
[0014]进一步的，框架、盘架和支架均采用石墨材质制成。
[0015]进一步的，框架共设置有四层载板，盘架上设置有八个支架。
[0016]本技术的有益效果是：
[0017]本技术提供的MOCVD旋转齿轮高温治具架整体为石墨材质，由于齿轮上下层拆开较薄，不能立放，所以该治具齿轮采用平放在支架上的方式，治具框架分为4层，每层单独平放8个齿轮块，可抽插放入框架，其解决了齿轮高温炉烘烤去除表面coating，治具架可增加了烘烤齿轮数量。增加了齿轮支架，同时设计了叠加层，可同时放开32块齿轮层，单层可方便独立抽取放入齿轮，经过该治具载放进高温炉烘烤反应可去除齿轮表面顽固附着物，使滚珠槽及齿牙干净。
[0018]附图说明：
[0019]附图1是本技术结构示意图；
[0020]附图2是本技术的盘架结构放大示意图；
[0021]附图3是本技术的支架结构放大示意图；
[0022]附图中：1、框架，11、底座，12、载板，13、立柱，2、盘架，21、前挡板，22、载盘，3、支架，31、一级台阶，32、二级台阶，33、三级台阶。
[0023]具体实施方式：
[0024]为使本技术实施的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术的附图1~附图3，对本技术进行更加详细的描述。
[0025]本技术提供的MOCVD旋转齿轮高温治具架，包括框架1，框架1包括底座11和设置在底座11上部的若干立柱13，若干立柱13之间纵向依次排列有若干载板12，载板12上部以可抽插的方式设置有盘架2，盘架2的上部设置有若干支架3；
[0026]支架3设置为十字状结构，支架3内部设置有用于容纳齿轮的内槽，内槽内部设置有用于承载齿轮的一级台阶31、二级台阶32和三级台阶33；内槽宽110毫米；一级台阶31的长宽高分别为20毫米、20毫米和50毫米；二级台阶32的长宽高分别为20毫米、15毫米和20毫米；三级台阶33的长宽高分别为20毫米、10毫米和18毫米；盘架2包括载盘22和固定设置在载盘22前端的前挡板21；框架1、盘架2和支架3均采用石墨材质制成；框架1共设置有四层载板12，盘架2上设置有八个支架3。
[0027]本技术的其中一种实施例如下：
[0028]MOCVD旋转齿轮高温治具架，包括框架1，框架1包括底座11和设置在底座11上部的四个立柱13，四个立柱13分别位于四角处，底盘高50毫米，四个立柱13之间纵向依次排列有四个载板12，载盘22的厚度为20毫米，载板12上部以可抽插的方式设置有盘架2，每个盘架2的上部设置有八个支架3，整个框架1中可以放置32个齿轮。
[0029]框架1的长宽分别为650毫米和430毫米，相邻两个载板12之间的高度差为130毫米。
[0030]支架3设置为十字状结构，支架3内部设置有用于容纳齿轮的内槽，内槽内部设置有用于承载齿轮的一级台阶31、二级台阶32和三级台阶33。
[0031]内槽宽110毫米，最外侧的一级台阶31的长宽高分别为20毫米、20毫米和50毫米，中间的二级台阶32的长宽高分别为20毫米、15毫米和20毫米，最内侧的三级台阶33的长宽高分别为20毫米、10毫米和18毫米。形成三级式结构。
[0032]放置齿轮时，上层齿轮放置在二级台阶32上，齿轮两侧的突出部分正好可放在三级台阶33上。下层齿轮和支架3放置在二级台阶32上。
[0033]盘架2包括载盘22和固定设置在载盘22前端的前挡板21，前挡板21的外侧设置有把手。
[0034]载盘22的长宽高分别为620毫米、350毫米和20毫米，前挡板21的长宽高分别为400毫米、30毫米和100毫米。
[0035]分为上下4层，每层可平放8个齿轮，上下齿轮层可通用，使用时烤架放在烤炉托盘上，可根据需求将拆分的齿轮放入支架3上，上齿轮滚珠槽向上，齿牙根部有一圈向下的凸起可卡入槽内，下齿轮为环形带螺纹，滚珠槽向上，每个齿轮有4个支架3，这样可以有效烤掉槽内及齿牙的污物，同时不会损伤陶瓷内螺纹，抓住两边把手将放入齿轮的盘架2插入框架1即可。
[0036]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.MOCVD旋转齿轮高温治具架，其特征在于：包括框架，所述框架包括底座和设置在底座上部的若干立柱，若干所述立柱之间纵向依次排列有若干载板，所述载板上部以可抽插的方式设置有盘架，所述盘架的上部设置有若干支架；所述支架设置为十字状结构，所述支架内部设置有用于容纳齿轮的内槽，所述内槽内部设置有用于承载齿轮的一级台阶、二级台阶和三级台阶。2.根据权利要求1所述的MOCVD旋转齿轮高温治具架，其特征在于：所述内槽宽110毫米。3.根据权利要求1所述的MOCVD旋转齿轮高温治具架，其特征在于：所述一级台阶的长宽高分别为20毫米、20毫米和50毫米。4.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明亮，
申请(专利权)人：远山新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：