一种单晶硅料盒的搬运装置制造方法及图纸

技术编号:36903839 阅读:23 留言:0更新日期:2023-03-18 09:23
本发明专利技术公开了一种单晶硅料盒的搬运装置,包括机器人过渡安装板;机器人过渡安装板背面与六轴机器人的手腕部相连接;机器人过渡安装板正面设置有换枪盘机器人侧;换枪盘机器人侧与换枪盘工具侧相连接;换枪盘工具侧连接搬运抓手主框架;搬运抓手主框架的前侧设置有夹紧伸缩气缸;夹紧伸缩气缸与伸缩滑动安装板的左端相接;搬运抓手主框架的前侧左端设置有第一搬运抓手夹爪,且前侧右端设置有伸缩滑动直线导轨副;伸缩滑动直线导轨副与前侧设置有第二搬运抓手夹爪的伸缩滑动安装板相接;两个夹爪用于夹持单晶硅料盒;本发明专利技术能够方便、可靠地对单晶硅料盒进行搬运操作,避免了安全隐患,保证了工人们的身体健康,降低了人力成本,提高了工作效率。高了工作效率。高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅料盒的搬运装置


[0001]本专利技术涉及机械
,特别是涉及一种单晶硅料盒的搬运装置。

技术介绍

[0002]目前,用于放置半导体原材料(例如硅料)的盒体(例如单晶硅料盒)的搬运工作,主要采用人力搬运。在很多工作环境下,并不适宜人为操作,例如:登高踩踏搬运堆叠过高的货物,或者工作负荷超过人机要求等情况。
[0003]对于存放在高处的单晶硅料盒进行传统搬运时,需要人工借助踏台来达到取放位置,不仅消耗人力时间,而且高空作业对于工人的人身安全也存在较多的风险,存在较大的安全隐患。
[0004]此外,对于用于放置半导体原材料(例如硅料)的单晶硅料盒,在到达取放位置时,如果再进行倒料操作,由于在倒料时会产生较大的粉尘,对于工人的身体健康也有很大的影响。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是针对现有技术存在的技术缺陷,提供一种单晶硅料盒的搬运装置。
[0006]为此,本专利技术提供了一种单晶硅料盒的搬运装置,其包括垂直分布的机器人过渡安装板;
[0007]机器人过渡安装板的背面下部,与现有的六轴机器人的手腕部相连接;
[0008]机器人过渡安装板的正面下部,设置有一个换枪盘机器人侧;
[0009]换枪盘机器人侧的前侧,与换枪盘工具侧的后侧相连接;
[0010]换枪盘工具侧的前侧,固定连接一个搬运抓手主框架的后侧;
[0011]搬运抓手主框架的前侧,设置有横向分布的夹紧伸缩气缸支座;
[0012]夹紧伸缩气缸支座的前侧,设置有横向分布的夹紧伸缩气缸;
[0013]夹紧伸缩气缸的右侧输出端,与横向分布的伸缩滑动安装板的左端相连接;
[0014]搬运抓手主框架的前侧左端,垂直设置有纵向分布的第一搬运抓手夹爪;
[0015]搬运抓手主框架的前侧右端,设置有两个横向分布的伸缩滑动直线导轨副;
[0016]伸缩滑动直线导轨副前侧具有的滑座,与伸缩滑动安装板的后侧相连接;
[0017]伸缩滑动安装板的前侧,垂直设置有纵向分布的第二搬运抓手夹爪;
[0018]第一搬运抓手夹爪和第二搬运抓手夹爪为左右相对设置;
[0019]第一搬运抓手夹爪和第二搬运抓手夹爪用于夹持需要搬运的一个单晶硅料盒;
[0020]单晶硅料盒,包括顶部开口的单晶硅料盒体;
[0021]单晶硅料盒体的内腔,用于放置硅料;
[0022]单晶硅料盒体的顶部,覆盖地设置有单晶硅料盒盖。
[0023]优选地,机器人过渡安装板的正面上部,设置有一个相机识别装置;
[0024]相机识别装置,用于确定单晶硅料盒所在的位置,然后发送位置信息至六轴机器人;
[0025]六轴机器人,与相机识别装置相数据通信,用于在收到所述单晶硅料盒所在的位置信息后,将搬运抓手主框架移动到需要搬运的一个单晶硅料盒的正后方,并使得第一搬运抓手夹爪和第二搬运抓手夹爪位于单晶硅料盒的左右两边。
[0026]优选地,夹紧伸缩气缸右侧输出端设置有伸缩气缸连接头,通过伸缩气缸连接头与伸缩滑动安装板的左端相连接。
[0027]优选地,伸缩滑动安装板左端设置有伸缩气缸连接头容纳槽;
[0028]伸缩气缸连接头的右端,设置于伸缩气缸连接头容纳槽中。
[0029]优选地,夹紧伸缩气缸支座的右端面上下两侧,分别设置有一个垂直分布的伸缩到位调整垫片;
[0030]每个伸缩到位调整垫片的右侧,分别设置有一个垂直分布的第一伸缩到位限位块;
[0031]伸缩滑动安装板的左端面上下两侧,在与每个第一伸缩到位限位块相对应的位置,分别设置有一个第二伸缩到位限位块。
[0032]优选地,第一搬运抓手夹爪和第二搬运抓手夹爪相对的一侧前端,分别设置有两个纵向分布且上下间隔的夹爪橡胶垫。
[0033]优选地,第一搬运抓手夹爪和第二搬运抓手夹爪相对的一侧后端,分别设置有一个横向分布的到位检测开关支架;
[0034]两个到位检测开关支架为左右对称分布;
[0035]两个到位检测开关支架相对的一端,分别设置有一个到位检测开关。
[0036]优选地,两个到位检测开关,分别用于检测与所述单晶硅料盒体的后侧面之间的距离,当该距离小于或等于预设距离值时,发送停止移动信号至现有的六轴机器人,控制现有的六轴机器人在预设时长内停止继续移动,以及发送驱动收缩工作信号至夹紧伸缩气缸,控制夹紧伸缩气缸进行收缩,使得第一搬运抓手夹爪和第二搬运抓手夹爪夹紧单晶硅料盒体。
[0037]优选地,搬运抓手主框架的左侧面后端,设置有伸缩滑移控制阀和伸缩滑移控制阀保护罩;
[0038]伸缩滑移控制阀,与夹紧伸缩气缸相连接,用于控制所述夹紧伸缩气缸进行横向的左右伸缩滑移。
[0039]优选地,搬运抓手主框架的底部左右两端,分别设置有第一抓手存放定位块和第二抓手存放定位块;
[0040]第一抓手存放定位块和第二抓手存放定位块,分别位于第一搬运抓手夹爪和第二搬运抓手夹爪的正后方。
[0041]由以上本专利技术提供的技术方案可见,与现有技术相比较,本专利技术提供了一种单晶硅料盒的搬运装置,其结构设计科学,能够方便、可靠地对单晶硅料盒进行搬运操作,不仅有效避免了安全隐患,保证了工人们的身体健康,并且降低了人力成本,提高了工作效率,具有重大的实践意义。
的含义是两个或两个以上。
[0060]在本专利技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0061]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术。
[0062]参见图1至图10,本专利技术提供了一种单晶硅料盒的搬运装置,包括垂直分布的机器人过渡安装板2;
[0063]机器人过渡安装板2的背面下部,与现有的六轴机器人的手腕部(即转臂)相连接;具体可以是安装在现有的、外部动力六轴机器人28的六轴法兰上;
[0064]机器人过渡安装板2的正面下部,设置有一个换枪盘机器人侧3;
[0065]换枪盘机器人侧3的前侧,与换枪盘工具侧4的后侧相连接;
[0066]换枪盘工具侧4的前侧,固定连接一个搬运抓手主框架5的后侧;
[0067]搬运抓手主框架5的前侧,设置有横向分布的夹紧伸缩气缸支座12;
[0068]夹紧伸缩气缸支座12的前侧,设置有横向分布的夹紧伸缩气缸11;
[0069]夹紧伸缩气缸11的右侧输出端,与横向分布的伸缩滑动安装板17的左端相连接;
[0070]搬运抓手主框架5的前侧左端,垂直设置有纵向分布的第一搬运抓手夹爪6;
[0071]搬运抓手主框架5的前侧右端,设置有两个横向分布的伸缩本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅料盒的搬运装置,其特征在于,包括垂直分布的机器人过渡安装板(2);机器人过渡安装板(2)的背面下部,与现有的六轴机器人(28)的手腕部相连接;机器人过渡安装板(2)的正面下部,设置有一个换枪盘机器人侧(3);换枪盘机器人侧(3)的前侧,与换枪盘工具侧(4)的后侧相连接;换枪盘工具侧(4)的前侧,固定连接一个搬运抓手主框架(5)的后侧;搬运抓手主框架(5)的前侧,设置有横向分布的夹紧伸缩气缸支座(12);夹紧伸缩气缸支座(12)的前侧,设置有横向分布的夹紧伸缩气缸(11);夹紧伸缩气缸(11)的右侧输出端,与横向分布的伸缩滑动安装板(17)的左端相连接;搬运抓手主框架(5)的前侧左端,垂直设置有纵向分布的第一搬运抓手夹爪(6);搬运抓手主框架(5)的前侧右端,设置有两个横向分布的伸缩滑动直线导轨副(18);伸缩滑动直线导轨副(18)前侧具有的滑座,与伸缩滑动安装板(17)的后侧相连接;伸缩滑动安装板(17)的前侧,垂直设置有纵向分布的第二搬运抓手夹爪(8);第一搬运抓手夹爪(6)和第二搬运抓手夹爪(8)为左右相对设置;第一搬运抓手夹爪(6)和第二搬运抓手夹爪(8)用于夹持需要搬运的一个单晶硅料盒;单晶硅料盒,包括顶部开口的单晶硅料盒体(27);单晶硅料盒体(27)的内腔,用于放置硅料;单晶硅料盒体(27)的顶部,覆盖地设置有单晶硅料盒盖(26)。2.如权利要求1所述的单晶硅料盒的搬运装置,其特征在于,机器人过渡安装板(2)的正面上部,设置有一个相机识别装置(1);相机识别装置(1),用于确定单晶硅料盒所在的位置,然后发送位置信息至六轴机器人;六轴机器人(28),与相机识别装置(1)相数据通信,用于在收到所述单晶硅料盒所在的位置信息后,将搬运抓手主框架(5)移动到需要搬运的一个单晶硅料盒的正后方,并使得第一搬运抓手夹爪(6)和第二搬运抓手夹爪(8)位于单晶硅料盒的左右两边。3.如权利要求1所述的单晶硅料盒的搬运装置,其特征在于,夹紧伸缩气缸(11)右侧输出端设置有伸缩气缸连接头(16),通过伸缩气缸连接头(16)与伸缩滑动安装板(17)的左端相连接。4.如权利要求3所述的单晶硅料盒的搬运装置,其特征在于,伸缩滑动安装板(17)左端设置有伸缩气缸连接头容...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨春旺靳鹏巍王盟王彬徐福李尚松
申请(专利权)人:天津新玛特科技发展有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1