真空检漏系统、气体控制单元和气体检漏方法技术方案

本发明专利技术涉及一种真空检漏系统(10)，包括：具有测试室进气口(20)和测试室出气口(22)的测试室单元(12)；具有气体检测进气口(32)和气体检测出气口(34)的气体检测单元(14)；和气体控制单元(16)，其将测试室进气口(20)和测试室出气口(22)连接到气体检测进气口(32)和气体检测出气口(34)，其与测试室单元(12)和气体检测单元(14)连接，并且具有独立的气体传导通路(48、52、54、56、60)以用于选择性地连接测试室单元(12)和气体检测单元(14)的进气口(20、40)和出气口(22、34)，其中气体控制单元(16)具有与大气相通的第三进气口(44)，并且第三进气口(44)可以通过贯穿气体控制单元(16)的气体传导通路(48)与测试室进气口(20)连接，以便将由第三进气口(44)吸入的运载气体供应到测试室单元(12)。单元(12)。单元(12)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空检漏系统、气体控制单元和气体检漏方法
[0001]本专利技术涉及真空检漏系统、气体控制单元和气体检漏方法。
[0002]经典的氦气真空泄漏检测装置，例如英福康公司(INFICON)的包括一个真空控制单元和一个质谱仪形式的集成氦气测量装置。该装置包括一个真空泵，用于通过单独的真空管路连接到测试室或测试对象。其中，真空控制单元、氦气质谱仪和真空泵在一个共用外壳内形成一个单元。
[0003]在另一种氦气真空检漏装置、英福康公司的中，扇形场质谱仪和带有凸缘连接的阀块的涡轮分子泵形成集成在测试系统中的氦气检测器单元。该测试系统包括测试室、泵架和真空检漏仪。氦气检测器单元通过相应的连接线以导气的方式连接到真空测试室和泵架。
[0004]本专利技术的一个目的是提供一种测试气体的真空检漏系统，其能够灵活且可控地将测试气体从测试室供应到气体检测器。
[0005]根据本专利技术的真空检漏系统由独立权利要求1中的技术特征所限定。根据本专利技术的气体检测单元由独立权利要求2中的气体控制单元所限定。
[0006]根据上述内容，该真空检漏系统包括三个部件，即具有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种真空检漏系统(10)，包括：测试室单元(12)，其具有测试室进气口(20)和测试室出气口(22)；气体检测单元(14)，其具有气体检测进气口(32)和气体检测出气口(34)；和气体控制单元(16)，其将所述测试室进气口(20)和所述测试室出气口(22)连接到所述气体检测进气口(32)和所述气体检测出气口(34)，所述气体控制单元(16)与所述测试室单元(12)和所述气体检测单元(14)连接，并且所述气体控制单元(16)具有独立的气体传导通路(48、52、54、56、60)，用于选择性地连接所述测试室单元(12)和所述气体检测单元(14)的所述进气口(20、40)和所述出气口(22、34)，其中所述气体控制单元(16)具有第三进气口(44)，所述第三进气口(44)与大气相通，并且可以通过贯穿所述气体控制单元(16)的所述气体传导通路(48)与所述测试室进气口(20)连接，以便将运载气体供应到所述测试室单元(12)，所述运载气体经由所述第三进气口(44)被吸入。2.一种用于真空检漏系统的气体控制单元(16)，其包括测试室单元(12)，所述测试室单元(12)具有测试室进气口(20)和测试室出气口(22)；和气体检测单元(14)，所述气体检测单元(14)具有气体检测进气口(32)和气体检测出气口(34)，其中所述气体控制单元(16)被构造成将所述测试室进气口(20)和所述测试室出气口(22)连接到所述气体检测进气口(32)和所述气体检测出气口(34)，出于此目的所述气体控制单元(16)可连接至所述测试室单元(12)和所述气体检测单元(14)，并且所述气体控制单元(16)具有单独的气体传导通路(48、52、54、56、60)，用于选择性地连接所述测试室单元(12)和所述气体检测单元(14)的所述进气口(20、40)和所述出气口(22、34)，并且其中所述气体控制单元(16)具有第三进气口(44)，所述第三进气口(44)与大气相通，并且可以通过贯穿所述气体控制单元(16)的所述气体传导通路(48)与所述测试室进气口(20)连接，以便将运载气体供应到所述测试室单元(12)，所述运载气体经由所述第三进气口(44)被吸入。3.根据权利要求1所述的真空检漏系统(10)或根据权利要求2所述的气体控制单元(16)，其特征在于，所述气体控制单元包含用于排空所述测试室单元(12)的真空泵(58)，所述泵可连接至所述测试室出气口(22)。4.根据前述权利要求中任一项所述的真空检漏系统(10)或所述气体控制单元(16)，其特征在于，所述真空检漏系统(10)由所述测试室单元(12)、所述气体检测单元(14)和所述气体控制单元(16)作为适于可拆卸地彼此连接的单独的模块模块化构成。5.根据前述权利要求中任一项所述的真空检漏系统(10)或所述气体控制单元(16)，其特征在于，所述气体控制单元(16)包括可连接至所述测试室出气口(22)的第一进气口(36)、可连接至所述测试室进气口(20)的第一出气口(38)、可连接至所述气体检测进气口(32)的第二出气口(40)，以及可连接至所述气体检测出气口(34)的第二进气口(42)，所述第一进气口(36)经由延伸穿过所述气体控制单元(16)的所述气体传导通路(54)连接至所述第二出气口(40)。6.根据前述权利要求中任一项所述的真空检漏系统(10)或所述气体控制单元(16)，其特征在于，所述第一出气口(38)和所述第二进气口(42)不经由延伸穿过所述气体控制模块(16)的气体传导通路相连。
7.根据前述权利要求中任一项所述的真空检漏系统(10)或所述气体控制单元(16)，其特征在于，所述气体控制模块(16)具...

【专利技术属性】
技术研发人员：丹尼尔，
申请(专利权)人：英福康有限责任公司，
类型：发明
国别省市：