下载真空检漏系统、气体控制单元和气体检漏方法的技术资料

文档序号:36900904

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种真空检漏系统(10),包括:具有测试室进气口(20)和测试室出气口(22)的测试室单元(12);具有气体检测进气口(32)和气体检测出气口(34)的气体检测单元(14);和气体控制单元(16),其将测试室进气口(20)和测试室...
该专利属于英福康有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过英福康有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。