一种半导体设备真空检测仪器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体设备真空检测仪器，涉及半导体设备真空检测技术领域，具体为包括工作台，工作台的上表面设置有氦质谱检漏仪，固定块的上表面通过第一环形架设置有旋转接头，旋转接头的另一端设置有密封垫，固定块的上表面通过铰接块设置有转轴，工作台的上表面开设有滑槽，工作台的上表面位于滑槽的内侧壁滑动连接有滑动夹持块，滑动夹持块的上表面通过第二环形架设置有夹持块，工作台的上表面的后侧设置有支撑架，滑动块的下表面设置有喷头，滑动块的一侧面设置有与喷头贯通的氦气连接管，滑动块的下表面设置有激光测距仪，该装置具有便于与待检测半导体设备进行连接和便于自动检测的有益效果。和便于自动检测的有益效果。和便于自动检测的有益效果。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体设备真空检测仪器


[0001]本技术涉及半导体设备真空检测
，具体为一种半导体设备真空检测仪器。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种，许多半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备，在高真空环境下,洁净度高、水蒸气很少，一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,在低漏率真空条件下,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保证工艺人员的安全，但是随着生产设备数量的增加,以及新工艺对设备要求的提高,真空故障随之增加，因此需要设计一种半导体设备真空检测仪器。
[0003]在中国技术专利申请公开说明书CN205352621U中公开的一种半导体设备真空检测仪器，虽然，避免了外界的干扰，可以多次对设备进行检查，保证不会出现漏查的情况，克服了半导体设备真空疑难问题的及时检查难题，能很好的检查出半导体设备的泄露情况，保障了设备的正常使用与使用人员的安全，但是使用时检测设备与该装置不方便进行连接，从而使用时需要花费较长的时间将待检测半导体设备与装置进行连接，该装置的检测效果较差，无法自动进行检测，耗费人力和时间，检测效率较低，该一种半导体设备真空检测仪器，存在不便于与待检测半导体设备进行连接和不便于自动检测的缺点。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种半导体设备真空检测仪器，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种半导体设备真空检测仪器，包括工作台，所述工作台的上表面设置有氦质谱检漏仪，所述氦质谱检漏仪的一侧面设置有抽气管，所述工作台的上表面设置有固定块，所述固定块的上表面通过第一环形架设置有旋转接头，所述旋转接头的一端设置有齿环，所述旋转接头的另一端设置有密封垫，所述固定块的上表面通过铰接块设置有转轴，所述转轴的一端设置有齿轮，所述转轴的另一端设置有蜗轮，所述固定块的内侧壁设置有第一伺服电机，所述工作台的上表面开设有滑槽，所述工作台的上表面位于滑槽的内侧壁滑动连接有滑动夹持块，所述滑动夹持
块的上表面通过第二环形架设置有夹持块，所述工作台的上表面的后侧设置有支撑架，所述支撑架的一端设置有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出轴的一端设置有丝杆，所述丝杆的外表面传动连接有滑动块，所述滑动块的下表面设置有喷头，所述滑动块的一侧面设置有与喷头贯通的氦气连接管，所述滑动块的下表面设置有激光测距仪。
[0008]可选的，所述氦质谱检漏仪的外表面设置有显示屏，所述氦质谱检漏仪的前面设置有控制按钮。
[0009]可选的，所述抽气管的一端设置有旋转连接头，所述旋转接头的内部设置有密封垫。
[0010]可选的，所述齿轮的外表面与齿环的外表面啮合，所述第一伺服电机的输出轴的一端设置有蜗杆，所述蜗轮的外表面与蜗杆的外表面啮合。
[0011]可选的，所述固定块的一侧面设置有气缸，所述气缸的伸缩杆的一端与滑动夹持块的一侧面固定连接。
[0012]可选的，所述支撑架的一侧设置有导向杆，所述滑动块的内侧壁与导向杆的外表面滑动连接。
[0013]可选的，所述氦气连接管的一端设置有流量控制阀，所述氦气连接管的一端通过快接头与氦气罐固定连接。
[0014](三)有益效果
[0015]本技术提供了一种半导体设备真空检测仪器，具备以下有益效果：
[0016]1、该一种半导体设备真空检测仪器，通过固定块、气缸和滑动夹持块的设置，使该半导体设备真空检测仪器具备了便于安装待检测半导体设备的效果，通过滑槽和滑动夹持块的配合设置，在使用的过程中当气缸的伸缩杆缩进时，将会带动给旋转接头在滑槽的内部滑动，从而对待检测设备进行加持安装，不需要进行螺纹连接接头或者焊接等操作，较为便捷，从而达到了便于与待检测半导体设备进行连接的目的。
[0017]2、该一种半导体设备真空检测仪器，通过旋转接头、夹持块、第二伺服电机、丝杆、滑动块、喷头二号激光测距仪的设置，使该半导体设备真空检测仪器具备了便于自动检测的效果，通过齿环、密封垫、转轴、齿轮、蜗轮、第一伺服电机和蜗杆的配合设置，在使用的过程中可以通过第一伺服电机带动蜗杆转动，从而带动转轴转动，通过齿轮与齿环的传动作用，带动旋转接头旋转，进而带动夹持的待检测设备进行旋转，且旋转时配合第二伺服电机和丝杆带动滑动块的移动，从而自动向待检测的设备的外表面喷氦气，当有泄露口时，氦气进入设备的内部，通过抽气管被抽入氦质谱检漏仪中，从而检测到后，即是喷头对应位置附近泄露，通过激光测距仪的设置，配合氦气连接管一端的流量控制阀，使喷头喷出的氦气刚好达到设备外表面，且从上方喷出氦气，可有效减少喷出的氦气从其他位置进入泄露孔干扰检测的结果，达到了便于自动检测的目的。
附图说明
[0018]图1为本技术第一立体结构示意图；
[0019]图2为本技术第二立体的结构示意图；
[0020]图3为本技术前视的结构示意图；
[0021]图4为本技术图2中A处的结构示意图；
[0022]图5为本技术图2中B处的结构示意图。
[0023]图中：1、工作台；2、氦质谱检漏仪；3、显示屏；4、控制按钮；5、抽气管；6、固定块；7、第一环形架；8、旋转接头；9、齿环；10、密封垫；11、转轴；12、齿轮；13、蜗轮；14、第一伺服电机；15、蜗杆；16、滑槽；17、气缸；18、滑动夹持块；19、第二环形架；20、夹持块；21、支撑架；22、第二伺服电机；23、丝杆；24、导向杆；25、滑动块；26、喷头；27、激光测距仪；28、氦气连接管。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0025]实施例1
[0026]请参阅图1至图4，本技术提供技术方案：一种半导体设备真空检测仪器，包括工作台1，工作台1的上表面设置有氦质谱检漏仪2，氦质谱检漏仪2的外表面设置有显示屏3，氦质谱检漏仪2的前面设置有控制按钮4，氦质谱检漏仪2的一侧面设置有抽气管5，抽气管5的一端设置有旋转连接头，旋转接头8的内部设置有密封垫10，工作台1的上表面设置有固定块6，固定块6的一侧面设置有气缸17，气缸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体设备真空检测仪器，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的上表面设置有氦质谱检漏仪(2)，所述氦质谱检漏仪(2)的一侧面设置有抽气管(5)，所述工作台(1)的上表面设置有固定块(6)，所述固定块(6)的上表面通过第一环形架(7)设置有旋转接头(8)，所述旋转接头(8)的一端设置有齿环(9)，所述旋转接头(8)的另一端设置有密封垫(10)，所述固定块(6)的上表面通过铰接块设置有转轴(11)，所述转轴(11)的一端设置有齿轮(12)，所述转轴(11)的另一端设置有蜗轮(13)，所述固定块(6)的内侧壁设置有第一伺服电机(14)，所述工作台(1)的上表面开设有滑槽(16)，所述工作台(1)的上表面位于滑槽(16)的内侧壁滑动连接有滑动夹持块(18)，所述滑动夹持块(18)的上表面通过第二环形架(19)设置有夹持块(20)，所述工作台(1)的上表面的后侧设置有支撑架(21)，所述支撑架(21)的一端设置有第二伺服电机(22)，所述第二伺服电机(22)的输出轴的一端设置有丝杆(23)，所述丝杆(23)的外表面传动连接有滑动块(25)，所述滑动块(25)的下表面设置有喷头(26)，所述滑动块(25)的一侧面设置有与喷头(26)贯通的氦气连接管(28)，所述滑动块(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵怡杰，杨吉茂，
申请(专利权)人：四川予乔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：