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一种真空镀膜机制造技术

技术编号:36869219 阅读:33 留言:0更新日期:2023-03-15 19:36
本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机,包括支撑箱,所述支撑箱的顶部固定连接有真空镀膜机本体,所述真空镀膜机本体右侧的顶部连通有排风管。本实用新型专利技术通过支撑箱、真空镀膜机本体、排风管、排风机、过滤箱、输风管、制冷器、进风管、第一电机、搅拌杆、活性炭过滤网、驱动箱、第二电机、螺纹杆、螺纹管、滑轮、竖杆、支柱、弹簧、移动轮和推块的配合使用,具备散热效果好和稳定性高的优点,解决了现有加工精准度高的真空镀膜机散热较多采用自然冷却,效果较差,冷却不及时很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏,而且在通过滚轮移动位置后,稳定性较差,从而无法满足实际使用需求的问题。从而无法满足实际使用需求的问题。从而无法满足实际使用需求的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜机
,具体为一种真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,然而现有加工精准度高的真空镀膜机散热较多采用自然冷却,效果较差,冷却不及时很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏,而且在通过滚轮移动位置后,稳定性较差,从而无法满足实际使用需求。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种真空镀膜机,具备散热效果好和稳定性高的优点,解决了现有加工精准度高的真空镀膜机散热较多采用自然冷却,效果较差,导致工作效率低,冷却不及时,很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏,而且在通过滚轮移动位置后,稳定性较差,从而无法满足实际使用需求的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种真空镀膜机,本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机,包括支撑箱(1),其特征在于:所述支撑箱(1)的顶部固定连接有真空镀膜机本体(2),所述真空镀膜机本体(2)右侧的顶部连通有排风管(3),所述排风管(3)内腔的顶部与底部之间固定连接有排风机(4),所述真空镀膜机本体(2)后侧的底部固定连接有过滤箱(5),所述过滤箱(5)与真空镀膜机本体(2)之间连通有输风管(6),所述输风管(6)的后侧贯穿设置有制冷器(7),所述过滤箱(5)后侧的顶部连通有进风管(8),所述过滤箱(5)的顶部固定连接有第一电机(9),所述第一电机(9)底部的输出端贯穿至过滤箱(5)的内腔并固定连接有搅拌杆(10),所述过滤箱(5)内腔的两侧之间固定连接有活性炭过滤网(11),所述支撑箱(1)内腔的底部固定连接有驱动箱(12),所述驱动箱(12)内腔的底部固定连接有第二电机(13),所述第二电机(13)两侧的输出端均固定连接有螺纹杆(14),所述螺纹杆(14)的表面螺纹连接有螺纹管(15),所述螺纹管(15)远离螺纹杆(14)的一侧贯穿驱动箱(12)并活动连接有滑轮(16),所述支撑箱(1)内腔顶部的两侧均固定连接有竖杆(17),所述竖杆(17)...

【专利技术属性】
技术研发人员:姜颖
申请(专利权)人:姜颖
类型:新型
国别省市:

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