用于校准多个自动测试设备信道的电路和方法技术

一种用于校准多个自动测试设备信道的电路包括公共测量单元，该公共测量单元被配置为向ATE信道中的一个提供电流和/或测量来自ATE信道中的一个的电流。该公共测量单元包括公共测量端口，经由连接在公共测量单元的公共测量端口和ATE信道的相应DUT端口之间的相应二极管将该公共测量端口与多个ATE信道耦合。还公开了一种方法。开了一种方法。开了一种方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于校准多个自动测试设备信道的电路和方法


[0001]根据本专利技术的实施例涉及一种用于校准多个自动测试设备信道的电路。
[0002]另外的实施例涉及一种用于校准多个自动测试设备信道的方法。
[0003]一般而言，根据本专利技术的实施例涉及用于自动测试设备(ATE)信道的经改进的电流校准。

技术介绍

[0004]在过去的几十年里，集成电路变得越来越复杂。此外，集成电路的管脚数也显著增加。
[0005]这对测试自动测试设备中的集成电路提出了重要要求。具体而言，考虑到集成电路的复杂性，也考虑到测试成本目标(保持相当低的测试成本)，如今通常使用自动测试设备来测试晶圆级集成电路和封装后集成电路两者。此外，有时也使用自动测试设备对经组装的印刷电路板进行测试。
[0006]自动测试设备通常向被测器件(例如，集成电路或经组装的印刷电路板)提供预定义的激励信号，并且还评估被测器件对所提供的信号的响应。
[0007]如今，执行数字测试(例如，模式测试)和模拟测试(例如，测量被测器件的输入和/或输出的电压
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电流特性)两者也是常见的。例如，模拟测量可以用于验证经配置电路的输入电路和输出电路的完整性、保护性二极管的正常运行等。
[0008]因此，期望为自动测试设备配备一种能力，该能力提供电气明确定义的激励信号和/或精确表征DUT输入和/或来自DUT的信号。因此，自动测试设备信道的管脚电子器件常常包括提供明确定义的电流和/或明确定义的电压的电路。此外，自动测试设备信道的管脚电子器件常常包括用于精确测量电流和/或电压的电路。
[0009]为了获得良好的准确度，常常期望或甚至需要校准管脚电子器件。图6显示了常规校准电路的示意图。
[0010]然而，已经发现，管脚电子器件的校准常常在时间方面以及在所需设备方面和/或在所需电路方面都带来了很大的难度。鉴于这种情况，期望创建一种构思，允许在校准多个自动测试设备信道时在准确度、所需时间和所需电路工作量之间进行更好的权衡。

技术实现思路

[0011]根据本专利技术的实施例创建了一种用于校准多个自动测试设备(ATE)信道(例如，包括ATE管脚电子器件(ATE pin electronics，ATE PE))的电路。该电路包括公共测量单元(例如，标示为CMU)，该公共测量单元被配置为向ATE信道中的一个(例如，向选定的ATE信道，例如，向在一个或多个其他ATE信道被停用时激活的ATE信道)提供电流，和/或测量来自ATE信道中的一个(例如，来自选定的ATE信道，例如，来自在一个或多个其他ATE信道被停用时激活的ATE信道)的例如由其提供或强制执行的电流。此外，公共测量单元包括公共测量端口，使用(例如，经由)连接(或布置)在以下项之间的相应二极管(例如，连接到节点DUT1
至DUTn的“上部”二极管)将公共测量端口与多个ATE信道耦合：公共测量端口和公共测量单元(例如，使用竖直线直接耦合或经由继电器耦合到公共测量单元CMU来示出)、以及ATE信道的相应DUT端口(例如，自动测试设备管脚电子器件(也被标示为ATE PE)的端口，这些端口处连接了DUT1至DUTn)。
[0012]根据本专利技术的该实施例例如可以允许有效校准多个ATE信道。例如，校准可以包括从公共测量单元经由相应二极管向ATE信道中的一个提供明确定义的电流，以及由(被考虑的ATE信道的)测量单元对所提供的电流进行测量。通过将由公共测量单元经由相应二极管提供给所选信道的电流与所选ATE信道的测量单元的测量结果进行比较，可以例如确定校正因子(或者，一般而言，一个或多个校正值)以弥补ATE信道的测量单元的不准确性。应注意的是，在很多情况下，一个校正值是不够的。例如，如果是线性的(例如，如果执行线性校正)，则例如可能需要偏移和增益值。作为另一示例，如果是非线性的(例如，如果使用非线性校正)，则可以使用查找表(例如，具有多个参数或条目)或公式(例如，包括多个参数)。例如，由公共测量单元提供的电流的高精度可以通过在(例如，集中式)公共测量单元中使用高质量电流基准来实现，而单独的ATE信道的测量单元通常不太精确并且它们的特性没有被控制得很好。
[0013]替代地，ATE信道中的一个可以被配置(例如，被编程)用于提供指定电流，并且该电流可以经由相应二极管被路由到公共测量单元。公共测量单元可以精确地测量由所选ATE经由二极管提供的电流，并且可以基于由公共测量单元测量到的电流值与指示电流之间的比较来确定适当的校正因子或校准因子(或者，一般而言，一个或多个校正值)。
[0014]根据本专利技术的该实施例基于这样的想法，即公共测量单元经由相应二极管与多个ATE信道的耦合消除了在公共测量单元和ATE信道之间具备大量宽大、昂贵且有时不可靠的继电器的需要，或使用另一种成本更高的校准机制的需要。具体而言，已经发现施加适当的偏置允许确定哪个ATE信道应该与公共测量单元有效地耦合，即，哪个二极管应该在特定校准步骤期间导通。此外，还已经认识到，对于许多校准程序，例如对于电流校准，可以容忍跨当前导电二极管的可能的电压降。此外，已经发现二极管有助于保持寄生电容相当小，例如当与开关晶体管耦合到DUT端口的情况相比时。当二极管反向偏置时(例如在正常操作期间)，DUT端口的电容性负载很小。
[0015]总之，已经发现使用连接在公共测量单元的公共测量端口和ATE信道之间的二极管在提供精确校准的同时显著减少了工作量。
[0016]根据一个方面，在用于校准多个ATE信道(例如，ATE PE)的电路中，ATE信道包括用于提供和/或测量电流的功能。例如，一个或多个ATE信道可以包括驱动器和/或比较器和/或有源负载和/或参数测量单元(例如，被标示为PPMU或PMU)。
[0017]已经发现，在公共测量单元的公共测量端口和ATE信道之间具备二极管的构思特别适用于校准ATE信道的电流提供功能和/或校准ATE信道的电流测量功能，因为在这种情况下，跨二极管的电压降通常不会(或不会显著)降低校准结果。因此，例如可以使用公共测量单元的精确电流测量功能来校准ATE信道的电流提供功能，其中二极管的适当偏置可以例如确保由ATE信道提供的待校准的电流(并且只有由ATE信道提供的待校准的电流)被转发到公共测量单元，同时，与其他ATE信道相关联的二极管被阻断或被反向偏置。类似地，可以通过选择性地将由公共测量单元提供的电流转发到要被校准的单个ATE信道来校准ATE
信道的电流测量功能，依次地，可以通过耦合在公共测量单元的公共测量端口和ATE信道之间的二极管的适当偏置来实现该校准。通常，跨二极管的电压降不会显着降低校准准确度，并且与当前未校准的信道相关联的二极管的阻断效果通常足够好。
[0018]在用于校准多个ATE信道(例如，ATE PE)的电路的优选实施例中，一个或多个ATE信道包括有源负载(例如，作为ATE PE的一部分)，其中有源负载被配置为提供电流影响能力(current force capability)。替本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于校准多个ATE信道(110，120；220，230，240，250；320，330，340，350；420，430，440，450)的电路(100；200；300；400)，包括：公共测量单元(130；260；360；460)，被配置为向所述ATE信道(110；220；320；420)中的一个提供电流，和/或测量来自所述ATE信道(110；220；320；420)中的一个的电流；其中，所述公共测量单元包括公共测量端口(132；262；362；462)，使用连接在以下端口之间的相应二极管(112，122；228a，228d，238a，238d，248a，248d，258a，258d；328a，328d，338a，338d，348a，348d，358a，358d；428a，428d，438a，438d，448a，448d，458a，458d)将所述公共测量端口(132；262；362；462)与所述多个ATE信道耦合：所述公共测量单元的所述公共测量端口、以及所述ATE信道的相应DUT端口(111，121；221，231，241，251；321，331，341，352；421，431，441，451)。2.根据权利要求1所述的用于校准多个ATE信道(110，120；220，230，240，250；320，330，340，350；420，430，440，450)的电路(100；200；300；400)，其中，ATE信道包括用于提供电流和/或测量电流的功能。3.根据前述权利要求的所述用于校准多个ATE信道(110，120；220，230，240，250；320，330，340，350；420，430，440，450)的电路(100；200；300；400)，其中，所述ATE信道中的一个或多个包括有源负载，其中，所述有源负载被配置为提供电流影响能力，和/或其中，所述ATE信道中的一个或多个包括参数测量单元，其中，所述参数测量单元被配置为提供电流影响能力和/或电流测量能力。4.根据前述权利要求中任一项所述的用于校准多个ATE信道(110，120；220，230，240，250；320，330，340，350；420，430，440，450)的电路(100；200；300；400)，其中，所述电路被配置为经由适于允许电流沿着第一电流方向流动的相应二极管(112，122；228d，238d，248d，258d；328d，338d，348d，358d；428d，438d，448d，458d)或经由适于允许电流沿着第二电流方向流动的相应二极管(111，121；228a，238a，248a，258a；328a，338a，348a，358a；428a，438a，448a，458a)选择性地将所述中央测量单元(130；250；360；460)耦合到相应DUT端口(111，121；221，231，241，251；321，331，341，352；421，431，441，451)。5.根据前述权利要求中任一项所述的用于校准多个ATE信道(110，120；220，230，240，250；320，330，340，350；420，430，440，450)的电路(100；200；300；400)，其中，所述电路包括第一连接网络(270；370)，使用适于允许电流沿着第一电流方向流动的相应二极管(111，121；228a，238a，248a，258a；328a，338a，348a，358a)将所述第一连接网络(270；370)与所述ATE信道的相应DUT端口(221，231，241，251；321，331，341，351)耦合，其中，所述电路包括第二连接网络(280；380)，使用适于允许电流沿着第二电流方向流动的相应二极管(112，122；228d，238d，248d，258d；328d，338d，348d，358d)将所述第二连接网络(280；380)与所述ATE信道的相应DUT端口(221，231，241，251；321，331，341，351)耦合，其中，所述第二电流方向与所述第一电流方向相反。6.根据权利要求5所述的用于校准多个ATE信道(110，120；220，230，240，250；320，330，340，350；420，430，440，450)的电路(100；200；300；400)，其中，所述电路包括开关(290；390)，所述开关(290；390)将所述公共测量单元(130；
260；360)与所述第一连接网络(270；370)和所述第二连接网络(280；380)交替地耦合。7.根据前述权利要求中任一项所述的用于校准多个ATE信道(110，120；220，230，240，250；320，330，340，350；420，430，440，450)的电路(100；200；300；400)，其中，所述电路包括公共连接网络(475)，其中，所述电路包括相应开关(427a，427b，437a，437b，447a，447b，457a，457b)，所述开关(427a，427b，437a，437b，447a，447b，457a，457b)被配置为经由适于允许电流沿着第一电流方向流动的相应二极管(428a，438a，448a，458a)或经由适于允许电流沿着第二电流方向流动的相应二极管(428d，438d，448d，458d)将所述公共连接网络(475)选择性地耦合到相应DUT端口(421，431，441，451)。8.根据前述权利要求中任一项所述的用于校准多个ATE信道(110，120；220，230，240，250；320，330，340，350；420，430，440，450)的电路(100；200；300；400)，其中，所述电路被配置为在对ATE信道校准期间，在校准模式下操作所述ATE信道，使得连接在所述公共测量单元(130；260；360；460)的公共测量端口(132；262；362；462)与所述ATE信道的相应DUT端口(111，121；221，231，241，251；321，331，341，351；421，431，441，451)之间的所述二极管中的仅一个(112；228a；328a；428a)被正向偏置。9.根据前述权利要求中任一项所述的用于校准多个ATE信道(110，120；220，230，240，250；32...

【专利技术属性】
技术研发人员：伯恩哈德，
申请(专利权)人：爱德万测试公司，
类型：发明
国别省市：