【技术实现步骤摘要】
磁存储装置及磁存储装置的制造方法
[0001]本申请享受以日本专利申请2021
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146822号(申请日:2021年9月9日)及美国专利申请17/691652(申请日:2022年3月10日)为基础申请的优先权。本申请通过参照该基础申请而包含基础申请的全部内容。
[0002]实施方式概括而言涉及磁存储装置。
技术介绍
[0003]作为存储装置的一种,已知有磁存储装置。磁存储装置使用包含了发挥磁阻效应的元件的存储单元来存储数据。为了提高磁存储装置的特性,希望存储单元具有高的电特性。
技术实现思路
[0004]本专利技术要解决的课题在于,提供一种包含具有高的电特性的存储单元的磁存储装置。
[0005]一个实施方式涉及的磁存储装置包括第1导电体、第1绝缘体、第2导电体、可变电阻材料、第3导电体、第1铁磁性层、绝缘层、第2铁磁性层、第4导电体、第2绝缘体以及第3绝缘体。上述第1导电体实质上由非磁性的非氮材料形成。上述第1绝缘体覆盖上述第1导电体的侧面,实质上由非氮材料形成。上述第2导电体位于上述第1导电体上,实质上由非磁性的非氮材料形成。上述可变电阻材料位于上述第2导电体上。上述第3导电体位于上述可变电阻材料上,实质上由非磁性的非氮材料形成。上述第1铁磁性层位于上述第3导电体上。上述绝缘层位于上述第1铁磁性层上。上述第2铁磁性层位于上述绝缘层上。上述第4导电体位于上述第2铁磁性层上,实质上由非磁性的非氮材料形成。上述第2绝缘体覆盖上述第1铁磁性层的侧面、上述绝缘层的侧面、上述第 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磁存储装置,具备:实质上由非磁性的非氮材料形成的第1导电体;覆盖所述第1导电体的侧面且实质上由非氮材料形成的第1绝缘体;所述第1导电体上的、实质上由非磁性的非氮材料形成的第2导电体;所述第2导电体上的可变电阻材料;所述可变电阻材料上的、实质上由非磁性的非氮材料形成的第3导电体;所述第3导电体上的第1铁磁性层;所述第1铁磁性层上的绝缘层;所述绝缘层上的第2铁磁性层;所述第2铁磁性层上的、实质上由非磁性的非氮材料形成的第4导电体;覆盖所述第1铁磁性层的侧面、所述绝缘层的侧面以及所述第2铁磁性层的侧面且实质上由非氮材料形成的第2绝缘体;以及所述第2绝缘体的表面上的第3绝缘体。2.根据权利要求1所述的磁存储装置,所述第1导电体、所述第2导电体、所述第3导电体以及所述第4导电体实质上由具有1800度以上的熔点的材料形成。3.根据权利要求1所述的磁存储装置,所述第1导电体、所述第2导电体、所述第3导电体以及所述第4导电体实质上由铪、钽、钨、锆、铌、钼、钛、钒、铬、硅、硼、碳中的一种以上形成。4.根据权利要求1所述的磁存储装置,所述第2绝缘体实质上由具有
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1.5以下的标准电极电位的氧化物形成。5.根据权利要求1所述的磁存储装置,所述第2绝缘体实质上由第1种元素的氧化物的一种以上或者包含所述第1种元素的两种以上的物质的氧化物形成,所述第1种元素是铍、镁、铝、硅、钙、钪、钒、锌、镓、锗、锶、钇、锆、钡、铪、镧、铯、镨、钕、钷、钐、铕、钆、铽、镝、钬、铒、铥、镱、镥。6.根据权利要求1所述的磁存储装置,所述第1绝缘体实质上由硅氧化物形成。7.根据权利要求1所述的磁存储装置,所述第1绝缘体在所述第2导电体所处的第1侧的第1面,向与所述第1侧相反的第2侧弯曲,所述第1导电体在所述第2导电体所处的第3侧的角,朝向与所述第3侧相反的第4侧弯曲。8.根据权利要求7所述的磁存储装置,所述第2绝缘体覆盖所述第3导电体的侧面、所述可变电阻材料的侧面、所述第2导电体的侧面、所述第1导电体的所述角以及所述第1绝缘体的所述第1面。9.根据权利要求1~8中任一项所述的磁存储装置,所述第3绝缘体包含硅氮化物。10.一种磁存储装置,具备:
实质上由非氮材料形成的第1导电体;覆盖所述第1导电体的侧面且实质上由非氮材料形成的第1绝缘体;所述第1导电体上的第1铁磁性层;所述第1铁磁性层上的绝缘层;所述绝缘层上的第2铁磁性层;所述第2铁磁性层上的、实质上由非磁性的非氮材料形成的第2导电体;覆盖所述第1铁磁性层的侧面、所述绝缘层的侧面以及所...
【专利技术属性】
技术研发人员:泽田和也,永濑俊彦,吉野健一,富冈和广,秋山直纪,岛野拓也,相川尚德,五十岚太一,
申请(专利权)人:铠侠股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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