一种均匀涂覆低温涂层的设备及方法技术

本发明专利技术涉及一种均匀涂覆低温涂层的设备及方法，包括馈穿件，馈穿件上设置有转架，转架上设置有若干个基片，转架上的中间位置设置有冷热鼓，若干个基片分布在冷热鼓的外侧位置，冷热鼓的内部设置有液体通道，液体通道包括第一循环管路和第二循环管路。本发明专利技术通过冷热鼓、换热板和制冷机的结构设计，可以将热传导到涂层机外，并实现涂层机热量的循环利用；本发明专利技术通过基片加热步骤主要用于涂层前基片加热脱气；本发明专利技术通过基片冷却步骤将涂层过程中的热量通过热辐射或热传导的形式带到涂层机外，基片能保持在一个工艺设定的温度。对回火温度低的基片和涂层温度低的工艺，是一个合适的导热方法。的导热方法。的导热方法。

【技术实现步骤摘要】
一种均匀涂覆低温涂层的设备及方法


[0001]本专利技术涉及涂层相关
，尤其涉及一种均匀涂覆低温涂层的设备及方法。

技术介绍

[0002]涂层机内的热量主要来源于加热器热辐射、等离子体的轰击、炉内衬板、基片、夹具等的热辐射，涂层机中多余的热量需要进行及时的处理，进而通过合理的结构设计将热传导到涂层机外，并实现涂层机热量的循环利用显得尤为重要。
[0003]有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种均匀涂覆低温涂层的设备及方法，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本专利技术的目的是提供一种均匀涂覆低温涂层的设备及方法。
[0005]为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
[0006]本专利技术目的之一：
[0007]一种均匀涂覆低温涂层的设备，包括馈穿件，馈穿件上设置有转架，转架上设置有若干个基片，转架上的中间位置设置有冷热鼓，若干个基片分布在冷热鼓的外侧位置，冷热鼓的内部或贴附设置有导热剂通道，导热剂通道包括第一循环管路和第二循环管本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种均匀涂覆低温涂层的设备，包括馈穿件(15)，所述馈穿件(15)上设置有转架(14)，所述转架(14)上设置有若干个基片(13)，其特征在于，所述转架(14)上的中间位置设置有冷热鼓(1)，若干个所述基片(13)分布在冷热鼓(1)的外侧位置，所述冷热鼓(1)的内部或贴附设置有导热剂通道，所述导热剂通道包括第一循环管路(5)和第二循环管路(12)，所述第一循环管路(5)与第一三通阀(6)的第一端相连接，所述第一三通阀(6)的第二端与加热器(2)相连接，所述第一三通阀(6)的第三端与换热板(7)相连接，所述换热板(7)与制冷机(8)相连接，所述第二循环管路(12)与第二三通阀(11)的第一端相连接，所述第二三通阀(11)的第二端与第一缓冲罐(4)相连接，所述第二三通阀(11)的第三端与第二缓冲罐(10)相连接，所述加热器(2)和第一缓冲罐(4)之间连接设置有第一泵(3)，所述换热板(7)和第二缓冲罐(10)之间连接设置有第二泵(9)。2.如权利要求1所述的一种均匀涂覆低温涂层的设备，其特征在于，所述转架(14)为圆盘状结构或多边形结构或矩形结构，所述冷热鼓(1)为圆柱状结构，若干个所述基片(13)均为圆柱状结构或多边形结构或矩形板状结构，若干个所述基片(13)沿着圆周方向均匀的设置在转架(14)上，且若干个所述基片(13)与冷热鼓(1)之间设置有间隙。3.如权利要求1所述的一种均匀涂覆低温涂层的设备，其特征在于，所述转架(14)为圆盘状结构或多边形结构或矩形结构，所述冷热鼓(1)为圆柱状结构，若干个所述基片(13)沿着圆周方向均匀的设置在冷热鼓(1)上。4.如权利要求1所述的一种均匀涂覆低温涂层的设备，其特征在于，所述转架(14)为圆盘状结构或多边形结构或矩形结构，所述冷热鼓(1)为多边形结构，若干个所述基片(13)沿着冷热鼓(1)的若干个边均匀的设置在冷热鼓(1)上。5.如权利要求1所述的一种均匀涂覆低温涂层的设备，其特征在于，所述转架(14)为圆盘状...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈锋光，
申请(专利权)人：新倍司特系统科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：