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本发明涉及一种均匀涂覆低温涂层的设备及方法，包括馈穿件，馈穿件上设置有转架，转架上设置有若干个基片，转架上的中间位置设置有冷热鼓，若干个基片分布在冷热鼓的外侧位置，冷热鼓的内部设置有液体通道，液体通道包括第一循环管路和第二循环管路。本发明通...
该专利属于新倍司特系统科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新倍司特系统科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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