一种大型平面靶材加工移动装置制造方法及图纸

技术编号:36863523 阅读:59 留言:0更新日期:2023-03-15 18:45
本实用新型专利技术涉及靶材移动装置技术领域,尤其为一种大型平面靶材加工移动装置,包括车板,所述车板的下端安装有万向轮,所述车板的上端靠右右侧安装有推杆,所述推杆的下侧安装有蓄电池,所述车板的上端中线处安装有定位组件,通过在该大型平面靶材加工移动装置中设置定位组件,定位组件中的第一齿轮和第二齿轮同时旋转驱动六组限位条及定位座同时向齿环的中心移动或远离,从而有利于将圆形平面靶材固定在车板上,防止颠簸导致圆形平面靶材与车板相互撞击而导致圆形平面靶材出现裂纹或破损,并且六组定位座在车板上的位置可视圆形平面靶材的型号而定,从而有利于将不同型号的圆形平面靶材固定在车板上。平面靶材固定在车板上。平面靶材固定在车板上。

【技术实现步骤摘要】
一种大型平面靶材加工移动装置


[0001]本技术涉及靶材移动装置
,具体为一种大型平面靶材加工移动装置。

技术介绍

[0002]平面靶材主要是指具有一定厚度的圆形靶材及矩形靶材;靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源;简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,肝能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。
[0003]目前现有的平面靶材移动推车在移动圆形平面靶材的过程中,由于移动推车上缺少定位结构,将平面靶材通过推车移动的过程中,会出现颠簸,靶材会与推车车板碰撞,可能会导致靶材出现裂纹或者损伤。
[0004]因此需要一种大型平面靶材加工移动装置对上述问题作出改善。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种大型平面靶材加工移动装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0007]一种大型平面靶材加工移动装置,包括车板,所述车板的下端安装有万向轮,所述车板的上端靠右右侧安装有推杆,所述推杆的下侧安装有蓄电池,所述车板的上端中线处安装有定位组件;
[0008]所述定位组件包括安装座,所述安装座的内壁上嵌有齿环,所述安装座的下端连接有安装板,所述齿环的内侧分别安装有第一齿轮和第二齿轮,所述安装座的山东冠安装有定位座,所述定位座的下端中线处连接有限位条,所述限位条与安装座的连接处开设有限位槽,所述第一齿轮、第二齿轮与限位条的连接处开设有齿槽,所述第二齿轮的下侧安装有步进电机,所述定位座的内侧壁上连接有橡胶垫,所述限位条与车板的连接处开设有限位活动槽。
[0009]作为本技术优选的方案,所述蓄电池的上端安装有控制器,所述万向轮的数量四组,且呈阵列排布。
[0010]作为本技术优选的方案,所述齿环与安装座之间的连接方式为转动连接,所述第一齿轮、第二齿轮与安装板的连接方式均为转动连接。
[0011]作为本技术优选的方案,所述第一齿轮、第二齿轮与齿环的连接方式为啮合连接,所述定位座与车板之间的连接方式为滑动连接。
[0012]作为本技术优选的方案,所述限位条通过限位槽与安装座滑动连接,所述限位条通过限位活动槽与车板滑动连接。
[0013]作为本技术优选的方案,所述第一齿轮、第二齿轮通过齿槽与限位条啮合连接,所述定位座的数量为六组,且陈环形阵列排布。
[0014]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0015]1、本技术中,通过在该大型平面靶材加工移动装置中设置定位组件,定位组件中的第一齿轮和第二齿轮同时旋转驱动六组限位条及定位座同时向齿环的中心移动或远离,从而有利于将圆形平面靶材固定在车板上,防止颠簸导致圆形平面靶材与车板相互撞击而导致圆形平面靶材出现裂纹或破损,并且六组定位座在车板上的位置可视圆形平面靶材的型号而定,从而有利于将不同型号的圆形平面靶材固定在车板上。
附图说明
[0016]图1为本技术整体示意图;
[0017]图2为本技术车板侧剖示意图;
[0018]图3为本技术定位组件拆分立体示意图。
[0019]图中:1、车板;2、万向轮;3、推杆;4、蓄电池;5、定位组件;501、安装座;502、齿环;503、安装板;504、第一齿轮;505、第二齿轮;506、定位座;507、限位条;508、限位槽;509、齿槽;510、步进电机;511、橡胶垫;6、限位活动槽。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例,对本技术实施例中的技术方案上行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]为了便于理解本技术,下面将参照相关附图对本技术上行更全面的描述,给出了本技术的若干实施例,但是,本技术可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例,相反地,提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容更加透彻全面。
[0022]需要说明的是,当元件被称为“固设于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件,当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件,本文所使用的术语“竖直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0023]除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同,本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本技术,本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的的和所有的组合。
[0024]实施例,请参阅图1

3,本技术提供一种技术方案:
[0025]一种大型平面靶材加工移动装置,包括车板1,车板1的下端安装有万向轮2,车板1的上端靠右右侧安装有推杆3,推杆3的下侧安装有蓄电池4,车板1的上端中线处安装有定位组件5;蓄电池4的上端安装有控制器,万向轮2的数量四组,且呈阵列排布。
[0026]在该实施例中,参考图1和图3,定位组件5包括安装座501,安装座501的内壁上嵌
有齿环502,安装座501的下端连接有安装板503,齿环502的内侧分别安装有第一齿轮504和第二齿轮505,安装座501的山东冠安装有定位座506,定位座506的下端中线处连接有限位条507,限位条507与安装座501的连接处开设有限位槽508,第一齿轮504、第二齿轮505与限位条507的连接处开设有齿槽509,第二齿轮505的下侧安装有步进电机510,定位座506的内侧壁上连接有橡胶垫511,限位条507与车板1的连接处开设有限位活动槽6;齿环502与安装座501之间的连接方式为转动连接,第一齿轮504、第二齿轮505与安装板503的连接方式均为转动连接;第一齿轮504、第二齿轮505与安装板503的连接处均安装有连接轴;第一齿轮504、第二齿轮505与齿环502的连接方式为啮合连接,定位座506与车板1之间的连接方式为滑动连接;限位条507通过限位槽508与安装座501滑动连接,限位条507通过限位活动槽6与车板1滑动连接;第一齿轮504、第二齿轮505通过齿槽509与限位条507啮合连接,定位座506的数量为六组,且陈环形阵列排布;步进电机510驱动第二齿轮505顺时针旋转,第二齿轮505通过齿环502驱动第一齿轮504顺时针旋转,第一齿轮504和第二齿轮505顺时针旋转驱动六组限位条507及定位座506同时向齿环502的中心移动,直至橡胶垫511与圆形平面靶材的侧边贴合,从而有利于将圆形本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大型平面靶材加工移动装置,包括车板(1),其特征在于:所述车板(1)的下端安装有万向轮(2),所述车板(1)的上端靠右右侧安装有推杆(3),所述推杆(3)的下侧安装有蓄电池(4),所述车板(1)的上端中线处安装有定位组件(5);所述定位组件(5)包括安装座(501),所述安装座(501)的内壁上嵌有齿环(502),所述安装座(501)的下端连接有安装板(503),所述齿环(502)的内侧分别安装有第一齿轮(504)和第二齿轮(505),所述安装座(501)的山东冠安装有定位座(506),所述定位座(506)的下端中线处连接有限位条(507),所述限位条(507)与安装座(501)的连接处开设有限位槽(508),所述第一齿轮(504)、第二齿轮(505)与限位条(507)的连接处开设有齿槽(509),所述第二齿轮(505)的下侧安装有步进电机(510),所述定位座(506)的内侧壁上连接有橡胶垫(511),所述限位条(507)与车板(1)的连接处开设有限位活动槽(6)。2.根据权利要求1所述的一种大型平面靶材加工...

【专利技术属性】
技术研发人员:居炎鹏李心然王永超赵泽良
申请(专利权)人:河南东微电子材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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