本实用新型专利技术提供了一种平行度检测装置，包括：载体、测距模块和输出模块；所述载体用于放置在加热器上；至少三个测距模块分散设置于所述载体，所述测距模块与所述载体之间可活动连接；所述测距模块包括相互连接的激光单元和接收单元；所述激光单元发出激光的方向垂直于所述载体，使所述激光照射喷淋头；所述接收单元用于接收所述喷淋头反射的所述激光；所述输出模块与所述测距模块之间无线通讯连接，改善了机械式测量需频繁校准的缺点；同时，使用激光检测提高了检测的精准性；此外，通过将所述测距模块与所述输出模块之间无线通讯连接，避免了通讯线缆缠绕薄膜沉积设备中零部件的风险。了通讯线缆缠绕薄膜沉积设备中零部件的风险。了通讯线缆缠绕薄膜沉积设备中零部件的风险。
【技术实现步骤摘要】
平行度检测装置
[0001]本技术涉及半导体
，尤其涉及一种用于加热器和喷淋头的平行度检测装置。
技术介绍
[0002]为了提升半导体沉积工艺的工艺质量，需要保持薄膜沉积设备的喷淋头与加热器之间的平行度，因此薄膜沉积设备在维护过后，需要对喷淋头与加热器之间的平行度进行校准。
[0003]现有技术中常用的测量设备为机械式，经常需要进行机械校准，使用不便。而且随着测量设备使用时间增加，设备上的弹簧和螺丝可能松动，导致机械零件形变造成测量精准性下降。
[0004]因此，有必要开发一种新型用于加热器和喷淋头的平行度检测装置，以改善现有技术中存在的上述部分问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种用于加热器和喷淋头的平行度检测装置，能够提升加热器和喷淋头之间平行度检测的精准性和便利性。
[0006]为实现上述目的，本技术提供的平行度检测装置，包括：载体、测距模块和输出模块；所述载体用于放置在加热器上；至少三个测距模块分散设置于所述载体；所述测距模块包括相互连接的激光单元和接收单元；所述激光单元发出激光的方向垂直于所述载体，使所述激光照射喷淋头；所述接收单元用于接收所述喷淋头反射的所述激光；所述输出模块与所述测距模块之间无线通讯连接，所述输出模块根据所述激光单元发出所述激光和所述接收单元接收反射的所述激光之间的时长计算获得所述测距模块与所述喷淋头之间的距离后输出所述距离；其中，所述载体的的表面设置有凹槽，所述测距模块设置于所述凹槽内，所述测距模块与所述载体之间可活动连接，使所述测距模块在所述凹槽的内部移动。
[0007]本技术提供的平行度检测装置的有益效果在于：将至少三个所述测距模块分散设置于所述载体，使用过程中将所述载体放置于加热器上，使用所述接收单元接收所述激光单元发出并被喷淋头反射的激光，通过判断发出激光与接收激光之间的时长确定所述载体上至少三个分散的点与所述喷淋头之间的距离，进而获知所述加热器与所述喷淋头之间的平行度，改善了机械式测量需频繁校准的缺点；同时，使用激光检测提高了检测的精准性；此外，通过将所述测距模块与所述输出模块之间无线通讯连接，避免了通讯线缆缠绕薄膜沉积设备中零部件的风险；所述喷淋头具有喷淋板，所述喷淋板上具有若干喷淋孔用于反应气体通过，故所述喷淋板表面并非完整表面，所述激光从喷淋板的喷淋孔穿过，会造成相对应的所述测距模块获得的距离与其他所述测距模块不一致，通过将所述测距模块与所述载体之间可活动连接，移动所述测距模块可调整所述激光的照射位置使照射点位于喷淋板上，即可实现平行度检测。
[0008]可选的，所述测距模块围绕所述载体的中心周向设置于所述载体。
[0009]可选的，相邻所述测距模块之间的距离大于等于50小于等于200mm。其有益效果在于：通过设置所述测距模块的最小间距，有利于提升平行度检测的精准性。
[0010]可选的，所述测距模块的数量为大于等于4且小于等于6。
[0011]可选的，所述测距模块的数量为5，所述测距模块以正五边形的方式设置于所述载体。
[0012]可选的，所述凹槽为环形。
[0013]可选的，所述输出模块与所述测距模块之间通过蓝牙连接。
[0014]可选的，所述激光单元为包括红外激光器，用于发出红外激光。
附图说明
[0015]图1为本技术第一种实施例中平行度检测装置的结构示意图；
[0016]图2为本技术第二种实施例中平行度检测装置的结构示意图；
[0017]图3为本技术第三种实施例中平行度检测装置的结构示意图。
[0018]附图标记：
[0019]1、载体；2、测距模块；3、凹槽。
具体实施方式
[0020]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
[0021]图1为本技术第一种实施例中平行度检测装置的结构示意图。
[0022]为解决现有技术存在的问题，本技术实施例提供了一种平行度检测装置，参照图1，所述平行度检测装置包括：载体1、测距模块2和输出模块(图中未示出)；所述载体1用于放置在加热器上；至少三个所述测距模块2分散设置于所述载体1；所述测距模块2包括相互连接的激光单元和接收单元；所述激光单元发出激光的方向垂直于所述载体1，使所述激光照射喷淋头；所述接收单元用于接收所述喷淋头反射的所述激光；所述输出模块与所述测距模块2之间无线通讯连接，所述输出模块根据所述激光单元发出所述激光和所述接收单元接收反射的所述激光之间的时长计算获得所述测距模块2与所述喷淋头之间的距离后输出所述距离。
[0023]本技术一些实施例中，所述载体为圆盘形结构，所述载体放置于所述加热盘上时，若干所述测距模块所在位置形成的平面与所述加热器的表面平行。
[0024]需要说明的是，所述输出模块根据所述激光单元发出所述激光和所述接收单元接收反射的所述激光之间的时长计算获得所述测距模块与所述喷淋头之间的距离后输出所述距离的具体方法为本领域技术人员的公知常识，故在此不再赘述。
[0025]本技术一些实施例中，至少三个所述测距模块2分散设置于所述载体1，即所述测距模块2相互之间具有一定间距。
[0026]本技术一些实施例中，所述测距模块2可以为激光测距传感器。
[0027]本技术一些实施例中，所述输出模块可以具有数据显示功能的终端设备。
[0028]本技术一些实施例中，参照图1，所述测距模块2围绕所述载体1的中心周向设置于所述载体1。
[0029]本技术一些实施例中，参照图1，所述载体1可以与加热器形状相适配，所述载体1为圆盘形结构，所述载体1的中心即为圆盘的圆心。
[0030]本技术一些实施例中，所述测距模块2的个数为3，3个所述测距模块2以所述载体1的中心周向设置形成等边三角形布局。
[0031]本技术一些实施例中，参照图1，所述测距模块2的个数为5，5个所述测距模块2以所述载体1的中心周向设置形成正五边形布局。
[0032]本技术一些实施例中，相邻所述测距模块2之间的距离大于等于50小于等于200mm。
[0033]具体的，相邻所述测距模块2之间的距离可以为50、75、100、125、150、175或200mm。
[0034]本技术一些实施例中，所述测距模块2的数量为大于等于4本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种平行度检测装置，其特征在于，包括：载体，用于放置在加热器上；至少三个测距模块，所述测距模块分散设置于所述载体；所述测距模块包括相互连接的激光单元和接收单元；所述激光单元发出激光的方向垂直于所述载体，使所述激光照射喷淋头；所述接收单元用于接收所述喷淋头反射的所述激光；输出模块，所述输出模块与所述测距模块之间无线通讯连接，所述输出模块根据所述激光单元发出所述激光和所述接收单元接收反射的所述激光之间的时长计算获得所述测距模块与所述喷淋头之间的距离后输出所述距离；其中，所述载体的表面设置有凹槽，所述测距模块设置于所述凹槽内，所述测距模块与所述载体之间可活动连接，使所述测距模块在所述凹槽的内部移动。2.根据权利要求1所述的平行度检测装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：雷德发，
申请(专利权)人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，
类型：新型
国别省市：
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