一种管路总成及抽气系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种管路总成及抽气系统，管路总成分别与MOCVD机台和泵浦总成连接，管路总成和泵浦总成共同组成MOCVD机台的抽气系统，管路总成包括主管道以及分别连接在主管道顶部的至少一支管道，主管道一端连接有泵浦总成，支管道远离主管道一端连接有MOCVD机台，以使每台MOCVD机台可通过对应的支管道与主管道连通，并通过主管道一侧设置的泵浦总成进行统一排导，解决了目前MOCVD机台在使用过程中，通常是一台机台配备多台泵浦，导致设备整体的使用成本高问题。使用成本高问题。使用成本高问题。

【技术实现步骤摘要】
一种管路总成及抽气系统


[0001]本技术涉及半导体加工
，特别涉及一种管路总成及抽气系统。

技术介绍

[0002]MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术，且MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、
Ⅵ
族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种
Ⅲ‑
V主族、
Ⅱ‑Ⅵ
副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。
[0003]目前MOCVD机台是通过管路分别与MOCVD机台传输箱泵、DOR泵、吸笔泵以及前置室传输箱泵相互连接，为一台MOCVD机台配备多台泵浦的使用模式。
[0004]目前MOCVD机台在使用过程中，通常是一台机台配备多台泵浦，且由于辅助泵浦数量较多，一定程度提高了设备整体的使用成本，同时导致后续在泵浦在使用过程中的故障率相应提高，从而提高维修成本。

技术实现思路

[0005]基于此，本技术的目的是提供一种管路总成，旨在解决现有技术中目前MOCVD机台在使用过程中，通常是一台机台配备多台泵浦，导致设备整体的使用成本高问题。
[0006]本技术提出的一种管路总成，分别与MOCVD机台和泵浦总成连接，所述管路总成和所述泵浦总成共同组成用于所述MOCVD机台的抽气系统，所述管路总成包括主管道以及分别连接在所述主管道顶部的至少一支管道，所述主管道一端连接有所述泵浦总成，所述支管道远离所述主管道一端连接有所述MOCVD机台，以使每台所述MOCVD机台可通过对应的所述支管道与所述主管道连通，并通过所述主管道一侧设置的泵浦总成进行统一排导。
[0007]上述，通过主管道上第一管道通过下接盘依次与支管道上的上接盘进行法兰连接形成管路总成，之后依次将MOCVD机台与组装后的支管道进行连接，使得多个MOCVD机台可通过与其对应的支管道与一根主管道连通，使得后续可通过主管道一侧连接的泵浦总成统一对多个MOCVD机台进行气相排导处理，该设计大幅减小每台MOCVD机台需对应多个泵装置的使用成本，且由于泵装置的减少在保证MOCVD机台气相正常排导的同时避免泵装置在使用过程中的故障率，解决了目前MOCVD机台在使用过程中，通常是一台机台配备多台泵浦，且由于辅助泵浦数量较多，一定程度提高了设备整体的使用成本，同时导致后续在泵浦在使用过程中的故障率相应提高，从而提高维修成本问题。
[0008]另外，根据本技术提出的管路总成，还可以具有如下的附加技术特征：
[0009]进一步的，所述主管道包括第一导管以及沿所述第一导管顶部向外延伸出用于连接所述支管道的至少一下接盘。
[0010]进一步的，所述支管道包括与所述下接盘连接的上接盘、沿所述上接盘远离所述下接盘一端向外延伸出的控制阀、固定在所述控制阀远离所述上接盘一端的第二导管以及沿所述第二导管远离所述控制阀一端向外延伸出的第二分流部。
[0011]进一步的，所述第二分流部与所述MOCVD机台连通。
[0012]进一步的，所述泵浦总成包括与所述第一导管固定连接的第一分流部以及分别设置在所述第一分流部两侧的泵浦，所述泵浦上开设有用于连通外接导管的抽排口。
[0013]进一步的，所述主管道上靠近所述泵浦总成一侧的所述支管道上连接有第一低压泵。
[0014]进一步的，所述第一导管上靠近所述泵浦总成一侧的所述下接盘上连接有第三导管，所述第三导管远离所述第一导管一端连接有第二低压泵。
[0015]此外，本技术还提供一种抽气系统，包括管路总成，所述管路总成采用上述的管路总成。
附图说明
[0016]图1为本技术实施例中提出的一种抽气系统的结构示意图；
[0017]图2为本技术实施例中提出的一种管路总成及泵浦总成的结构示意图；
[0018]图3为本技术实施例中提出的一种管路总成中支管道的结构示意图。
[0019]主要元件符号说明：
[0020]主管道1上接盘31第一导管11控制阀32下接盘12第二导管33泵浦总成2第二分流部34第一分流部21MOCVD机台4泵浦22第一低压泵5排口23第三导管6支管道3第二低压泵7
[0021]如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本技术。
具体实施方式
[0022]为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的若干实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容更加透彻全面。
[0023]需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0024]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0025]请参阅图1至图3，所示为本技术实施例中提出的管路总成，分别与MOCVD机台
4和泵浦总成2连接，管路总成和泵浦总成2共同组成用于MOCVD机台4的抽气系统，管路总成包括主管道1以及分别连接在主管道1顶部的至少一支管道3，主管道1一端连接有泵浦总成2，支管道3远离主管道1一端连接有MOCVD机台4，以使每台MOCVD机台4可通过对应的支管道3与主管道1连通，并通过主管道1一侧设置的泵浦总成2进行统一排导。
[0026]进一步的，主管道1包括第一导管11以及沿第一导管11顶部向外延伸出用于连接支管道3的至少一下接盘12，支管道3包括与下接盘12连接的上接盘31、沿上接盘31远离下接盘12一端向外延伸出的控制阀32、固定在控制阀32远离上接盘31一端的第二导管33以及沿第二导管33远离控制阀32一端向外延伸出的第二分流部34，第二分流部34与MOCVD机台4连通，泵浦总成2包括与第一导管11固定连接的第一分流部21以及分别设置在第一分流部21两侧的泵浦22，泵浦22上开设有用于连通外接导管的抽排口23，主管道1上靠近泵浦总成2一侧的支管道3上连接有第一低压泵5，第一导管11上靠近泵浦总成2一侧的下接盘12上连接有第三导管6，第三导管6远离第一导管11一端连接有第二低压泵7。
[0027]在具体实施时，操作人员可通过支管道3上设置的上接盘31将其与下接盘12扣合，之后分别对上接盘31至下接盘12边缘处依次插入卡栓固定，其中，上接盘31与下接盘12连接处设有密封圈，以保证上接盘31与下接盘12连接处的密封性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种管路总成，分别与MOCVD机台和泵浦总成连接，所述管路总成和所述泵浦总成共同组成用于所述MOCVD机台的抽气系统，其特征在于，所述管路总成包括主管道以及分别连接在所述主管道顶部的至少一支管道，所述主管道一端连接有所述泵浦总成，所述支管道远离所述主管道一端连接有所述MOCVD机台，以使每台所述MOCVD机台可通过对应的所述支管道与所述主管道连通，并通过所述主管道一侧设置的泵浦总成进行统一排导。2.根据权利要求1所述的管路总成，其特征在于，所述主管道包括第一导管以及沿所述第一导管顶部向外延伸出用于连接所述支管道的至少一下接盘。3.根据权利要求2所述的管路总成，其特征在于，所述支管道包括与所述下接盘连接的上接盘、沿所述上接盘远离所述下接盘一端向外延伸出的控制阀、固定在所述控制阀远离所述上接盘一端的第二导管以及沿所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：张龙，宋伟，陈铭胜，文国昇，金从龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：