一种PVD载板的清洗设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种PVD载板的清洗设备，涉及光伏组件生产技术领域。包括箱体，箱体内内腔底部固定连接有内槽，内槽的一侧外设置有储液罐，储液罐与箱体内腔连接，储液罐内连接有抽水泵，箱体的顶部两侧均固定连接有伺服电机，伺服电机的转轴固定连接有丝杆，丝杆的一端贯穿箱体的顶部设置在箱体内，箱体内腔一侧固定连接有导轨等。本实用新型专利技术可以实现对载板的自动清洗，避免工人直接清洗载板而接触具有挥发性的药液，提高了工作人员的安全性，可以避免发生安全事故。避免发生安全事故。避免发生安全事故。

【技术实现步骤摘要】
一种PVD载板的清洗设备


[0001]本技术涉及光伏组件生产
，具体为一种PVD载板的清洗设备。

技术介绍

[0002]随着光伏技术水平的飞速进步和发展，晶硅太阳能电池的转换效率逐年提高，当前的光伏工业界，单晶硅太阳能电池的转换效率已经达到20％以上。同时，开发高效电池的项目受到了越来越多的重视，尤其是硅基异质结(HJT)太阳电池。因其制造流程短、制备工艺温度低，同时具备高转化效率、高开路电压、低温度系数、无光致衰减(LID)、无电致衰减(PID)、适合使用薄型硅片制作可弯曲的电池组件、发电量多等优势，HJT成为一个可以和其他能源技术相竞争的最具潜力的重要研究方向之一。在制备异质结电池工艺中，PVD(物理气相沉积)工序是非常关键的步骤之一，经过化学气相沉积硅片放置载板中，进入真空腔室进行物理气相沉积的过程中，载板作为硅片的承载托盘，主要作用是将硅片传送至溅射腔室，通过溅射系统在硅片表面镀上一层薄膜。载板使用的次数越多，镀上的膜层也就越厚。当载板上的膜层达到一定厚度时，就会影响硅片镀膜的质量，所以应当定时清洁。
[0003]传统的PVD载板的清洁方式大多为人工清洁，具体为将载板置于人工制作的槽体中浸泡清洗。然而，由于清洗载板的药液具有挥发性，如果作业人员安全防护措施较少，则容易造成不安全事故。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种PVD载板的清洗设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术的技术方案如下：
[0005]一种PVD载板的清洗设备，其包括箱体，所述箱体内腔底部固定连接有内槽，所述内槽的一侧外安装有储液罐，储液罐与箱体内腔通过抽水泵和第二连管连接，箱体的顶部两侧均固定连接有伺服电机，伺服电机的转轴固定连接有丝杆，丝杆一端贯穿箱体顶部延伸至箱体内，箱体内腔一侧固定连接有导轨，丝杆外螺纹连接有滑块，箱体内腔一侧的滑块与导轨滑动连接，导轨的两侧外均安装有喷头且喷头与箱体内壁连接，喷头固定连接有第一连管，滑块一侧内套设有插块，插块一侧固定连接有清洗架，箱体顶面外侧固定连接有盒体，盒体内固定连接有若干个电加热块，盒体的内腔一侧固定连接有电风扇，盒体两侧均固定连接有管体，箱体顶面内侧固定连接有输气管，输气管上开设有若干个通孔，输气管两端与管体固定连接，所述箱体一侧固定连接有控制面板，所述伺服电机、所述抽水泵、所述电风扇和所述电加热块均与控制面板电路连接。
[0006]可选地，所述内槽一侧固定连接有鼓泡管，鼓泡管一端贯穿箱体的侧壁延伸至箱体外。
[0007]可选地，所述箱体一侧固定连接有排液管，所述排液管一端与箱体内腔连通。
[0008]可选地，所述内槽的顶部盖合有内槽盖。
[0009]可选地，所述清洗架的表面一侧固定连接有镂空盒。
[0010]可选地，所述箱体的前侧面设置有观察窗，所述观察窗与箱体铰接。
[0011]可选地，所述清洗架为镂空结构。
[0012]可选地，所述第二连管上安装有液体流量计，液体流量计与控制面板电性连接。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]本技术通过设置伺服电机、抽水泵、电风扇、电加热块、控制面板、丝杠、导轨、清洗架、箱体和内槽等部件，提供了一种可以对载板进行自动清洗的设备，通过给设备清洗载板，工人无需直接接触具有挥发性的药液，提高了工作人员的安全性，避免了发生安全事故。另外，由人工清洗改进为自动清洗，操作简单方便，能够提高清洗效率。
附图说明
[0015]图1为本技术一种PVD载板的清洗设备的分解结构示意图；
[0016]图2为本技术一种PVD载板的清洗设备的整体结构示意图；
[0017]图3为本技术一种PVD载板的清洗设备的局部结构示意图；
[0018]图4为图1中A处的放大后的结构示意图。
[0019]图中：1、箱体；2、盒体；3、管体；4、伺服电机；5、丝杆；6、喷头；7、第一连管；8、导轨；9、滑块；10、插块；11、清洗架；12、内槽盖；13、内槽；14、镂空盒；15、第二连管；16、抽水泵；17、储液罐；18、控制面板；19、观察窗；20、鼓泡管；21、排液管；22、通孔；23、电风扇；24、电加热块；25、输气管。
具体实施方式
[0020]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0021]请参阅图1
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4，本技术提供的PVD载板的清洗设备，其包括箱体1，所述箱体1内腔底部固定连接有内槽13，所述内槽13的一侧外安装有储液罐17，储液罐17与箱体1内腔通过抽水泵16和第二连管15连接，箱体1的顶部两侧均固定连接有伺服电机4，伺服电机4的转轴固定连接有丝杆5，丝杆5一端贯穿箱体1顶部延伸至箱体1内，箱体1内腔一侧固定连接有导轨8，丝杆5外螺纹连接有滑块9，箱体1内腔一侧的滑块9与导轨8滑动连接，导轨8的两侧外均安装有喷头6且喷头6与箱体1内壁连接，喷头6固定连接有第一连管7，滑块9一侧内套设有插块10，插块10一侧固定连接有清洗架11，箱体1顶面外侧固定连接有盒体2，盒体2内固定连接有若干个电加热块24，盒体2的内腔一侧固定连接有电风扇23，盒体2两侧均固定连接有管体3，箱体1顶面内侧固定连接有输气管25，输气管25上开设有若干个通孔22，输气管25两端与管体3固定连接，箱体1一侧固定连接有控制面板18，伺服电机4、抽水泵16、电风扇23和电加热块24均通过导线与控制面板18电性连接。通过控制面板18控制伺服电机4、抽水泵16、电风扇23电加热块24的开关。
[0022]其中，为了保证箱体1内腔另一侧(右侧)的丝杆5连接的比较稳固，箱体1内腔另一侧也可以连接导轨8，保证其不与储液罐17干涉就行。
[0023]另外，喷头6与箱体1内壁可以直接连接，也可以通过连接件连接。当通过连接件连接时，连接件可以为可旋转支座，其与箱体1内壁连接，喷头6安装在可旋转支座上。如此设置，在使用时，喷头6可以根据需要旋转一定角度来对载板进行喷淋工作。此外，箱体1的两
侧内壁及顶面均可以安装喷头6，确保可以从多方位对载板进行喷淋。
[0024]本实施例中，请参照图1，内槽13一侧固定连接有鼓泡管20，鼓泡管20一端贯穿箱体1的侧壁延伸至箱体1外。载板放置在内槽13中浸泡清洗时，鼓泡管20连接鼓泡设备对内槽13内的药液进行鼓泡，从而可以加快药液清洗速度。
[0025]本实施例中，请参照图3，箱体1一侧固定连接有排液管21，排液管21一端与箱体1内腔连通。排液管21的作用是冲洗废水由排液管21排出。
[0026]本实施例中，请参照图4，内槽13的顶部盖合有内槽盖12。内槽盖12的作用是在喷头6对载板进行喷淋工作时，盖住内槽13，避免冲洗废水对内槽13内的药液进行污染。
[0027]本实施例中，请参照图1，清洗架11的表面一侧固定连接有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PVD载板的清洗设备，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)内腔底部固定连接有内槽(13)，所述内槽(13)的一侧外安装有储液罐(17)，储液罐(17)与箱体(1)内腔通过抽水泵(16)和第二连管(15)连接，箱体(1)的顶部两侧均固定连接有伺服电机(4)，伺服电机(4)的转轴固定连接有丝杆(5)，丝杆(5)一端贯穿箱体(1)顶部延伸至箱体(1)内，箱体(1)内腔一侧固定连接有导轨(8)，丝杆(5)外螺纹连接有滑块(9)，箱体(1)内腔一侧的滑块(9)与导轨(8)滑动连接，导轨(8)的两侧外均安装有喷头(6)且喷头(6)与箱体(1)内壁连接，喷头(6)固定连接有第一连管(7)，滑块(9)一侧内套设有插块(10)，插块(10)一侧固定连接有清洗架(11)，箱体(1)顶面外侧固定连接有盒体(2)，盒体(2)内固定连接有若干个电加热块(24)，盒体(2)的内腔一侧固定连接有电风扇(23)，盒体(2)两侧均固定连接有管体(3)，箱体(1)顶面内侧固定连接有输气管(25)，输气管(25)上开设有若干个通孔(22)，输气管(25)两端与管体(3)固定连接，所述箱体(1)一侧固定连接有控制面板(18)，所述伺服电...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨泽奇，杨立友，王继磊，鲍少娟，黄金，师海峰，冀杨洲，高英杰，程风，
申请(专利权)人：晋能清洁能源科技股份公司，
类型：新型
国别省市：