电容式麦克风及其微机电加工制造方法技术

一种电容式麦克风，包含有一具有一容置空间的基座，容置在该容置空间内的一振膜芯片与一场效晶体管，其特征在于：所述基座具有一形成有一凹槽的底壁，及一从底壁一外周缘向上延伸的外周壁，由底壁与外周壁共同界定出一与凹槽相通的容置空间； 所述容置在容置空间内与底壁相连接的振膜芯片具有一电极层、一从该电极层向下形成的振动膜、一从振动膜更向下形成的分隔垫，及一至少具有一穿孔且与分隔垫相连接的底板，由所述电极层、振动膜，与底板共同形成一电容，并由底板、分隔垫，与该振动膜共同界定出一振动空间，且底板在封闭凹槽后使凹槽通过穿孔与振动空间相连通；及容置在容置空间内与底壁相连接的场效晶体管同时与振膜芯片的电极层及基座电性连接，当振膜芯片接收到一机械能后，可使振动膜产生一相对应的形变而使振膜芯片的电容改变，经场效晶体 管转换成电子信号传送出去。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张昭智，
申请(专利权)人：佳乐电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：