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电容式麦克风及其微机电加工制造方法技术
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文档序号:3681828
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一种电容式麦克风,包含有一具有一容置空间的基座,容置在该容置空间内的一振膜芯片与一场效晶体管,其特征在于:所述基座具有一形成有一凹槽的底壁,及一从底壁一外周缘向上延伸的外周壁,由底壁与外周壁共同界定出一与凹槽相通的容置空间; ...
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