声音检测机构制造技术

构成能够在衬底上以简单的工艺制作振动片及背电极的声音检测机构。在衬底Ａ的表面侧形成成为通孔Ｂａ的声孔，在该表面侧的声孔的部位层叠第二保护膜４０６、牺牲层Ｄ（４０７）和金属膜４０８，从衬底Ａ的背面侧通过进行到达声孔的深度的蚀刻来形成声音开口Ｅ，然后从衬底Ａ的背面侧经由声孔，进行蚀刻来除去牺牲层４０７，在由金属膜４０８构成的振动片Ｃ与衬底Ａ之间形成空隙区域Ｆ，且形成通孔Ｂａ，将蚀刻后残留的牺牲层４０７作为保持背电极Ｂ与振动片Ｃ之间的距离的隔垫Ｄ。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种声音检测机构，其特征在于：设有在衬底上形成电容器的一对电极，该对电极中一个电极为形成有与声孔相当的通孔的背电极，另一电极为振动片，所述声音检测机构中，　　　　所述振动片由金属膜或层叠膜构成，所述金属膜通过低温工艺制作的溅镀、真空蒸镀及电镀中任一技术来形成，　　　　所述层叠膜由有机膜和导电性膜形成，　　　　所述背电极在所述衬底上形成，确定所述振动片和所述背电极的电极间距离的隔垫由有机膜即牺牲层的一部分构成。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：大林义昭，安田护，佐伯真一，驹井正嗣，加川健一，
申请(专利权)人：星电株式会社，东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]