一种用于晶圆加工的药液存储装置及晶圆加工设备制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于晶圆加工的药液存储装置及晶圆加工设备，所述药液存储装置包括：槽体，其设有容腔、进液口和出液口，所述进液口和所述出液口分别与所述容腔连通，所述容腔用以容纳药液；至少两组冷却管组件，所述至少两组冷却管组件位于所述容腔内且安装高度不同；液位检测组件，用以获取所述药液的当前液位信息；控制单元，配置为在执行冷却时根据所述当前液位信息控制位于液位下的冷却管组件通入冷却液。至少两组冷却管组件位于容腔内且安装高度不同，控制单元根据容腔内存储的药液的高度不同，使相应的冷却管组件的开始冷却工作，保证冷却效果的同时能够避免能源的浪费。保证冷却效果的同时能够避免能源的浪费。保证冷却效果的同时能够避免能源的浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆加工的药液存储装置及晶圆加工设备


[0001]本专利技术涉及晶圆加工设备
，特别是涉及一种用于晶圆加工的药液存储装置及晶圆加工设备。

技术介绍

[0002]晶圆在加工过程中会用到多种化学药液，在晶圆加工设备中，通常设置药液槽以存储相应的化学药液，在实际加工过程中，对药液的温度有着严格的要求，因此，通常在药液槽外设置加热装置加热药液循环管路，同时在药液槽中设置冷却管来冷却药液，以使得药液能够始终保持在一个较为恒定的温度。
[0003]根据实际加工需求不同，药液槽中的药液的液位不同。当液位较低时，会有部分冷却管暴露于药液之外。由于冷却管是整体设计连通的，因此，当进行冷却时，暴露于药液之外的冷却管中也会通冷却液，这就造成了能源的浪费。

技术实现思路

[0004]基于现有技术中的上述缺陷，本专利技术的目的在于提供一种用于晶圆加工的药液存储装置，控制单元根据容腔内存储的药液的高度不同，使相应的冷却管组件的开始冷却工作，保证冷却效果的同时能够避免能源的浪费。
[0005]为此，本专利技术提供如下技术方案。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆加工的药液存储装置，其特征在于，所述药液存储装置（1）包括：槽体（11），其设有容腔（111）、进液口（112）和出液口（113），所述进液口（112）和所述出液口（113）分别与所述容腔（111）连通，所述容腔（111）用以容纳药液；至少两组冷却管组件（12），所述至少两组冷却管组件（12）位于所述容腔（111）内且安装高度不同；液位检测组件（13），用以获取所述药液的当前液位信息；控制单元，配置为在执行冷却时根据所述当前液位信息控制位于液位下的冷却管组件（12）通入冷却液。2.根据权利要求1所述的用于晶圆加工的药液存储装置，其特征在于，每组所述冷却管组件（12）均包括单独设置在所述槽体（11）上的冷却液进口（121）和冷却液出口（122）。3.根据权利要求1所述的用于晶圆加工的药液存储装置，其特征在于，还包括冷却液进液管和冷却液出液管；每组所述冷却管组件（12）的一端通过控制阀与所述冷却液进液管连接，另一端与所述冷却液出液管连接。4.根据权利要求1
‑
3中任意一项所述的用于晶圆加工的药液存储装置，其特征在于，所述冷却管组件（12）包括多个冷却管（123），所述多个冷却管（123）在同一水平面内延伸。5.根据权利要求1<...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪成都，曾麒文，
申请(专利权)人：苏州桔云科技有限公司，
类型：发明
国别省市：