一种有长期稳定性的氧化铝薄膜湿敏传感器及其制备方法技术

一种有长期稳定性的氧化铝薄膜湿敏传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。所述的湿敏传感器制备工艺主要包括切割抛光清洗工艺，微弧氧化工艺，阳极氧化工艺，高温退火工艺，磁控溅射工艺以及引出电极工艺。所述湿敏传感器是在厚度为1mm左右的铝基底上氧化生成微米厚的感湿氧化铝薄膜，该传感器的主体结构是以铝基底作为下电极，以铝基底上生成的氧化铝薄膜作为感湿薄膜，以氧化铝薄膜上制备的金属薄膜为上电极。本发明专利技术所制备的湿敏传感器具有较好的灵敏度和长期稳定性。有较好的灵敏度和长期稳定性。有较好的灵敏度和长期稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种有长期稳定性的氧化铝薄膜湿敏传感器及其制备方法


[0001]本专利技术属于传感器
，具体涉及一种有长期稳定性的氧化铝薄膜湿敏传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]湿敏传感器可以用于对空气环境的湿度监测，在社会生活中的各个领域都具有很重要的作用，例如农业生产，气象检测和医疗行业等。
[0003]目前，在湿度传感器制备领域中，阻容法是应用比较广泛的方法，其主要原理是利用湿度改变湿敏材料的电学参数，然后通过对电学参数的测量来得到湿度值。
[0004]阻容法制备湿敏传感器的材料种类众多，以Al2O3材料制备的湿敏传感器具有较好的感湿特性，孔径大小易于控制，稳定性良好以及生产工艺成本低等特点，目前在湿敏传感器制备领域应用广泛。对于Al2O3湿敏薄膜的制备，目前的主要技术工艺有阳极氧化法，溶胶凝胶法以及微弧氧化法。
[0005]阳极氧化法制备的多孔Al2O3薄膜一般含有较多的γ
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Al2O3和无定型Al2O3，含有较多该成分的器件在长时间的使用过程中，经过水分子多次重复的吸附和解吸附作用，会导致严重本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种有长期稳定性的氧化铝薄膜湿敏传感器，其特征在于：包括下电极基底(1)，所述的下电极基底(1)上制备有湿敏薄膜(2)，所述的湿敏薄膜(2)上制备有金属上电极(3)，所述的下电极基底(1)的表面设置有下电极导线(5)，所述的下电极基底(1)和下电极导线(5)通过下电极导电银胶(4)相连，所述的金属上电极(3)上设置有上电极导线(7)，所述的金属上电极(3)和所述的上电极导线(7)通过上电极导电银胶(6)连接。2.根据权利要求1所述的一种有长期稳定性的氧化铝薄膜湿敏传感器，其特征在于，所述的下电极基底(1)的材料为铝基底。3.根据权利要求1所述的一种有长期稳定性的氧化铝薄膜湿敏传感器，其特征在于，所述的湿敏薄膜(2)的材料为氧化铝薄膜。4.根据权利要求1所述的一种有长期稳定性的氧化铝薄膜湿敏传感器，其特征在于，所述的金属上电极(3)的材料为铝，铜，金或者铂电极。5.根据权利要求1
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4任一所述的一种有长期稳定性的氧化铝薄膜湿敏传感器的制备方法，其特征在于，制备方法包括以下步骤：步骤1：对下电极铝基底进行切割抛光清洗工艺；步骤2：对下电极铝基底进行微弧氧化工艺，制备得到氧化铝薄膜；步骤3：对制备得到的氧化铝薄膜进行阳极氧化工艺；步骤4：对制备得到的氧化铝薄膜进行高温退火工艺；步骤5：对氧化铝薄膜进行磁控溅射工艺，制备得到金属上电极薄...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨成韬，徐康才，孙尚毅，李瑶瑶，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：