气体传感器制造技术

提出了气体传感器。气体传感器(100)具备：基板(10)、配置在基板(10)上的第一导电体(20)以及第二导电体(25)、绝缘层(40)以及吸附材料层(30)。绝缘层(40)覆盖第一导电体(20)以及第二导电体(25)，并且具有：第一开口部(45)，使第一导电体(20)的表面的一部分露出；和第二开口部(46)，使第二导电体(25)的表面的一部分露出。吸附材料层(30)包括导电材料和能够附吸气体的有机吸附材料，并通过第一开口部(45)以及第二开口部(46)分别与第一导电体(20)以及第二导电体(25)接触。二导电体(25)接触。二导电体(25)接触。

【技术实现步骤摘要】
气体传感器
[0001]本申请是2018年3月28日向中国国家知识产权局提出的题为“气体传感器”的申请No.201880023318.8的分案申请。


[0002]本公开涉及气体传感器。

技术介绍

[0003]作为用于检测气体的装置，已知气体传感器。气体传感器能够简便地检测气体。
[0004]如图11所示，在专利文献1中记载有用于检测气体的物质探测传感器300。物质探测传感器300具备导电性层330、第一电极320以及第二电极325。导电性层330分别覆盖第一电极320以及第二电极325。
[0005]通过使用物质探测传感器300，能够如下所述地检测气体。若气体与导电性层330接触，则导电性层330溶胀。由此，导电性层330的电阻值发生变化。通过测量导电性层330的电阻值的变化，能够检测气体。
[0006]在先技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1：国际公开第2008/084582号

技术实现思路

[0009]专利技术要解决的课题
[0010]根据专利文献1所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体传感器，具备：基板；第一导电体以及第二导电体，配置在所述基板上；吸附材料层，包括导电材料和能够吸附气体的有机吸附材料，并分别与所述第一导电体以及所述第二导电体接触；以及包围所述基板的表面的第一壁部。2.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，所述第一壁部的材料具有疏水性。3.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，所述第一壁部延伸到比所述吸附材料层更靠上方。4.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，还具备：从所述基板的表面的一部分向上方延伸的第二壁部。5.根据权利要求4所述的气体传感器，其中，所述第二壁部的材料具有疏水性。6.根据权利要求4所述的气体传感器，其中，所述第二壁部延伸到比所述吸附材料层更靠上方。7.根据权利要求4所述的气体传感器，其中，所述第二壁部的形状为圆柱状或圆筒状。8.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，所述第一壁部在俯视下具有环的形状。9.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，所述第一壁部具有从所述基板的外周缘向所述基板的表面的重心突出的突出部。10.根据权利要求9所述的气体传感器，其中，所述突出部分别部分地覆盖所述第一导电体和所述第二导电体。11.根据权利要求9所述的气体传感器，其中，所述第一壁部具有两个所述突出部，在两个所述突出部之间形成有用于测量所述吸附材料层的电阻的检测部。12.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，所述吸附材料层分别部分地覆盖所述第一导电体和所述第二导电体。13.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，所述吸附材料层在俯视下具有圆或环的形状所述第一导电体在俯视下具有圆弧或环的形状所述第二导电体在俯视下具有圆弧或环的形状。14.根据权利要求13所述的气体传感器，其中，所述第二导电体包围所述第一导电体。15.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，所述基板是Si基板、金属...

【专利技术属性】
技术研发人员：中尾厚夫，中谷将也，都甲洁，矢田部垒，巴托斯，
申请(专利权)人：松下控股株式会社，
类型：发明
国别省市：