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一种有长期稳定性的氧化铝薄膜湿敏传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。所述的湿敏传感器制备工艺主要包括切割抛光清洗工艺，微弧氧化工艺，阳极氧化工艺，高温退火工艺，磁控溅射工艺以及引出电极工艺。所述湿敏传感器是在厚度为1mm左右的铝基底上氧...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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