无限远共轭显微物镜组制造技术

本发明专利技术提供一种无限远共轭显微物镜组，涉及显微物镜技术领域。该镜组包括：从物方至像方依次设置且同轴排列的第一光学组件、第二光学组件、第三光学组件、第四光学组件、第五光学组件和第六光学组件；其中，所述第一光学组件、第二光学组件和第三光学组件构成长工作距离平场复消色差显微物镜，所述第四光学组件、第五光学组件和第六光学组件构成套筒透镜；所述长工作距离平场复消色差显微物镜和所述套筒透镜组合形成所述无限远共轭显微物镜组，工作距离可达51mm，结构简单，易于加工。所述长工作距离平场复消色差显微物镜与所述套筒透镜之间的距离在45mm～100mm范围内可调。本发明专利技术可以满足各领域对显微物镜的要求。以满足各领域对显微物镜的要求。以满足各领域对显微物镜的要求。

【技术实现步骤摘要】
无限远共轭显微物镜组


[0001]本专利技术涉及显微物镜
，尤其涉及一种无限远共轭显微物镜组。

技术介绍

[0002]长工作距离平场复消色差物镜在半导体、电子、冶金、生物显微成像等行业中得到越来越广泛的应用，广泛应用于半导体缺陷检测、显微生物样本观测、激光修复等多种场合。
[0003]目前，以日本三丰为代表的高清晰度长工作距离5倍显微物镜一般工作距离为34mm，而在实际工业显微测量领域，对工作距离有着更高的要求，现有的长工作距离平场复消色差物镜无法满足这种要求。同时，为满足长工作距离平场复消色差等高精度测量需求，高精度显微物镜的设计多数比较复杂、加工困难。

技术实现思路

[0004]鉴于上述问题，本专利技术提供了一种无限远共轭显微物镜组，通过结构相对简单的光学镜组，构成了长工作距离平场复消色差物镜及套筒透镜的完整系统。本专利技术的物镜全部采用球面镜片，且结构简单、设计合理，在现有的加工和检验工艺下完全可以实现。
[0005]本专利技术提供的无限远共轭显微物镜组，包括：从物方至像方依次设置且同轴排列的第一光学本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种无限远共轭显微物镜组，其特征在于，包括：从物方至像方依次设置且同轴排列的第一光学组件(1)、第二光学组件(2)、第三光学组件(3)、第四光学组件(4)、第五光学组件(5)和第六光学组件(6)；其中，所述第一光学组件(1)、第二光学组件(2)和第三光学组件(3)构成长工作距离平场复消色差显微物镜，所述第四光学组件(4)、第五光学组件(5)和第六光学组件(6)构成套筒透镜；所述长工作距离平场复消色差显微物镜和所述套筒透镜组合形成所述无限远共轭显微物镜组，所述长工作距离平场复消色差显微物镜与所述套筒透镜之间的距离在45mm～100mm范围内可调。2.根据权利要求1所述的无限远共轭显微物镜组，其特征在于，所述第一光学组件(1)包括光焦度为正的平凸透镜，所述第二光学组件(2)包括光焦度为正的第一双胶合透镜，所述第三光学组件(3)包括光焦度为负的第二双胶合透镜，其中：所述第一光学组件(1)和第二光学组件(2)用于承担所述长工作距离平场复消色差显微物镜所需的正光焦度，且补偿所述第三光学组件(3)的负光焦度；所述第三光学组件(3)用于补偿所述第一光学组件(1)和第二光学组件(2)的剩余像差，且与所述第一光学组件(1)和第二光学组件(2)共同构成反远摄系统，所述反远摄系统的工作距离大于焦距。3.根据权利要求1所述的无限远共轭显微物镜组，其特征在于，所述套筒透镜为柯克类物镜，焦距为200mm。4.根据权利要求1所述的无限远共轭显微物镜组，其特征在于，所述第四光学组件(4)包括光焦度为正的双凸透镜，所述第五光学组件(5)包括光焦度为负的双凹透镜，所述第六光学组件(6)包括光焦度为正的弯月透镜。5.根据权利要求2所述的无限远共轭显微物镜组，其特征在于，所述平凸透镜中的曲率半径较大的一面朝向物方侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋菲君，张滋黎，孟繁昌，纪荣祎，程智，潘映伶，张佳，董登峰，周维虎，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：