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本发明提供一种无限远共轭显微物镜组，涉及显微物镜技术领域。该镜组包括：从物方至像方依次设置且同轴排列的第一光学组件、第二光学组件、第三光学组件、第四光学组件、第五光学组件和第六光学组件；其中，所述第一光学组件、第二光学组件和第三光学组件构成...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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