一种微分干涉相称显微系统的装调系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种微分干涉相称显微系统的装调系统，所述装调系统包括固定工装，待装调结构固定在固定工装上；所述装调系统还包括由光源、检偏器II和功率计形成的装调光路I和由光源、反射镜II和功率计形成的装调光路II；所述待装调结构包括起偏器、反射镜I、分色片、Nomarski棱镜和检偏器I；所述装调系统用于调节待装调结构中起偏器、检偏器I与Nomarski棱镜的光轴角度。本实用新型专利技术操作简单，不需要提前准备好测试机台，节约装调时间成本和资金成本；同时其装调效果好，能够快速的完成微分干涉相称光路中Nomarski棱镜与偏振片光轴角度的装调。度的装调。度的装调。

【技术实现步骤摘要】
一种微分干涉相称显微系统的装调系统


[0001]本技术涉及一种微分干涉相称显微系统的装调系统。

技术介绍

[0002]Nomarski棱镜是微分干涉相称显微系统的关键。经过Nomarski棱镜的光束在棱镜里可分成两束传播方向相同，振动方向相互垂直的o光和e光。它们产生的分束角很小，小于显微镜的分辨率极限，在光束通过棱镜时还会产生适当的光程差，在这种形态下，物体边缘部分以光强度差的形式表现出来，而使阴影效果增强相衬，形成微分干涉相称显微技术所特有的浮雕感。
[0003]由于Nomarski棱镜的固有特性，在使用时需要将Nomarski棱镜与偏振片(偏振片指的是结构内部的起偏器和检偏器)光轴行成特定的角度，这就要求仪器在出厂前对微分干涉相称光路进行装调。现有对微分干涉相称光路的装调，一般是采用工况条件装调法：即将整个待装调系统装在测试整机上面，在实际工况条件下装调，通过观察成像效果来判定是否装调到位。这种方法需要提前准备好测试机台，对于新产品的开发时间成本和资金成本过大。

技术实现思路

[0004]技术目的：本技术的目的是提供一种用于装调微分干涉相称显微系统中Nomarski棱镜与偏振片光轴角度的装调系统。
[0005]技术方案：本技术所述的微分干涉相称显微系统的装调系统，所述装调系统包括固定工装，待装调结构固定在固定工装上；所述装调系统还包括由光源、检偏器II和功率计形成的装调光路I和由光源、反射镜II和功率计形成的装调光路II；所述待装调结构包括起偏器、反射镜I、分色片、Nomarski棱镜和检偏器I；所述装调系统用于调节待装调结构中起偏器、检偏器I与Nomarski棱镜的光轴角度。
[0006]其中，所述装调光路I为：光源发出的光，通过起偏器后经反射镜I的反射和分色片的反射后通过检偏器II出射进入功率计，Nomarski棱镜移入装调光路I后，光源发出的光，通过起偏器后经反射镜I的反射和分色片的反射后先通过Nomarski棱镜，再通过检偏器II出射进入功率计；装调光路II为：光源发出的光通过起偏器后，经反射镜I的反射和分色片的反射垂直入射到反射镜II反射面，光束由反射镜II反射后原路返回，通过分色片时透射通过，最后通过检偏器I出射进入功率计。
[0007]其中，装调光路I中，所述光源放置在待装调结构的照明入射端，检偏器II放置在待装调结构的照明出射端，功率计放置在检偏器II后端，功率计用于接收装调系统出射光的功率。
[0008]其中，装调光路II中，所述反射镜II贴在待装调结构照明出射端金工件表面，功率计位于待装调结构的成像端，接收自反射镜II反射回并穿过检偏器I的光。
[0009]其中，还包括人机交互界面，人机交互界面与功率计通过电缆连接，通过人机交互
界面可以实时掌握光束通过调试系统后的能量变化。
[0010]有益效果：相比于现有技术，本技术具有的优点为：(1)操作简单，不需要提前准备好测试机台，节约装调时间成本和资金成本；(2)装调效果好，能够快速的完成微分干涉相称光路中Nomarski棱镜与偏振片光轴角度的装调。
附图说明
[0011]图1为本技术微分干涉相称显微系统在检测待测物时的光路原理图；
[0012]图2为装调起偏器与Nomarski棱镜光轴角度的装调系统原理图；
[0013]图3为装调光路I中Nomarski棱镜移出光路的光路原理图；
[0014]图4为装调光路I中Nomarski棱镜移入光路的光路原理图；
[0015]图5为装调起偏器与检偏器I光轴角度的装调系统原理图；
[0016]图6为装调光路II的光路原理图；
[0017]图7为偏振片转动装置的结构示意图。
具体实施方式
[0018]如图1所示，本技术微分干涉相称显微系统，显微系统光源发出的光通过起偏器后经反射镜I的反射和分色片的反射后，通过棱镜照射到被测物上，经被测物反射后原路返回，通过分色片时透射通过，最后通过检偏器I出射进入相机；本技术微分干涉相称显微系统对应的待装调结构包括起偏器、反射镜I、分色片、Nomarski棱镜和检偏器I；装调系统主要是调节待装调结构中起偏器、检偏器I与Nomarski棱镜的光轴角度。
[0019]如图2～4所示，本技术微分干涉相称显微系统的装调系统，装调系统包括固定工装，待装调结构固定在固定工装上；装调系统还包括由光源、检偏器II和功率计形成的装调光路I；装调光路I为：装调系统光源发出的光，通过起偏器后经反射镜I的反射和分色片的反射后通过检偏器II出射进入功率计，Nomarski棱镜移入装调光路I后，光源发出的光，通过起偏器后经反射镜I的反射和分色片的反射后先通过Nomarski棱镜，再通过检偏器II出射进入功率计。装调系统光源放置在待装调结构的照明入射端，检偏器II放置在待装调结构的照明出射端，功率计放置在检偏器II后端，功率计用于接收装调系统出射光的功率。检偏器II为thorlabs标准光机组件。
[0020]如图5～6所示，本技术微分干涉相称显微系统的装调系统还由光源、反射镜II和功率计形成的装调光路II，装调光路II为：装调系统光源发出的光通过起偏器后，经反射镜I的反射和分色片的反射垂直入射到反射镜II反射面，光束由反射镜II反射后原路返回，通过分色片时透射通过，最后通过检偏器I出射进入功率计。装调光路II中，反射镜II贴在待装调结构照明出射端金工件表面，功率计位于待装调结构的成像端，接收自反射镜II反射回并穿过检偏器I的光。
[0021]本技术装调系统还包括人机交互界面，人机交互界面与功率计通过电缆连接，通过人机交互界面可以实时掌握光束通过调试系统后的能量变化。
[0022]上述装调系统的装调方法，具体包括如下步骤：
[0023](1)将Nomarski棱镜移出装调光路，光源发出的光，通过起偏器后经反射镜I的反射和分色片的反射后通过检偏器II出射进入功率计，转动检偏器II的角度，同时观察功率
计上的示数，当功率计上的示数最大时，起偏器与检偏器II光轴平行；
[0024](2)将Nomarski棱镜移入装调光路，保持起偏器角度不变，将检偏器II角度转动90
°
，此时起偏器与检偏器II光轴垂直；观察功率计上的示数，看功率计上的示数是否为最大读数的一半，若功率计上的示数为最大读数的一半，则起偏器角度装调完成；若功率计上的示数不等于最大读数的一半，再次将Nomarski棱镜移出装调光路，调整起偏器的角度，同步调整检偏器II的角度，观察功率计上的示数，当功率计上的示数再次达到最大时，再次将Nomarski棱镜移入装调光路，保持起偏器角度不变，将检偏器II角度转动90
°
，观察功率计上的示数，通过上述方式直至功率计上的示数为最大读数的一半为止；
[0025](3)起偏器角度装调完成后，将Nomarski棱镜移出装调光路，将检偏器II移出装调本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微分干涉相称显微系统的装调系统，其特征在于：所述装调系统包括固定工装，待装调结构固定在固定工装上；所述装调系统还包括由光源、检偏器II和功率计形成的装调光路I和由光源、反射镜II和功率计形成的装调光路II；所述待装调结构包括起偏器、反射镜I、分色片、Nomarski棱镜和检偏器I；所述装调系统用于调节待装调结构中起偏器、检偏器I与Nomarski棱镜的光轴角度。2.根据权利要求1所述的微分干涉相称显微系统的装调系统，其特征在于：所述装调光路I为：光源发出的光，通过起偏器后经反射镜I的反射和分色片的反射后通过检偏器II出射进入功率计，Nomarski棱镜移入装调光路I后，光源发出的光，通过起偏器后经反射镜I的反射和分色片的反射后先通过Nomarski棱镜，再通过检偏器II出射进入功率计；装调光路II为：光源发出...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙振，余美群，
申请(专利权)人：茂莱南京仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：