【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及显微成像系统，具体涉及一种10倍大na大视场平场复消色差显微物镜。
技术介绍
1、随着半导体领域对观察分辨率、检测速度和大视场观测要求的提高，对于数值孔径更高和视场更宽的显微物镜的需求也在逐步增加。因此，为了满足市场需求，高数值孔径、宽视场已经成为了显微物镜的发展趋势。而市面上一般的10倍显微物镜很难满足大视场和大数值孔径的需求。
技术实现思路
1、技术目的：针对上述现有10倍显微物镜存在的不足，本专利技术公开了一种10倍大na大视场平场复消色差显微物镜。
2、技术方案：为实现上述技术目的，本专利技术采用了如下技术方案：
3、一种10倍大na大视场平场复消色差显微物镜，包括从物镜物方依次设置的具有正折射光焦度的第一透镜组g1、具有正折射光焦度的第二透镜组g2和具有负折射光焦度的第三透镜组g3，物镜光阑位于第一透镜组g1所在一侧；6≥fg1/fobj≥4，2≥fg2/fobj≥1，-6≥fg3/fobj≥-10，其中fg1表示第一透镜组g1的焦距，fg2表示第二透镜组g2的焦距，fg3表示第三透镜组g3的焦距，fobj表示显微物镜焦距。
4、优选地，本专利技术的第一透镜组g1包括沿光路方向依次设置的第一透镜l1、第二透镜l2和第三透镜l3，所述第一透镜l1和第二透镜l2组成双胶合透镜，第三透镜l3为正光焦度透镜。
5、优选地，本专利技术的第一透镜l1的d光折射率和阿贝数分别是n1和v1，1.8≥n1≥1.7，60≥v1≥5
6、优选地，本专利技术的第二透镜组g2包括沿光路方向设置的第四透镜l4、第五透镜l5、第六透镜l6、第七透镜l7和第八透镜l8，第四透镜l4和第五透镜l5组成双胶合透镜，第六透镜l6、第七透镜l7和第八透镜l8组成三胶合透镜，第七透镜l7为负光焦度透镜，第六透镜l6和第八透镜l8为正光焦度透镜。
7、优选地，本专利技术的第四透镜l4的d光折射率和阿贝数分别是n4和v4，1.9≥n4≥1.8，25≥v4≥20；第五透镜l5的d光折射率和阿贝数分别是n5和v5，1.5≥n5≥1.4，96≥v5≥90；第六透镜l6的d光折射率和阿贝数分别是n6和v6，1.5≥n6≥1.4，96≥v6≥90；第七透镜l7的d光折射率和阿贝数分别是n7和v7，1.7≥n7≥1.6，45≥v7≥40；第八透镜l8的d光折射率和阿贝数分别是n8和v8，1.55≥n8≥1.45，85≥v8≥80。
8、优选地，本专利技术的第三透镜组g3包括沿光路方向依次设置的四枚双胶合透镜和负光焦度透镜，四枚双胶合透镜和负光焦度透镜形成高斯结构，沿光路方向将透镜依次记为第九透镜l9、第十透镜l10、第十一透镜l11、第十二透镜l12、第十三透镜l13、第十四透镜l14、第十五透镜l15、第十六透镜l16和第十七透镜l17。
9、优选地，本专利技术的第九透镜l9的d光折射率和阿贝数分别是n9和v9，1.85≥n9≥1.8，26≥v9≥20；第十透镜l10的d光折射率和阿贝数分别是n10和v10，1.5≥n10≥1.4；96≥v10≥90；第十一透镜l11的d光折射率和阿贝数分别是n11和v11，1.5≥n11≥1.4，96≥v11≥90；第十二透镜l12的d光折射率和阿贝数分别是n12和v12，1.96≥n12≥1.9，20≥v12≥17；第十三透镜l13的d光折射率和阿贝数分别是n13和v13，1.95≥n13≥1.9，20≥v13≥17；第十四透镜l14的d光折射率和阿贝数分别是n14和v14，1.96≥n14≥1.9，20≥v14≥17；第十五透镜l15的d光折射率和阿贝数分别是n15和v15，1.55≥n15≥1.45，85≥v15≥80；第十六透镜l16的d光折射率和阿贝数分别是n16和v16，1.5≥n16≥1.4，96≥v16≥90；第十七透镜l17的d光折射率和阿贝数分别是n17和v17，1.85≥n17≥1.8，45≥v17≥40。
10、优选地，本专利技术的显微物镜d光折射率和阿贝数分别是nd和vd，1.43＜nd＜1.95，17.5＜vd＜95.2。
11、优选地，本专利技术的显微物镜的视场数最大为33，工作波段为400-700nm。
12、有益效果：本专利技术所提供的一种10倍大na大视场平场复消色差显微物镜具有如下有益效果：
13、1、本专利技术通过从物镜物方依次设置的第一透镜组g1、第二透镜组g2和第三透镜组g3配合，使形成的物镜系统具有更大的视场与更大的数值孔径，本专利技术的10倍显微镜物镜在保证齐焦距95mm的情况下，视场数、数值孔径和工作距离分别可以做到33、0.48以及10mm，并且具有良好的可加工性。
14、2、本专利技术第一透镜组g1使用一枚正光焦度透镜和双胶合镜组组成，并通过对三个透镜的d光折射率和阿贝数的设置，有利于矫正慧差、像散和球差，同时有利于实现大数值孔径和宽视场的需求。
15、3、本专利技术的第二透镜组g2使用一组双胶合透镜以及一组三胶合透镜，可以有效校正物镜系统的色差，提高物镜的成像质量，同时有利于校正透镜组内部的球差、像散、慧差。
16、4、本专利技术的第三透镜组g3使用四枚双胶合透镜和负光焦度透镜组成并形成高斯结构，有利于降低像散、场区，并实现物镜具有较小的畸变，这极大保持了不同视场像面一致性的需求。
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1.一种10倍大NA大视场平场复消色差显微物镜，其特征在于，包括从物镜物方依次设置的具有正折射光焦度的第一透镜组G1、具有正折射光焦度的第二透镜组G2和具有负折射光焦度的第三透镜组G3，物镜光阑位于第一透镜组G1所在一侧；6≥fG1/fobj≥4，2≥fG2/fobj≥1，-6≥fG3/fobj≥-10，其中fG1表示第一透镜组G1的焦距，fG2表示第二透镜组G2的焦距，fG3表示第三透镜组G3的焦距，fobj表示显微物镜焦距。
2.根据权利要求1所述的一种10倍大NA大视场平场复消色差显微物镜，其特征在于，所述第一透镜组G1包括沿光路方向依次设置的第一透镜L1、第二透镜L2和第三透镜L3，所述第一透镜L1和第二透镜L2组成双胶合透镜，第三透镜L3为正光焦度透镜。
3.根据权利要求2所述的一种10倍大NA大视场平场复消色差显微物镜，其特征在于，所述第一透镜L1的d光折射率和阿贝数分别是n1和v1，1.8≥n1≥1.7，60≥v1≥50；第二透镜L2的d光折射率和阿贝数分别是n2和v2，1.5≥n2≥1.4，96≥v2≥90；第三透镜L3的d光折射率和阿贝数
4.根据权利要求1所述的一种10倍大NA大视场平场复消色差显微物镜，其特征在于，所述第二透镜组G2包括沿光路方向设置的第四透镜L4、第五透镜L5、第六透镜L6、第七透镜L7和第八透镜L8，第四透镜L4和第五透镜L5组成双胶合透镜，第六透镜L6、第七透镜L7和第八透镜L8组成三胶合透镜，第七透镜L7为负光焦度透镜，第六透镜L6和第八透镜L8为正光焦度透镜。
5.根据权利要求4所述的一种10倍大NA大视场平场复消色差显微物镜，其特征在于，所述第四透镜L4的d光折射率和阿贝数分别是n4和v4，1.9≥n4≥1.8，25≥v4≥20；第五透镜L5的d光折射率和阿贝数分别是n5和v5，1.5≥n5≥1.4，96≥v5≥90；第六透镜L6的d光折射率和阿贝数分别是n6和v6，1.5≥n6≥1.4，96≥v6≥90；第七透镜L7的d光折射率和阿贝数分别是n7和v7，1.7≥n7≥1.6，45≥v7≥40；第八透镜L8的d光折射率和阿贝数分别是n8和v8，1.55≥n8≥1.45，85≥v8≥80。
6.根据权利要求1所述的一种10倍大NA大视场平场复消色差显微物镜，其特征在于，所述第三透镜组G3包括沿光路方向依次设置的四枚双胶合透镜和负光焦度透镜，四枚双胶合透镜和负光焦度透镜形成高斯结构，沿光路方向将透镜依次记为第九透镜L9、第十透镜L10、第十一透镜L11、第十二透镜L12、第十三透镜L13、第十四透镜L14、第十五透镜L15、第十六透镜L16和第十七透镜L17。
7.根据权利要求6所述的一种10倍大NA大视场平场复消色差显微物镜，其特征在于，所述第九透镜L9的d光折射率和阿贝数分别是n9和v9，1.85≥n9≥1.8，26≥v9≥20；第十透镜L10的d光折射率和阿贝数分别是n10和v10，1.5≥n10≥1.4；96≥v10≥90；第十一透镜L11的d光折射率和阿贝数分别是n11和v11，1.5≥n11≥1.4，96≥v11≥90；第十二透镜L12的d光折射率和阿贝数分别是n12和v12，1.96≥n12≥1.9，20≥v12≥17；第十三透镜L13的d光折射率和阿贝数分别是n13和v13，1.95≥n13≥1.9，20≥v13≥17；第十四透镜L14的d光折射率和阿贝数分别是n14和v14，1.96≥n14≥1.9，20≥v14≥17；第十五透镜L15的d光折射率和阿贝数分别是n15和v15，1.55≥n15≥1.45，85≥v15≥80；第十六透镜L16的d光折射率和阿贝数分别是n16和v16，1.5≥n16≥1.4，96≥v16≥90；第十七透镜L17的d光折射率和阿贝数分别是n17和v17，1.85≥n17≥1.8，45≥v17≥40。
8.根据权利要求1所述的一种10倍大NA大视场平场复消色差显微物镜，其特征在于，所述显微物镜d光折射率和阿贝数分别是nd和vd，1.43＜nd＜1.95，17.5＜vd＜95.2。
9.根据权利要求1所述的一种10倍大NA大视场平场复消色差显微物镜，其特征在于，所述显微物镜的视场数最大为33，工作波段为400-700nm。
...【技术特征摘要】
1.一种10倍大na大视场平场复消色差显微物镜，其特征在于，包括从物镜物方依次设置的具有正折射光焦度的第一透镜组g1、具有正折射光焦度的第二透镜组g2和具有负折射光焦度的第三透镜组g3，物镜光阑位于第一透镜组g1所在一侧；6≥fg1/fobj≥4，2≥fg2/fobj≥1，-6≥fg3/fobj≥-10，其中fg1表示第一透镜组g1的焦距，fg2表示第二透镜组g2的焦距，fg3表示第三透镜组g3的焦距，fobj表示显微物镜焦距。
2.根据权利要求1所述的一种10倍大na大视场平场复消色差显微物镜，其特征在于，所述第一透镜组g1包括沿光路方向依次设置的第一透镜l1、第二透镜l2和第三透镜l3，所述第一透镜l1和第二透镜l2组成双胶合透镜，第三透镜l3为正光焦度透镜。
3.根据权利要求2所述的一种10倍大na大视场平场复消色差显微物镜，其特征在于，所述第一透镜l1的d光折射率和阿贝数分别是n1和v1，1.8≥n1≥1.7，60≥v1≥50；第二透镜l2的d光折射率和阿贝数分别是n2和v2，1.5≥n2≥1.4，96≥v2≥90；第三透镜l3的d光折射率和阿贝数分别是n3和v3，1.5≥n3≥1.4，96≥v3≥90。
4.根据权利要求1所述的一种10倍大na大视场平场复消色差显微物镜，其特征在于，所述第二透镜组g2包括沿光路方向设置的第四透镜l4、第五透镜l5、第六透镜l6、第七透镜l7和第八透镜l8，第四透镜l4和第五透镜l5组成双胶合透镜，第六透镜l6、第七透镜l7和第八透镜l8组成三胶合透镜，第七透镜l7为负光焦度透镜，第六透镜l6和第八透镜l8为正光焦度透镜。
5.根据权利要求4所述的一种10倍大na大视场平场复消色差显微物镜，其特征在于，所述第四透镜l4的d光折射率和阿贝数分别是n4和v4，1.9≥n4≥1.8，25≥v4≥20；第五透镜l5的d光折射率和阿贝数分别是n5和v5，1.5≥n5≥1.4，96≥v5≥90；第六透镜l6的d光折射率和阿贝数分别是n6和v6，1.5≥n6≥1.4，96≥v6≥90；第七透镜l7的d光折射率和阿贝数分别是n7和v7，1.7≥n7≥1.6，4...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁齐勇，焦林鑫，茹巧巧，
申请(专利权)人：茂莱南京仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：
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