一种浸液物镜综合调试装置制造方法及图纸

技术编号:41183318 阅读:4 留言:0更新日期:2024-05-07 22:16
本技术公开了一种浸液物镜综合调试装置,包括底板、背板支架,背板支架垂直固定在底板上;所述底板上还固定有XY轴位移调节机构,XY轴位移调节机构上固定有照明模块,XY轴位移调节机构带动照明模块在水平方向上移动,照明模块上放置有盛放待测溶液的分辨率板模块;位于分辨率板模块的正上方,依次设有待测物镜、滤光片组件、筒镜、相机,其中滤光片组件、筒镜、相机通过支架固定在背板支架上,待测物镜通过Z轴位移调节机构固定在背板支架上,Z轴位移调节机构带动待测物镜在垂直方向上移动。本技术解决了现有技术中物镜装调方案主要针对于干式物镜,不适用于浸液物镜的调试的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及物镜测量,特别是涉及一种浸液物镜综合调试装置


技术介绍

1、物镜是显微成像系统中重要组成部件,其成像质量的高低,影响着系统成像的质量和各项光学技术参数。在像差校正良好的情况下,显微物镜的数值孔径越大,其分辨率越高。当显微镜的物方介质为空气时,物镜的极限数值孔径为1,一般最大只能到0.9左右,此类物镜称为干式物镜。物与物镜之间浸以液体时,数值孔径可达1.5,此类物镜即称为浸液物镜,浸液物镜比干式物镜有更高的分辨率。

2、物镜的结构复杂,由固定在物镜筒内的多个单透镜、胶合透镜组组成,多个透镜组相互配合有效地实现像差校正。对于浸液物镜而言,在装调过程中需要浸液才能成像,从而进行有效的性能测试和方案装调,而现有的调试方案主要用于干式物镜的调试,并不适用于浸液物镜的调试。因此,需要一种提供浸液条件,并能将浸液物镜调至合适的观察位置的装置。


技术实现思路

1、技术目的:本技术的目的是提供一种适用于浸液物镜调节,并可视化浸液物镜成像质量的浸液物镜综合调试装置。

2、技术方案:为实现上述目的,本技术所述的一种浸液物镜综合调试装置,包括底板、背板支架,背板支架垂直固定在底板上,所述底板上还固定有xy轴位移调节机构,xy轴位移调节机构上固定有照明模块,xy轴位移调节机构带动照明模块在水平方向上移动,照明模块上放置有盛放待测溶液的分辨率板模块;位于分辨率板模块的正上方,依次设有待测物镜、滤光片组件、筒镜、相机,其中滤光片组件、筒镜、相机通过支架固定在背板支架上,待测物镜通过z轴位移调节机构固定在背板支架上,z轴位移调节机构带动待测物镜在垂直方向上移动。

3、所述滤光片组件为筒状结构,侧面设有插入或取出滤光片的槽口。

4、所述待测物镜的上端嵌套在滤光片组件下端,并沿着滤光片组件内壁上下移动。

5、所述待测物镜、滤光片组件、筒镜、相机共轴连接。

6、所述分辨率板模块包括盛放待测溶液的培养皿、分辨率板,分辨率板置于培养皿内壁底面。

7、所述分辨率板为表面刻画有测试图案的石英玻璃。

8、所述测试图案为在分辨率板上的镀铬涂层,包括星点、棋盘格、黑白线对。

9、有益效果:本技术具有如下优点:本装置结构紧凑,能实时调节待测物镜与测试溶液的相对位置,确保物镜与溶液之间接触深度适中,同时能够可视化待测物镜的成像质量,完成待测物镜的星点检验、esf、mtf及畸变等综合调试,从而使待测物镜具有较好的成像效果。

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【技术保护点】

1.一种浸液物镜综合调试装置,包括底板(1)、背板支架(5),背板支架(5)垂直固定在底板(1)上,其特征在于:所述底板(1)上还固定有XY轴位移调节机构(2),XY轴位移调节机构(2)上固定有照明模块(3),XY轴位移调节机构(2)带动照明模块(3)在水平方向上移动,照明模块(3)上放置有盛放待测溶液的分辨率板模块(4);位于分辨率板模块(4)的正上方,依次设有待测物镜(7)、滤光片组件(8)、筒镜(9)、相机(10),其中滤光片组件(8)、筒镜(9)、相机(10)通过支架固定在背板支架(5)上,待测物镜(7)通过Z轴位移调节机构(6)固定在背板支架(5)上,Z轴位移调节机构(6)带动待测物镜(7)在垂直方向上移动。

2.根据权利要求1所述的浸液物镜综合调试装置,其特征在于:所述滤光片组件(8)为筒状结构,侧面设有插入或取出滤光片的槽口。

3.根据权利要求1所述的浸液物镜综合调试装置,其特征在于:所述待测物镜(7)的上端嵌套在滤光片组件(8)下端,并沿着滤光片组件(8)内壁上下移动。

4.根据权利要求1所述的浸液物镜综合调试装置,其特征在于:所述待测物镜(7)、滤光片组件(8)、筒镜(9)、相机(10)共轴连接。

5.根据权利要求1所述的浸液物镜综合调试装置,其特征在于:所述分辨率板模块(4)包括盛放待测溶液的培养皿(11)、分辨率板(12),分辨率板(12)置于培养皿(11)内壁底面。

6.根据权利要求1所述的浸液物镜综合调试装置,其特征在于:所述分辨率板(12)为表面刻画有测试图案(13)的石英玻璃。

7.根据权利要求6所述的浸液物镜综合调试装置,其特征在于:所述测试图案(13)为在分辨率板(12)上的镀铬涂层,包括星点、棋盘格、黑白线对。

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【技术特征摘要】

1.一种浸液物镜综合调试装置,包括底板(1)、背板支架(5),背板支架(5)垂直固定在底板(1)上,其特征在于:所述底板(1)上还固定有xy轴位移调节机构(2),xy轴位移调节机构(2)上固定有照明模块(3),xy轴位移调节机构(2)带动照明模块(3)在水平方向上移动,照明模块(3)上放置有盛放待测溶液的分辨率板模块(4);位于分辨率板模块(4)的正上方,依次设有待测物镜(7)、滤光片组件(8)、筒镜(9)、相机(10),其中滤光片组件(8)、筒镜(9)、相机(10)通过支架固定在背板支架(5)上,待测物镜(7)通过z轴位移调节机构(6)固定在背板支架(5)上,z轴位移调节机构(6)带动待测物镜(7)在垂直方向上移动。

2.根据权利要求1所述的浸液物镜综合调试装置,其特征在于:所述滤光片组件(8)为筒状结构,侧面设有插入或取出滤光片的槽口。

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【专利技术属性】
技术研发人员:戚海艳田骏范浩杜兵强柏佩宏
申请(专利权)人:茂莱南京仪器有限公司
类型:新型
国别省市:

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