一种基于迭代补偿原理的环形基准面研磨加工方法技术

本发明专利技术公开了一种基于迭代补偿原理的环形基准面研磨加工方法，属于光学仪器中高精度结构件的研磨加工方法技术领域。本加工方法通过提出使用两块研磨盘，一凸一凹，环形基准面交替在两块表面上研磨，补偿由于研磨面形造成的高低差，形成高精度的研磨基准面。形成高精度的研磨基准面。形成高精度的研磨基准面。

【技术实现步骤摘要】
一种基于迭代补偿原理的环形基准面研磨加工方法


[0001]本专利技术涉及光学仪器研磨加工方法
，尤其涉及一种基于迭代补偿原理的环形基准面研磨加工方法。

技术介绍

[0002]近些年来，随着光学仪器精密度的提高，对仪器机械结构件的加工精度提出了更加严格的要求。根据光学镜片圆形特点，镜片的支撑结构——镜框，常常设计有环形基准平面，用于镜框与镜框之间，或者镜框与其他结构件之间的接触连接。各个结构件之间通过基准平面定位，而且通常需要螺钉压紧两个环形基准面，起到连接的作用，因此环形基准面的好坏会影响光学仪器的装调质量。相接触的基准面在压紧的过程中，由于表面并不是理想平面，所以发生应力变形，变形虽然微小，但通过机械结构传递到与之相连的镜片，也会对镜片的面形产生影响，造成成像质量的下降，所以，支撑结构基准平面度的好坏直接影响光学仪器的精密度。
[0003]环形基准面的加工可以采用车削的方法，且车削适于圆形结构件的加工，加工平面度可以达到几十微米。同样的，也可以采用磨削的加工方法，进一步提高加工平面度，磨削加工表面光洁度好，平面度可以达到微米量级本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于迭代补偿原理的环形基准面研磨加工方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一：首先，选择一块凸面研磨盘和一块凹面研磨盘，将初始研磨基准面进入凸面研磨盘或者凹面研磨盘进行研磨加工，直至研磨基准面全部表面研磨完全，且将所述研磨基准面划多个同心环带，环带宽2
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3mm，当检测结果显示每个环带的平面度都优于平面度指标要求，则认为此阶段的研磨结束；研磨过程中检测研磨表面，并记录研磨基准面在研磨盘上的滑动距离L1，对研磨后基准面表面进行检测，确定基准面内外环边缘已经形成稳定均匀的高低差
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h1，规定
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h1为正；步骤二：将经步骤一研磨后、高低差
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h1为正的研磨基准面放入第二块研磨盘上进行研磨加工，直至研磨基准面全部表面研磨完全，且将所述研磨基准面划多个同心环带，环带宽2
‑
3mm，当检测结果显示每个环带...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔庆龙，林冠宇，张子辉，王清龙，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：