本实用新型专利技术提供一种晶棒检测装置，包括安装台和探针，在所述安装台的一侧设有安装座，在所述安装座远离所述安装台的一侧面还设有垫片，所述探针凸设于所述垫片并连接在所述安装座上；所述垫片被构造为柔性结构。本实用新型专利技术一种晶棒检测装置，结构简单，其探头具有浮动功能，可缓冲探头与晶棒端面触点的冲击力，而且还可确保探头上的探针在测量时始终与晶棒的端面保持垂直；还可延长探头的使用寿命。本实用新型专利技术还提出一种设有该检测装置的自动检测机构。检测机构。检测机构。
【技术实现步骤摘要】
一种晶棒检测装置及设有该检测装置的自动检测机构
[0001]本技术属于硅晶棒加工
，尤其是涉及一种晶棒检测装置及设有该检测装置的自动检测机构。
技术介绍
[0002]电阻率是晶棒的重要技术参数指标，其直接影响整颗晶棒的质量，一旦电阻率测试有误，整颗晶棒就会直接报废。
[0003]现有检测仪使用的探头中，探针极易被折断，因需要控制探针直接与晶棒端面触点，由于探针直接与本体固定，减震效果差，被晶棒的反作用力弹回后就出现崩裂。一旦出现折裂，导致测量触点面虚，无法准确获得测量数据，需要多次按压触点后才能获得测量结果，费时费力。
[0004]还有，现有电阻率的测试主要是通过人工搬运晶棒到特定工位处，再手动操作电阻率测试仪对晶棒的端面进行多点式触点检测，再手动记录并对其进行计算，最终获得电阻率的计算值。
[0005]人工操作测试仪的方式是基于人员的技术水平和专业素养，不同人测试的结果不一样，而且稳定性差。而且，现有晶棒都是外径尺寸越来越大，如8寸、12寸、18寸等；且目前常用的大尺寸晶棒直径为12寸，这种晶棒体型较大，人工搬运不方便，危险系数高。
[0006]在人工测试时还要对晶棒的端部进行画图定测试点，因为现有电阻率测试常用的方法是五点法或九点法，需要对不同径面圆上取点进行测试，在取点时需要手动画圆取点，不仅速度慢而且取点因人而异，最终导致测量结果会有偏差，直接影响最终的测试结果。
技术实现思路
[0007]本技术提供一种晶棒检测装置及设有该检测装置的自动检测机构，主要对晶棒的电阻率进行检测，解决了现有技术中由于检测仪结构设计不合理导致测量效果不稳定的技术问题、以及人工检测方式导致的测量精度一致性差、测试效率低、搬运不方便的技术问题。
[0008]为解决至少一个上述技术问题，本技术采用的技术方案是：
[0009]一种晶棒检测装置，包括安装台和探针，在所述安装台的一侧设有安装座，在所述安装座远离所述安装台的一侧面还设有垫片，所述探针凸设于所述垫片并连接在所述安装座上；所述垫片被构造为柔性结构。
[0010]进一步的，所述安装座靠近所述垫片一端被构造为锥台面，其小径端与所述垫片连接；
[0011]若干所述探针并排沿所述垫片的直径布置；
[0012]在所述安装台远离所述垫片一侧还设有阶梯柱。
[0013]进一步的，在所述安装台与所述安装座之间还设有连接柱，所述连接柱与所述安装台和所述安装座可拆卸连接；
[0014]在所述连接柱内腔中构置有弹性件，所述弹性件的一端与所述安装台连接，另一端与所述安装座连接；
[0015]在所述连接柱的外壁面还套设有壁环。
[0016]一种晶棒自动检测机构，配置有如上所述的检测装置，还包括检测部，所述检测部中至少设有一组用于固定所述检测装置的检测臂，所述检测臂可带动所述检测装置双侧交替或单侧连续地对晶棒端面进行检测。
[0017]进一步的，所述检测部还包括架梁、沿第一方向移动的移道一和沿第二方向移动的移道二；
[0018]所述检测臂一端与所述移道一连接；
[0019]所述移道一设置在所述架梁上；
[0020]所述移道二与所述架梁交叉连接。
[0021]进一步的，还包括对接部，所述对接部中设有支撑组一和支撑组二，所述支撑组一和所述支撑组二均与晶棒外径面部分触点，且所述支撑组一与所述支撑组二可互换地用于顶托晶棒，且所述支撑组二可以第一方向为轴线进行旋转。
[0022]进一步的，所述支撑组一被配置在所述支撑组二内侧，且所述支撑组一可沿第二方向进行活动。
[0023]进一步的，所述对接部还包括沿第三方向设置的移道三、与所述移道三连接的定板一和置于所述移道三之间的定板二；
[0024]所述定板一和所述定板二分置于所述移道三的两端，且所述支撑组一和所述支撑组二均设置在所述定板一上；
[0025]在所述定板一和所述定板二之间还设有连接件，所述连接件可带动所述定板一朝靠近所述定板二一侧移动。
[0026]进一步的，还包括移栽部，所述移栽部包括移置组和移道四；
[0027]所述移置组用于顶托晶棒并带动晶棒沿所述移道四移动至所述对接部，并与所述支撑组一交接晶棒；
[0028]所述移置组可沿第一方向活动并可沿第三方向伸缩。
[0029]所述移道四靠近所述支撑组一且沿所述第一方向设置。
[0030]进一步的，在所述对接部的一侧还设有与所述移栽部对接的传输部，所述传输部配置有沿第三方向活动的传送件。
[0031]采用本技术设计的一种晶棒检测装置，在检测装置的头部设置具有柔性结构的垫片，以使由多个探针组成的探头可沿其轴向上具有浮动功能，可缓冲探头与晶棒端面接触的冲击力，而且还可确保探头上的探针在测量时始终与晶棒的端面保持垂直，以使检测数据更加准确且稳定；同时在其内部设有弹性减震件，起到减震和缓冲的作用，以延长探头的使用寿命。
[0032]本技术还提出一种设有该晶棒检测装置的自动检测机构，整体结构设计合理，多个部件相互协作且配合稳定；实现多尺寸晶棒的兼容检测和搬运，并能避开测量风险区，全程自动化程度高，检测数据精准，且检测效率高。
附图说明
[0033]图1是本技术一实施例的一种晶棒检测装置的立体图；
[0034]图2是本技术一实施例的一种晶棒检测装置的正视图；
[0035]图3是本技术一实施例的一种晶棒检测装置的剖面图；【缺图】
[0036]图4是本技术一实施例的一种晶棒自动检测装置的立体图；
[0037]图5是本技术一实施例的检测装置的装配图；
[0038]图6是本技术一实施例的一种晶棒自动检测装置的正视图；
[0039]图7是本技术一实施例的一种晶棒自动检测装置的俯视图；
[0040]图8是图7中的A部放大图；
[0041]图9是本技术另一实施例的一种晶棒自动检测装置的立体图。
[0042]图中：
[0043]10、检测装置
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11、安装台
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12、探针
[0044]13、垫片
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14、安装座
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15、弹性件
[0045]16、壁环
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17、电源
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18、阶梯柱
[0046]100、检测机构
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20、检测部
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21、检测臂
[0047]22、安装盘
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23、架梁
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24、移道一
[0048]25、移道二
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶棒检测装置，其特征在于，包括安装台和探针，在所述安装台的一侧设有安装座，在所述安装座远离所述安装台的一侧面还设有垫片，所述探针凸设于所述垫片并连接在所述安装座上；所述垫片被构造为柔性结构。2.根据权利要求1所述的一种晶棒检测装置，其特征在于，所述安装座靠近所述垫片一端被构造为锥台面，其小径端与所述垫片连接；若干所述探针并排沿所述垫片的直径布置；在所述安装台远离所述垫片一侧还设有阶梯柱。3.根据权利要求1或2所述的一种晶棒检测装置，其特征在于，在所述安装台与所述安装座之间还设有连接柱，所述连接柱与所述安装台和所述安装座可拆卸连接；在所述连接柱内腔中构置有弹性件，所述弹性件的一端与所述安装台连接，另一端与所述安装座连接；在所述连接柱的外壁面还套设有壁环。4.一种晶棒自动检测机构，其特征在于，配置有如权利要求1
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3任一项所述的检测装置，还包括检测部，所述检测部中至少设有一组用于固定所述检测装置的检测臂，所述检测臂可带动所述检测装置双侧交替或单侧连续地对晶棒端面进行检测。5.根据权利要求4所述的一种晶棒自动检测机构，其特征在于，所述检测部还包括架梁、沿第一方向移动的移道一和沿第二方向移动的移道二；所述检测臂一端与所述移道一连接；所述移道一设置在所述架梁上；所述移道二与所述架梁交叉连接。6.根据权利要求4或5所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，杨骅，李博，丁天时，高翔，
申请(专利权)人：天津环博科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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