超净高纯电子级过氧化氢的提纯设备制造技术

技术编号:36746530 阅读:55 留言:0更新日期:2023-03-04 10:29
本实用新型专利技术公开了超净高纯电子级过氧化氢的提纯设备,箱体的顶部中心处安装有储料箱,箱体的内壁固定有限位座,限位座上通过称重传感器固定有称重斗,称重斗的底部安装有插入进料管内部的输液管,输液管上安装有第二电磁阀,储料箱的底部中心处安装有位于称重斗内部的下液管,下液管上安装有第一电磁阀,箱体的底部内壁安装有微处理器,称重传感器电性连接微处理器的输入端,微处理器的输出端电性连接第一电磁阀,箱体的外壁安装有定时器,定时器电性连接第一电磁阀和第二电磁阀。本实用新型专利技术实现定时和定量向进料管添加原料,防止原料添加过多影响提纯设备本体使用,影响提纯效果,或者原料添加过少影响提纯设备本体工作效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
超净高纯电子级过氧化氢的提纯设备


[0001]本技术涉及过氧化氢提纯
,具体为超净高纯电子级过氧化氢的提纯设备。

技术介绍

[0002]超净高纯电子级过氧化氢是微电子行业中一种十分重要的高纯试剂,主要用作半导体硅晶片清洗剂,蚀刻剂和光刻胶去除剂,还可用于高级绝缘层制取,电镀液无机杂质去除,电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理,以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。目前过氧化氢采用蒽醌法制备,用该种方法获得的过氧化氢溶液含有诸多的无机离子或化合物杂质,因此过氧化氢溶液需经提纯处理,以除去杂质,达到要求的高纯度。
[0003]传统的超净高纯电子级过氧化氢的提纯设备在上料时,是手动一次性上料,影响装置的使用,原料过多装置提纯效果差,原料过少装置工作效率低。在中国专利CN210163125U公开了超净高纯电子级过氧化氢的提纯设备,包括装置外壳,所述装置外壳左侧固定连接有进料管,所述进料管顶端固定连接有料箱,所述进料管左侧固定连接有安装板,所述安装板前端面固定连接有电机,所述电机主轴末端固定连接有主动轮盘,所述主动轮盘一侧固定连接有拨杆,所述拨杆一侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.超净高纯电子级过氧化氢的提纯设备,包括提纯设备本体(1),所述提纯设备本体(1)的顶部一侧安装有进料管(2),所述提纯设备本体(1)的底部一侧安装有出料管(3),其特征在于:所述进料管(2)的顶端固定有箱体(4),所述箱体(4)的顶部中心处安装有储料箱(5),所述箱体(4)的内壁固定有限位座(9),所述限位座(9)上通过称重传感器(11)固定有称重斗(10),所述称重斗(10)的底部安装有插入进料管(2)内部的输液管(12),所述输液管(12)上安装有第二电磁阀(13),所述储料箱(5)的底部中心处安装有位于称重斗(10)内部的下液管(7),所述下液管(7)上安装有第一电磁阀(8),所述箱体(4)的底部内壁安装有微处理器(14),所述称重传感器(11)电性连接微处理器(14)的输入端,所述微处理器(14)的输出端电性连接第一电磁阀(8),所述箱体(4)的外壁安装有定时器(6),所述定时器(6)电性连接第一电磁阀(8)和第二电磁阀(13)。2.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:王明王晶沈飞
申请(专利权)人:无锡东风新能源科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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