显示装置和制造该显示装置的方法制造方法及图纸

本申请公开一种显示装置和制造该显示装置的方法。该显示装置包括：基板；第一导电层，在基板上并且包括第一图案；第一绝缘层，在第一导电层上；半导体层，在第一绝缘层上并且包括有源图案；第二绝缘层，在半导体层上；以及第二导电层，在第二绝缘层上，其中，第二导电层包括与有源图案部分地接触的第一电极，第一电极通过第一接触孔与第一图案接触，第一接触孔包括穿过第一绝缘层并且由第一绝缘层的侧壁限定的第一孔以及由有源图案的侧壁和第二绝缘层的侧壁限定的第二孔，并且第二孔的宽度大于第一孔的宽度。第一孔的宽度。第一孔的宽度。

【技术实现步骤摘要】
显示装置和制造该显示装置的方法


[0001]本公开的一些实施例的各方面涉及显示装置和制造该显示装置方法。

技术介绍

[0002]随着多媒体技术的发展，显示装置的重要性稳步提高。响应于此，已经使用了诸如有机发光二极管(OLED)显示器和液晶显示器(LCD)等的各种类型的显示装置。这样的显示装置可以不同地应用于诸如电视、智能电话、智能手表和平板PC的各种电子产品。
[0003]显示装置通常包括多个晶体管。每个晶体管可以包括栅电极、源/漏电极和半导体层。为了简化显示装置的制造工艺，包括在显示装置中的栅电极和源/漏电极可以由相同的导电层形成。
[0004]在该
技术介绍
部分中公开的以上信息仅用于增强对
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的理解，并且因此，在该
技术介绍
部分中讨论的信息不一定构成现有技术。

技术实现思路

[0005]本公开的一些实施例的各方面包括一种显示装置和一种制造该显示装置的方法，该显示装置包括第一导电层以及在第一导电层上的第二导电层，其中，栅电极和源/漏电极均由第二导电层制成，并且绝缘层的限定将第一导电层和第二导电层互连的接触孔的侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示装置，包括：基板；第一导电层，在所述基板上并且包括第一图案；第一绝缘层，在所述第一导电层上；半导体层，在所述第一绝缘层上并且包括有源图案；第二绝缘层，在所述半导体层上；以及第二导电层，在所述第二绝缘层上，其中，所述第二导电层包括与所述有源图案部分地接触的第一电极，所述第一电极通过第一接触孔与所述第一图案接触，所述第一接触孔包括穿过所述第一绝缘层并且由所述第一绝缘层的侧壁限定的第一孔以及由所述有源图案的侧壁和所述第二绝缘层的侧壁限定的第二孔，并且所述第二孔的宽度大于所述第一孔的宽度。2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述有源图案在所述第一孔周围的区域中暴露所述第一绝缘层的顶表面的一部分，并且所述第一电极与所述第一绝缘层的被所述有源图案暴露的顶表面接触。3.根据权利要求2所述的显示装置，其中，所述第二绝缘层的限定所述第二孔的所述侧壁位于所述第一绝缘层的在所述第一孔周围的所述区域中被所述有源图案暴露的所述顶表面上，并且在平面图中，所述第一绝缘层的被所述有源图案暴露的所述顶表面位于所述第一绝缘层的限定所述第一孔的所述侧壁与所述第二绝缘层的限定所述第二孔的所述侧壁之间。4.根据权利要求3所述的显示装置，其中，所述第二绝缘层在所述第一孔周围的区域中暴露所述第一绝缘层的顶表面的一部分，并且所述第一电极与所述第一绝缘层的被所述第二绝缘层暴露的顶表面接触。5.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第一电极与所述第二绝缘层的限定所述第二孔的所述侧壁和所述有源图案的限定所述第二孔的所述侧壁直接接触。6.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第一绝缘层的限定所述第一孔的所述侧壁具有正锥形形状。7.根据权利要求6所述的显示装置，其中，所述第一绝缘层的限定所述第一孔的所述侧壁的倾斜角是70
°
或更小的锐角。8.根据权利要求7所述的显示装置，其中，在截面图中，所述第一绝缘层的限定所述第一孔的所述侧壁包括位于所述有源图案这一侧的第一侧壁以及位于所述第二绝缘层这一侧的第二侧壁，并且所述第一侧壁的倾斜角和所述第二侧壁的倾斜角相同。9.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第一导电层进一步包括与所述第一图案间隔开的第二图案，所述第二导电层进一步包括：栅电极，与所述有源图案重叠并且与所述第一电极间隔开；和第二电极，与所述第一电极和所述栅电极间隔开并且与所述有源图案接触，所述第二电极通过第二接触孔与所述第二图案接触，
所述第二接触孔包括穿过所述第一绝缘层并由所述第一绝缘层的侧壁限定的第三孔以及由所述有源图案的侧壁和所述第二绝缘层的侧壁限定的第四孔，并且所述第四孔的宽度大于所述第三孔的宽度。10.根据权利要求9所述的显示装置，其中，所述有源图案的限定所述第四孔的所述侧壁位于所述第一绝缘层的在所述第三孔周围的区域中被所述有源图案暴露的顶表面上，并且在平面图中，所述第一绝缘层的被所述有源图案暴露的所述顶表面位于所述第一绝缘层的限定所述第三孔的所述侧壁与所述有源图案的限定所述第四孔的所述侧壁之间。11.根据权利要求9所述的显示装置，其中，所述有源图案包括与所述第一电极接触的第一区域、与所述第二电极接触的第二区域以及位于所述第一区域与所述第二区域之间的第三区域，所述第二绝缘层不位于所述第一区域与所述第一电极之间，并且所述第二绝缘层不位于所述第二区域与所述第二电极之间。12.根据权利要求1至11中任一项所述的显示装置，其中，在平面图中，所述第一孔与所述第二孔完全重叠。13.根据权利要求12所述的显示装置，其中，所述第一孔在所述基板的厚度方向上不与所述有源图案重叠。14.根据权利要求1至11中任一项所述的显示装置，其中，所述第一孔和所述第二孔在空间上连接。15.一种显示装置，包括：基板；第一图案，在所述基板上；第一绝缘层，在所述第一图案上；有源图案，在所述第一绝缘层上；第二绝缘层，在所述有源图案...

【专利技术属性】
技术研发人员：金璱基，李光洙，李在贤，崔昇夏，崔钟范，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：