一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，涉及匀胶台技术领域，本实用新型专利技术包括底台和匀胶台，底台上表面安装有匀胶台，底台上端安装有操作板，底台表面设置有安装槽，安装槽内部连接有伸缩支杆，伸缩支杆顶端与操作板连接，安装槽内部连接有转动马达，转动马达的输出端连接有连接轴，连接轴一端贯穿操作板，且连接轴一端与匀胶台连接，安装槽内部还连接有加热器，操作板表面连接有导热管，加热器一端与导热管连接，导热管一端与匀胶台连接，底台侧表面安装有风机。本实用新型专利技术底台一侧连接风机，其导风管一端连接出风板，配合出风口对适应位置的匀胶台处的陶瓷薄膜集成电路进行涂胶加工时的辅助干燥，均匀度高。均匀度高。均匀度高。

【技术实现步骤摘要】
一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台


[0001]本技术涉及匀胶台
，特别涉及一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台。

技术介绍

[0002]匀胶台是一种旋转涂覆设备，是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度，匀胶台可应用于陶瓷薄膜集成电路的加工；
[0003]目前的匀胶台进行胶液涂覆中缺乏相应的辅助烘干设备，操作效率不足，并且人工干燥过程中均匀度不够，实际工作效果有待加强；为此，我们提出一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，以解决
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，包括底台和匀胶台，所述底台上表面安装有匀胶台，所述底台上端安装有操作板，所述匀胶台设置于操作板表面，所述底台表面设置有安装槽，所述安装槽内部连接有伸缩支杆，所述伸缩支杆顶端与操作板连接，所述安装槽内部连接有转动马达，所述转动马达本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，包括底台(1)和匀胶台(2)，所述底台(1)上表面安装有匀胶台(2)，其特征在于：所述底台(1)上端安装有操作板(3)，所述底台(1)表面设置有安装槽(7)，所述安装槽(7)内部连接有伸缩支杆(4)，所述伸缩支杆(4)顶端与操作板(3)连接，所述安装槽(7)内部连接有转动马达(5)，所述转动马达(5)的输出端连接有连接轴(6)，所述连接轴(6)一端贯穿操作板(3)，且所述连接轴(6)一端与匀胶台(2)连接，所述安装槽(7)内部还连接有加热器(9)，所述操作板(3)表面连接有导热管(10)，所述加热器(9)一端与导热管(10)连接，所述导热管(10)一端与匀胶台(2)连接，所述底台(1)侧表面安装有风机(12)，所述风机(12)的输出端连接有导风管(13)，所述导风管(13)一端连接有出风板(14)，所述出风板(14)与匀胶台(2)位置相适应。2.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄迎伟，卢马辉，
申请(专利权)人：上海蘅滨电子有限公司，
类型：新型
国别省市：