一种真空泵制造技术

技术编号:36726628 阅读:18 留言:0更新日期:2023-03-01 10:35
本实用新型专利技术实施例提供了一种真空泵,涉及真空设备领域。真空泵包括泵体、泵轴、轴承组件及屏蔽电机。其中泵体内设置有泵轴孔,泵轴安装于泵轴孔且泵轴的端部传出泵体,轴承组件包括相连接的轴承座及轴承,轴承座与泵体的端部连接,泵轴穿设于轴承,屏蔽电机位于泵体的一端且与轴承座远离泵体的一侧连接,泵轴与屏蔽电机连接。在泵体与泵轴通过泵轴孔装配,在泵体内未设置有轴承,并且轴承设置于真空泵的泵体外,能够有效的减少由于设备运转时轴承与泵轴之间摩擦所造成泵体内温度过高的情况,进而保证设备的性能。保证设备的性能。保证设备的性能。

【技术实现步骤摘要】
一种真空泵


[0001]本技术涉及真空设备领域,具体而言,涉及一种真空泵。

技术介绍

[0002]真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备,通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
[0003]经专利技术人研究发现,目前集成有屏蔽电机的真空泵大多会出现因为真空泵内温度过高而导致的影响设备性能的情况。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种真空泵,其能够降低真空泵内出现的产热现象,进而保证设备的性能。
[0005]本技术的实施例是这样实现的:
[0006]第一方面,本技术提供一种真空泵,包括;
[0007]泵体,泵体内部设置有泵轴孔;
[0008]泵轴,泵轴安装于泵轴孔且泵轴的端部穿出泵体;
[0009]轴承组件,轴承组件包括相连接的轴承座及轴承,轴承座与泵体的端部连接,泵轴穿设于轴承;
[0010]屏蔽电机,屏蔽电机位于泵体的一端且与轴承座远离泵体的一侧连接,泵轴与屏蔽电机连接。
[0011]在泵体内未设置轴承,并且轴承设置于真空泵的泵体外,能够有效的减少由于设备运转时轴承与泵轴之间摩擦所造成泵体内温度过高的情况,进而保证设备的性能。
[0012]在可选的实施方式中,泵轴包括相连接的从动轴及主动轴,从动轴安装于泵轴孔且从动轴的端部穿出泵体,从动轴穿设于轴承;
[0013]轴承组件还包括轴套,从动轴通过轴套与主动轴连接,主动轴与屏蔽电机连接
[0014]通过从动轴穿出泵体,进而通过轴套与主动轴连接,主动轴与屏蔽电机接,增加了主动轴端部的支撑,因此能够减小电机与泵轴在轴线的垂直方向上的线位移,降低了泵轴的挠度。
[0015]在可选的实施方式中,屏蔽电机包括定子屏蔽套及设置于定子屏蔽套内部的定子组件及转子组件,主动轴穿设于转子组件并与转子组件相抵持,定子屏蔽套与轴承座连接。
[0016]而在本实施例中,通过设置定子屏蔽套既充当壳体,又能够起到防止真空泵泄漏的情况。也即避免了单独在定子与转子之间设置一个屏蔽罩,更大程度节省了整个真空泵所需的空间。
[0017]在可选的实施方式中,真空泵还包括密封法兰,屏蔽电机通过密封法兰与轴承座密封连接。
[0018]通过密封法兰进一步的保证屏蔽电机与泵体的密封性能。
[0019]在可选的实施方式中,屏蔽电机与轴承座可拆卸连接,轴承座与泵体可拆卸连接。
[0020]通过可拆卸的连接方式,保证真空泵维护的便捷性。
[0021]在可选的实施方式中,轴承组件还包括密封环衬套及密封圈,密封环衬套的端面抵持于泵体,密封环衬套套设于泵轴,密封圈套设于密封环衬套。
[0022]通过设置密封环衬套及密封圈进一步保证泵体的密封性。
[0023]在可选的实施方式中,轴承组件还包括挡油套,挡油套套设于泵轴且位于轴承与密封环衬套之间,挡油套的端面抵持于密封环衬套远离泵体的一端。
[0024]通过挡油套防止轴承的润滑油泄漏。
[0025]在可选的实施方式中,密封环衬套、密封圈及挡油套中的至少一个由聚四氟乙烯材料制成。
[0026]聚四氟乙烯材料制成的密封环衬套、密封圈及挡油套,使得真空泵密封效果好且寿命长。
[0027]在可选的实施方式中,真空泵还包括齿轮部件,齿轮部件包括齿轮壳体及设置于齿轮壳体内的齿轮,泵体远离屏蔽电机的一侧也设置有轴承组件,轴承座的两侧分别与泵体及齿轮壳体连接,泵轴远离屏蔽电机的一端穿设于轴承且与齿轮连接。
[0028]通过位于从动轴两端的轴承能够保证从动轴能够稳定转动,进而通过齿轮稳定的传递泵轴的动力。
[0029]在可选的实施方式中,齿轮内侧壁设置有齿轮键,泵轴设置有与齿轮键配合的键槽。
[0030]通过齿轮键及键槽之间的配合,以保证齿轮与泵轴的连接强度。
附图说明
[0031]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本技术的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0032]图1为本技术实施例提供的真空泵的结构示意图。
[0033]图标:100

真空泵;10

泵体;11

泵轴孔;20

泵轴;21

从动轴;22

主动轴;30

轴承组件;31

轴承座;32

轴承;33

密封环衬套;34

密封圈;35
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挡油套;36

轴承座盖板;37

轴套;40

屏蔽电机;41

定子屏蔽套;42

定子组件;43

转子组件;50

密封法兰;60

齿轮部件;61

齿轮壳体;62

齿轮; 621

齿轮键。
具体实施方式
[0034]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0035]因此,以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求
保护的本技术的范围,而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0036]应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0037]在本技术的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0038]此外,术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂,而是可以稍微倾斜。如“水平”仅本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空泵,其特征在于,包括;泵体(10),所述泵体(10)内部设置有泵轴孔(11);泵轴(20),所述泵轴(20)安装于所述泵轴孔(11)且所述泵轴(20)的端部穿出所述泵体(10);轴承组件(30),所述轴承组件(30)包括相连接的轴承座(31)及轴承(32),所述轴承座(31)与所述泵体(10)的端部连接,所述泵轴(20)穿设于所述轴承(32);屏蔽电机(40),所述屏蔽电机(40)位于所述泵体(10)的一端且与所述轴承座(31)远离所述泵体(10)的一侧连接,所述泵轴(20)与所述屏蔽电机(40)连接。2.根据权利要求1所述的真空泵,其特征在于:所述泵轴(20)包括相连接的从动轴(21)及主动轴(22),所述从动轴(21)安装于所述泵轴孔(11)且从动轴(21)的端部穿出所述泵体(10),所述从动轴(21)穿设于所述轴承(32);所述轴承组件(30)还包括轴套(37),所述从动轴(21)通过所述轴套(37)与所述主动轴(22)连接,所述主动轴(22)与所述屏蔽电机(40)连接。3.根据权利要求2所述的真空泵,其特征在于:所述屏蔽电机(40)包括定子屏蔽套(41)及设置于所述定子屏蔽套(41)内部的定子组件(42)及转子组件(43),所述主动轴(22)穿设于所述转子组件(43)并与所述转子组件(43)相抵持,所述定子屏蔽套(41)与所述轴承座(31)连接。4.根据权利要求1所述的真空泵,其特征在于:所述真空泵还包括密封法兰(50),所述屏蔽电机(40)通过所述密封法兰(50)与所述轴承座(31)密封连接。5.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员:张伟明胡雪慧
申请(专利权)人:上海盛剑半导体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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