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本实用新型实施例提供了一种真空泵，涉及真空设备领域。真空泵包括泵体、泵轴、轴承组件及屏蔽电机。其中泵体内设置有泵轴孔，泵轴安装于泵轴孔且泵轴的端部传出泵体，轴承组件包括相连接的轴承座及轴承，轴承座与泵体的端部连接，泵轴穿设于轴承，屏蔽电机位...
该专利属于上海盛剑半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海盛剑半导体科技有限公司授权不得商用。

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