一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，包括下气腔固定杆，下气腔固定杆上连接有下气腔腔体，下气腔腔体上设置有上气腔腔体，上气腔腔体内连接有镜片浮动吸头组件，下气腔腔体内连接有升降的膜片吸附组件，下气腔腔体的中轴处连接有与下气腔腔体相连通的顶升密封腔体，下气腔腔体的下方连接有膜片顶升气缸，膜片顶升气缸的驱动轴与顶升杆的一端相连，顶升杆的另一端穿过顶升密封腔体伸入下气腔腔体并与膜片吸附组件相连，顶升杆上连接有在顶升密封腔体内活动的顶升杆密封块，所述下气腔腔体的外侧壁上连接有真空腔接口。本实用新型专利技术能确保真空腔体的密封性。封性。封性。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构


[0001]本技术涉及一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构。

技术介绍

[0002]目前现有的高真空腔体的结构不易在高真空度腔体内部增加动力；增加动力元件极易在原件内部产生漏气现象，影响腔体真空度，从而影响产品的工作。
[0003]有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构。
[0005]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0006]一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，包括下气腔固定杆，所述下气腔固定杆上连接有下气腔腔体，所述下气腔腔体上设置有与其相连通的上气腔腔体，所述上气腔腔体内连接有镜片浮动吸头组件，所述上气腔腔体的外侧壁上连接有与镜片浮动吸头组件相连通的镜片吸附真空接口；
[0007]所述下气腔腔体内连接有升降本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，包括下气腔固定杆(1)，所述下气腔固定杆(1)上连接有下气腔腔体(2)，所述下气腔腔体(2)上设置有与其相连通的上气腔腔体(3)，其特征在于：所述上气腔腔体(3)内连接有镜片浮动吸头组件(4)，所述上气腔腔体(3)的外侧壁上连接有与镜片浮动吸头组件(4)相连通的镜片吸附真空接口(5)；所述下气腔腔体(2)内连接有升降的膜片吸附组件(6)，所述膜片吸附组件(6)位于镜片浮动吸头组件(4)的正下方，所述下气腔腔体(2)的下方穿接有带有导套密封筒的导向杆(7)，所述导向杆(7)的顶端与膜片吸附组件(6)相连，所述下气腔腔体(2)的中轴处连接有与下气腔腔体相连通的顶升密封腔体(8)，所述下气腔腔体(2)的下方连接有膜片顶升气缸(9)，所述膜片顶升气缸(9)的驱动轴与顶升杆(10)的一端相连，所述顶升杆(10)的另一端穿过顶升密封腔体(8)伸入下气腔腔体(2)并与膜片吸附组件(6)相连，所述顶升杆(10)上连接有在顶升密封腔体(8)内活动的顶升杆密封块(11)，所述下气腔腔体(2)的外侧壁上连接有真空腔接口(12)，所述顶升杆(10)为中空结构，其中，中空结构的所述顶升杆(10)的一端与膜片吸附组件(6)相连通，顶升杆(10)的另一端与膜片吸附真空接口(13)相连。2.根据权利要求1所述的一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，其特征在于：所述下气腔腔体(2)与上气腔腔体(3)之间设置有密封圈。3.根据权利要求1所述的一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，其特征在于：所述顶升杆密封块(11)的上端面装嵌有与下气腔腔体(2)相碰触的第一密封圈(14)，所述顶升杆密封块(11)的下端面...

【专利技术属性】
技术研发人员：王庆海，邵勇锋，刘涛荣，
申请(专利权)人：苏州欧瑞杰智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：