下载一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构的技术资料

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本实用新型涉及一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构,包括下气腔固定杆,下气腔固定杆上连接有下气腔腔体,下气腔腔体上设置有上气腔腔体,上气腔腔体内连接有镜片浮动吸头组件,下气腔腔体内连接有升降的膜片吸附组件,下气腔腔体的中轴处连接有...
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