一种旋转式阴极系统技术方案

本实用新型专利技术涉及旋转式磁控溅射技术领域，具体涉及一种旋转式阴极系统。本实用新型专利技术提供了一种旋转式阴极系统，包括冷水机、靶管、磁棒管、一进水轴和一出水轴；进水轴的外壁呈环状开设有若干第一分水孔；出水轴的外壁呈环状开设有若干第二分水孔；其中，冷水机的冷却水经过若干第一分水孔向靶管内壁环状喷射；靶管内的冷却水经过若干第二分水孔汇流。进水轴的设置，使得冷却水经冷水机进入靶管和磁棒管之间的间隙时，冷却水能够环状均匀沿冷水机进入靶管和磁棒管之间的间隙流动，不易在局部存留气泡，从而达到高效冷却换热的目的，减少用水量，使磁控溅射达到更加稳定运行的效果，避免靶材局部高温引起的破裂。局部高温引起的破裂。局部高温引起的破裂。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转式阴极系统


[0001]本技术涉及旋转式磁控溅射
，具体涉及一种旋转式阴极系统。

技术介绍

[0002]镀膜靶管是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。例如在物理气相沉积腔室中，具有高磁场和高功率密度PVD溅射可在溅射靶管处产生高能量，并且导致溅射靶管的表面温度大幅上升。如果不能进行及时有效的冷却散热，较高的温度不仅会造成靶管材料的再溅射，使得镀膜产生缺陷，膜层质量大打折扣。集聚的热量还将造成靶管明显的机械性弯曲，进而导致靶管损坏或者断裂。
[0003]现有技术，通常采用风冷或者水冷的方式实现对靶管的冷却。风冷时，不仅冷却效果差，还容易使空气中的灰尘、颗粒等杂质吸附在靶管表面，造成镀膜质量的下降；而现有水冷系统，为能够有效的对靶面进行降温，往往结构复杂，难以维护。
[0004]因此研发一种结构简单，降温效果好的靶管冷却系统是很有必要的。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种旋转式阴极系统来解决现有技术结构复杂难以维护的技术问题。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转式阴极系统，包括冷水机(1)，与冷水机(1)首尾相连的靶管(2)和设置在靶管(2)内的磁棒管(3)，其特征在于；所述旋转式阴极系统还包括一设置在所述冷水机(1)和所述靶管(2)接合处的一进水轴(41)和一出水轴(51)；所述进水轴(41)的外壁呈环状开设有若干第一分水孔(42)；所述出水轴(51)的外壁呈环状开设有若干第二分水孔(52)；其中所述冷水机(1)的冷却水经过若干所述第一分水孔(42)向所述靶管(2)内壁环状喷射；所述靶管(2)内的冷却水经过若干所述第二分水孔(52)汇流。2.如权利要求1所述的一种旋转式阴极系统，其特征在于，所述进水轴(41)的一端设置有一第一定位块(45)，所述磁棒管(3)与所述进水轴(41)同轴设置，且所述磁棒管(3)的一端设置有与所述第一定位块(45)相适配的第一凹槽，所述第一定位块(45)能够卡插入所述第一凹槽。3.如权利要求2所述的一种旋转式阴极系统，其特征在于，所述进水轴(41)外壁设置有一第一法兰(43)和第一密封圈(44)，所述靶管(2)端壁与所述第一法兰(43)侧壁相抵时，所述第一密封圈(44)能够与所述靶管(2)的内壁相抵以密封所述靶管(2)。4.如权利要求3所述的一种旋转式阴极系统，其特征在于，所述旋转式阴极系统包括一进水管道(6)，所述进水管道(6)一端与所述冷水机(1)连通，所述进水管道(6)另一端与所述进水轴(41)连...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘宁杰，上官建兴，上官小兴，
申请(专利权)人：常州比太科技有限公司，
类型：新型
国别省市：