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本实用新型涉及旋转式磁控溅射技术领域，具体涉及一种旋转式阴极系统。本实用新型提供了一种旋转式阴极系统，包括冷水机、靶管、磁棒管、一进水轴和一出水轴；进水轴的外壁呈环状开设有若干第一分水孔；出水轴的外壁呈环状开设有若干第二分水孔；其中，冷水机...
该专利属于常州比太科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州比太科技有限公司授权不得商用。

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