本实用新型专利技术提供一种光波导元件、光调制器件与光发送装置，抑制了频率特性的波谷现象，也抑制了制造成本的增加。光波导元件具有：基板(1)，具有电光效应；光波导(2)，形成于所述基板；以及控制电极，配置于所述基板(1)上，用于对所述光波导中传播的光波进行调制，且所述光波导元件的特征在于，所述控制电极具有信号电极(S)和接地电极，沿着所述光波导的进行调制的调制作用部分配置有所述信号电极(S)和所述接地电极，所述接地电极的与所述基板相向的底面的形状中，将所述接地电极分离为靠近所述信号电极(S)的第一接地电极(G1)与远离所述信号电极的第二接地电极(G2)的狭缝(SL)形成于与所述调制作用部分对应的范围。所述调制作用部分对应的范围。所述调制作用部分对应的范围。
【技术实现步骤摘要】
光波导元件、光调制器件与光发送装置
[0001]本技术涉及一种光波导元件以及使用此光波导元件的光调制器件与光发送装置，特别涉及一种抑制了高频特性的波谷(dip)现象的光波导元件。
技术介绍
[0002]在光测量
或光通信
中，多使用光调制器等使用形成有光波导的基板的光波导元件。近年来，为了应对移动通信的流量的增大，要求以更高频段(例如30GHz～300GHz)使用光调制器。
[0003]图1为表示以往的光波导元件的一例的截面图。图1中，在铌酸锂(LN)等的具有电光效应的基板1，使钛(Ti)等进行热扩散而形成光波导2。在基板1上，形成有用于对光波导施加电场的控制电极，具体而言，形成有信号电极S及以夹持此信号电极S的方式形成的接地电极G。
[0004]接地电极的下部呈向信号电极侧突出的形状。其原因在于，通过在光波导的附近缩窄信号电极与接地电极的间隔，从而增强对光波导施加的电场。另一方面其原因在于，电极上部通过扩大信号电极与接地电极的间隔，从而实现光波导中传播的光波、与信号电极中传播的微波的速度匹配，并且增加控制电极的阻抗，例如接近输入阻抗的50Ω。
[0005]而且，图1中通过减薄基板1的厚度，从而提高对光波导施加的电场效率。为了补强作为薄板的基板1的机械强度，经由胶粘层3接合有保持基板4。
[0006]将图1那样的光波导元件的频率特性示于图2。图2的横轴为对光波导元件施加的微波的频率，纵轴表示光波导元件的透过特性(S21)的损耗(插入损耗)。观看图2的频率特性，高频段中产生波形大幅度地凹陷(下降)的所谓波谷现象。
[0007]其原因在于，如图1那样，控制电极所形成的电场(电力线EF)不仅扩展至基板1，而且扩展至包含保持基板4的全体，对信号电极施加的高频的微波与基板内的共振模式(基板模式)结合。
[0008]专利文献1中公开了下述内容，即：为了抑制此种波谷(纹波(ripple))现象，在保持基板(补强基板)局部地形成低介电常数部。专利文献1所示的方法中，产生保持基板4的制造工序变复杂，而且制造成本增加等问题。
[0009][现有技术文献][0010][专利文献][0011][专利文献1]日本专利特开2019
‑
174588号公报
[0012][专利文献2]日本专利特开平5
‑
196902号公报
技术实现思路
[0013][技术所要解决的问题][0014]本技术所要解决的问题在于提供一种光波导元件，此光波导元件解决了如上所述的问题，抑制了频率特性的波谷现象，而且也抑制了制造成本的增加。而且，本实用新
型提供一种利用所述光波导元件的光调制器件与光发送装置。
[0015][解决问题的技术手段][0016]为了解决所述问题，本技术的光波导元件以及使用此光波导元件的光调制器件与光发送装置具有以下的技术特征。
[0017](1)一种光波导元件，具有：基板，具有电光效应；光波导，形成于所述基板；以及控制电极，配置于所述基板上，用于对所述光波导中传播的光波进行调制，且所述光波导元件的特征在于，所述控制电极具有信号电极和接地电极，沿着所述光波导的进行调制的调制作用部分配置有所述信号电极和所述接地电极，所述接地电极的与所述基板相向的底面的形状中，将所述接地电极分离为靠近所述信号电极的第一接地电极与远离所述信号电极的第二接地电极的狭缝形成于与所述调制作用部分对应的范围。
[0018](2)所述(1)所记载的光波导元件中，和所述调制作用部分延伸的方向垂直的方向的、所述狭缝的宽度为40μm以上。
[0019](3)所述(1)或(2)所记载的光波导元件中，和所述调制作用部分延伸的方向垂直的方向的、所述第一接地电极的底面部分的宽度为100μm以下。
[0020](4)所述(1)至(3)中任一项所记载的光波导元件中，和所述调制作用部分延伸的方向垂直的方向的所述狭缝的宽度(WSL)、与和所述调制作用部分延伸的方向垂直的方向的所述第一接地电极的底面部分的宽度(WG1)之比(WSL/WG1)为0.4以上。
[0021](5)所述(1)至(4)中任一项所记载的光波导元件中，所述第一接地电极的形状包括下侧部分比上侧部分更接近所述信号电极的、L字形状的多段结构，和所述调制作用部分延伸的方向垂直的方向的、所述下侧部分比所述上侧部分更向信号电极侧突出的宽度，设定于所述信号电极的宽度的20％～70％的范围。
[0022](6)所述(1)至(5)中任一项所记载的光波导元件中，所述第一接地电极的形状包括下侧部分比上侧部分更接近所述信号电极的、L字形状的多段结构，所述下侧部分的高度为2μm～10μm，所述下侧部分与所述上侧部分的总体的高度为20μm～50μm。
[0023](7)所述(1)至(6)中任一项所记载的光波导元件中，所述第一接地电极与所述第二接地电极在与所述光波导的所述调制作用部分对应的范围以外，相互电连接。
[0024](8)所述(1)至(7)中任一项所记载的光波导元件中，所述基板为20μm以下的厚度，在所述基板的背面侧经由胶粘层配置有保持基板。
[0025](9)一种光调制器件，其特征在于，所述(1)至(8)中任一项所记载的光波导元件收容于框体内，且所述光调制器件包括：光纤，对所述光波导输入或输出光波。
[0026](10)所述(9)所记载的光调制器件中，在所述框体的内部具有电子电路，所述电子电路将输入至所述光波导元件的所述信号电极的调制信号放大。
[0027](11)一种光发送装置，具有：所述(9)或(10)所记载的光调制器件；以及电子电路，输出使所述光调制器件进行调制动作的调制信号。
[0028][技术的效果][0029]本技术可提供下述光波导元件，即具有：基板，具有电光效应；光波导，形成于所述基板；以及控制电极，配置于所述基板上，用于对所述光波导中传播的光波进行调制，并且所述控制电极具有信号电极和接地电极，沿着所述光波导的进行调制的调制作用部分配置有所述信号电极和所述接地电极，所述接地电极的与所述基板相向的底面的形状中，
将所述接地电极分离为靠近所述信号电极的第一接地电极与远离所述信号电极的第二接地电极的狭缝形成于与所述调制作用部分对应的范围，因而抑制了与基板模式的耦合，且抑制了频率特性的波谷现象。而且，仅变更控制电极的形状，因而也可抑制制造成本的增加。
附图说明
[0030]图1为说明以往的光波导元件的结构的截面图。
[0031]图2为表示图1的光波导元件的频率特性的图表。
[0032]图3为说明本技术的光波导元件的实施例的截面图。
[0033]图4为说明图3的光波导元件的电力线(电场分布)的状况的图。
[0034]图5为表示本技术的光波导元件的频率特性的图表。
[0035]图6为说明本技术的光波导元件的模拟模型的图。
[0036]图7为图本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光波导元件，其特征在于，包括：基板，具有电光效应；光波导，形成于所述基板；以及控制电极，配置于所述基板上，用于对所述光波导中传播的光波进行调制，且所述光波导元件中，所述控制电极具有信号电极和接地电极，沿着所述光波导的进行调制的调制作用部分配置有所述信号电极和所述接地电极，所述接地电极的与所述基板相向的底面的形状中，将所述接地电极分离为靠近所述信号电极的第一接地电极与远离所述信号电极的第二接地电极的狭缝形成于与所述调制作用部分对应的范围。2.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，和所述调制作用部分延伸的方向垂直的方向的、所述狭缝的宽度为40μm以上。3.根据权利要求1或2所述的光波导元件，其特征在于，和所述调制作用部分延伸的方向垂直的方向的、所述第一接地电极的底面部分的宽度为100μm以下。4.根据权利要求1或2所述的光波导元件，其特征在于，和所述调制作用部分延伸的方向垂直的方向的所述狭缝的宽度(WSL)、与和所述调制作用部分延伸的方向垂直的方向的所述第一接地电极的底面部分的宽度(WG1)之比即WSL/WG1为0.4以上。5.根据权利要求1或2所述的光波导元件，其特征在于，所述第一接地电极的形状包括下侧部分比上侧部分更接近所述信号电极的、L字形状的多段结构，和所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：本谷将之，片冈利夫，
申请(专利权)人：住友大阪水泥株式会社，
类型：新型
国别省市：
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