晶圆清洗恒温药水输送系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种晶圆清洗恒温药水输送系统，包括热水供应设备、热水循环管路、药液管和双层管路；所述热水循环管路的进口、出口均与热水供应设备相连接；所述双层管路包括同轴设置的内管和外管，双层管路两端各设有一连接件，连接件包括第一连接块和第二连接块，第一连接块上设有贯穿的第一安装孔，第一安装孔外侧连接药液管，内侧连接内管，且药液管、内管互相连通；所述第二连接块为中空结构，设有连通的第一热水接口和第二热水接口，第一热水接口连接热水供应设备，第二热水接口连接外管。本实用新型专利技术设置了双层管路，药水通过与热水的热交换而升温，药水恒温可以保证最佳洗净效果与最小损伤的平衡。效果与最小损伤的平衡。效果与最小损伤的平衡。

【技术实现步骤摘要】
晶圆清洗恒温药水输送系统


[0001]本技术涉及晶圆清洗
，特别涉及一种晶圆清洗恒温药水输送系统。

技术介绍

[0002]晶圆在制造过程中，会被不断加工成形以及抛光处理，而晶圆表面也会与各种有机物、粒子及金属接触而产生的污染物。因此，晶圆制造过程中，晶圆清洗也十分重要。
[0003]晶圆清洗时会配置特定的清洗药水，来提高清洗效率。而清洗药水一般需要工作在特定温度下以保证最佳洗净效果与最小损伤的平衡，而清洗药水的温度不好控制，药水无法保持恒温，使得晶圆的清洗效果存在差异，也影响清洗质量。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题，本技术提供了晶圆清洗恒温药水输送系统，可以使得清洗药水保持恒温状态，保证清洗质量。
[0005]为此，本技术的技术方案是：晶圆清洗恒温药水输送系统，包括热水供应设备、热水循环管路、药液管和双层管路；所述热水循环管路的进口、出口均与热水供应设备相连接；所述双层管路包括同轴设置的内管和外管，双层管路两端各设有一连接件，连接件包括第一连接块和第二连接块，两者固定为一体；所述第一连接块上设有贯本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆清洗恒温药水输送系统，其特征在于：包括热水供应设备、热水循环管路、药液管和双层管路；所述热水循环管路的进口、出口均与热水供应设备相连接；所述双层管路包括同轴设置的内管和外管，双层管路两端各设有一连接件，连接件包括第一连接块和第二连接块，两者固定为一体；所述第一连接块上设有贯穿的第一安装孔，第一安装孔外侧连接药液管，内侧连接内管，且药液管、内管互相连通；所述第二连接块为中空结构，设有连通的第一热水接口和第二热水接口，第一热水接口通过管路连接热水供应设备，第二热水接口连接外管；其中一侧药液管连接喷头。2.如权利要求1所述的晶圆清洗恒温药水输送系统，其特征在于：所述第一连接块与第二连接块通过螺栓固定连接，两者之间设有密封圈；所述第一连接块的第一安装孔分为大头端与小头端，且第一安装孔内部设有螺纹结构，大头端与小头端互相连通；所述第二连接块内部设供...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈志平，范亚飞，叶家焱，
申请(专利权)人：允哲半导体科技浙江有限公司，
类型：新型
国别省市：